Cleaners Plasma, Etchers Plasma, Ashers plażma u sputter (PVD) sistemi Deposizzjoni huma pprovduti mill Riċerka inkandexxenti. Riċerka inkandexxenti timmanifattura AutoGlow sistemi plażma, OptiGlow sistemi plażma u SputterGlow sputter (PVD) sistemi depożizzjoni. Riċerka inkandexxenti ħadet f'idejha l-partijiet u l-appoġġ dinji għas-sistemi diversi plażma anzjani minn Nordson MARZU (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Ġove RIE) u tibni reatturi ġodda fil-plażma għall-ħtiġijiet u daqsijiet differenti. Aħna nifhmu li laboratorji aktar u nies li jixtru sistemi plażma jeħtieġu ammont kbir ta 'assistenza qabel u wara l-bejgħ. Għandna l-abbiltà li jimxu kampjuni tiegħek, u jassistu l-installazzjoni tas-sistema tiegħek. Riċerka inkandexxenti se proċess kampjuni FREE għall-klijenti li jistgħu jixtiequ li jixtru sistemi tagħna.

Jagħżlu l-Dritt Sistema:

OptiGlow-użi arja tal-kamra bħala gass proċess, 50 watt, 100 kHz, kamra aluminju. Għal modifika tal-wiċċ. Aktar baxx sistema tagħna bi prezz taħt $ 11,000 (tinkludi l-pompa tal-vakum).

OptiGlow 75-għall-użu bl-ossiġnu jew argon (gass u oħrajn), 75 watts, 100 kHz, kamra aluminju. Għal modifika tal-wiċċ, tindif plażma, trattament prebond.

OptiGlow ACE għall-użu bl-ossiġnu, argon jew fluworin gass tip (CF4). Żewġ flowmeters tal-gass, kamra aluminju anodized. 10-150 Varjabbli watt 13.56 MHz RF tal-ġeneratur, autotune. RIE jew plażma ipproċessar. Għall-attivazzjoni, irmied, tindif u inċiżjoni. Ideali għall tneħħija saffi għall-Analiżi Nuqqas, inċiżjoni varjetà ta 'films.

AutoGlow-Sa 3 gassijiet-ossiġnu, argon jew gassijiet oħra, kamra tal-kwarz, 6 "sottostrati, varjabbli 10-300 watt 13.56 MHz RF tal-ġeneratur, autotune. Abilità akkoppjata, buttuna tħaddim awtomatiku. Użati għat-tindif plażma, prebond, films inċiżjoni, Organiċi tneħħija, tneħħija photoresist.

AutoGlow 200-proċess jista 'substrati 200 mm (jew 8 "wejfers). RIE jew plażma ipproċessar. Sa 3 gassijiet-ossiġnu, argon jew fluworin (CF4) tal-gass tat-tip, 10-300-varjabbli watt 13.56 MHz RF tal-ġeneratur, autotune, kamra aluminju anodized. Użati għat-tindif tal-plażma, l-attivazzjoni, prebond, inċiżjoni, it-tneħħija Organiċi, tneħħija photoresist.

AutoGlow Plasma Sistema

Cleaner plażma. Din is-sistema fuq il-mejda jista 'jintuża fil enerġija baxxa ta' 10 watts jew sa 300 watts, il-ġeneratur 13.56 MHz istat solidu, irfinar awtomatiku, pressjoni read-out, porga nitroġenu, ta 'ventijiet artab, inputs tal-gass tliet u huwa mmarkati CE. Il AutoGlow tiġi flimkien ma 'garanzija 24 xahar. Perfect għat-trattament PDMS, it-tneħħija organiċi jew foto-jirreżistu t-tneħħija. Ikollu kamra kwarz u jistgħu jipproċessaw sa 6 "(150 mm) substrati.

Is-sistema plażma AutoGlow huwa użat fil-fabbriki ta 'produzzjoni kif ukoll laboratorji mfassla biex jipprovdu l-komunità medika, xjentifiċi, edukattivi u mikroelettronika mat-teknoloġija plażma bi spiża moderata. Jinkludi garanzija 2 sena.

Sistemi AutoGlow akbar huma disponibbli ma 'kmamar aluminju anodized li tajbin rekwiżiti klijent (RIE jew Plasma ipproċessar). Stampa hawn taħt hija 200 AutoGlow. Iddisinjati għall sa 200 mm (8 ") substrati jew wejfers, CF4, O2 jew Ar-gass, is-sistema tista 'tintuża għal RIE jew ipproċessar fil-plażma li jiddependi fuq it-trasportatur kampjun tuża. Hija għandha kamra anodized aluminum u jistgħu jintużaw għall-inċiżjoni irmied jew wiċċ modificaiton.

Sir af aktar dwar AutoGlow

OptiGlow Sistemi Plasma  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Il-ACE OptiGlow hija mfassla biex iwettqu Plażma A ctivation, A Shing, C jegħleb jew E tching fil 13.56 MHz. Il-ACE OptiGlow għandha inputs gass żewġ u jista 'jkun użu ma', l-arja ossiġnu, jew ta 'gassijiet tat-tip CF4. Hija għandha kamra anodized aluminum u jistgħu jintużaw għal jew RIE jew Plasma ipproċessar. Kbira għall-proċess twil u saffi tneħħija fuq il-pakketti jew ċipep semikundutturi. Użati għall-Analiżi Nuqqas, it-tneħħija photoresist, tindif organiċi, inċiżjoni parilin, trattament tal-wiċċ u għadd ta 'applikazzjonijiet oħra.

Is-sistema OptiGlow standard huwa użat għall-Modifika tal-wiċċ fil-plażma u Trattament Plasma, Attivazzjoni wiċċ. Pprezzati taħt $ 10,500 (USD), il-Sturdy, fuq il-mejda OptiGlow sistema plażma hija perfetta għal applikazzjonijiet tal-produzzjoni jew tal-laboratorju. Faċli biex jintużaw bil-wiri għall-pressjoni kamra u l-istatus modulu.

Is-sistema OptiGlow hija l-ewwel bi spiża baxxa plażma sistema li tista 'tintuża biex tiżdied il-kapaċità li tixxarrab u l-kumdità ta' lentijiet tal-kuntatt. Is-sistema plażma OptiGlow hija ideali wkoll għall-użu qabel il-kisi, laminar u l-proċessi ta 'depożizzjoni, u huwa effettiv ħafna fil-kura ta' firxa wiesgħa ta 'substrati jew materjal.

Il OptiGlow 75 sistema plażma huwa simili għall-OptiGlow standard u għandha kamra aluminju akbar, 75 watts ta 'enerġija u l-għażla li jużaw sa żewġ gassijiet input, bħal ossiġnu jew argon. Tista' tintuża għat-tneħħija organiċi ub'materjal fotoreżistenti istrippjar.

SputterGlow permezz ta 'traxxix Sistema Deposizzjoni

A għażla perfetta li jiddepożitaw firxa wiesgħa ta 'dielettriċi jew metalli, bil sa tliet miri. Oriġinarjament maħsub li jiddepożitaw Si 3 N 4 anti-jirriflettu kisi fuq iċ-ċelluli solari bħala alternattiva għall-użu PECVD-għaliex il-proċess SputterGlow ma teħtieġx gassijiet perikolużi bħal SiH 4 għall depożizzjoni nitroġenu. Is-sistema għandha Stepper robotika, stazzjonijiet imsaħħna, u huwa kkontrollat ​​bil-kompjuter lap-top.

Il manjetron ċatti proprjetarja jiġġenera plażma ma 'enerġija baxxa jew għolja, skond il-bżonn tiegħek. Il SputterGlow kienet maħsuba li tiġi assigurata integrità vakwu proċess u jutilizzaw kamra aluminju (li jżomm spejjeż isfel).

Sir af aktar dwar SputterGlow

Sistemi mibnija mill-ġdid

Riċerka inkandexxenti assumiet ir-responsabbiltà fid-dinja kollha għall-partijiet u servizz għall-unitajiet diversi anzjani mill Nordson Marzu (Marzu Plasmod, Marzu Super Plasmod, Marzu PM-600 u Marzu Ġove sistemi RIE). Aħna nibqgħu bl-għarfien tagħna u joffru mibnija mill-ġdid ta 'Marzu u Tegal sistemi plażma. Agħti ħarsa lejn sistemi dak mibnija mill-ġdid għandna l-offerta .