AutoGlow Sistemi Plasma

Is-sistema plażma AutoGlow huwa mejda plażma kimika reattur mfassal biex jipprovdi lill-komunità mikroelettronika mediċi, xjentifiċi, edukattivi u l-produzzjoni bit-teknoloġija plażma bi spiża moderata. Is-sistema hi użata fil-produzzjoni kif ukoll R & D ċentri. Użati għall-argon plażma, plażma ossiġnu, plażma kisi, PDMS, trattament plażma ossiġnu, ritratt jirreżistu tqaxxir, l-applikazzjonijiet FA, tneħħija parilin, tneħħija organiku u l-użu tal-laboratorju.

Universitajiet u l-kumpaniji madwar id-dinja issib is-sistema plażma AutoGlow-perfettament għall-bżonnijiet tagħhom fil-plażma.

Is-sistema plażma AutoGlow huwa l-aktar sistema effiċjenti tat-tip tiegħu fis-suq minħabba l-varjabbli 10 tagħha Watt sa 300 Watt, 13.56 ġeneratur MHz stat solidu. Is-sistema plażma AutoGlow huwa mfassal ukoll sabiex b'mod effiċjenti gassijiet tqassim introdotti fis-sistema toħloq speċi reattivi li se malajr nadif jew jimmodifika l-kampjun. Irfinar awtomatiku u pjanċa pressjoni huma inklużi. Il AutoGlow jista 'jolqot fil-plażma baxx kemm 10 Watts!

Awtomatiku / buttuna operazzjoni.

Riċerka inkandexxenti ħadet l-aħjar disinji tas-sistemi qodma, u aġġornata s-sistema plażma AutoGlow mat-teknoloġija kurrenti, inkluż proprjetà fażi tagħna kobor ditekter u SimpleMatch RF netwerk li jippermetti irfinar plażma effiċjenti u tipprovdi l-ipproċessar ta 'malajr mingħajr l-inkwiet ta' dejjem aġġustament għall kampjun diversi tagħbijiet. Il AutoGlow huwa affidabbli ħafna u għandu garanzija ta 'sentejn! Moduli Faċilment replaceble fis-sistema huma: RF ġeneraturi, Netwerk Match RF, Modulu Plate Face (ara hawn taħt), Kamra Kwarz u Kontroll Modulu Gass Għal aktar data u informazzjoni, jekk jogħġbok ikklikkja fuq il-karatteristiċi AutoGlow 'għar-dritt f'din il-paġna. .

Hawnhekk huwa dak Customer reċenti kellhom jgħidu dwar AutoGlow tagħhom: "Kollox qed taħdem multa. Hija biss chugs flimkien kif suppost. Ninsab impressjonat nistgħu kważi kompletament irmied AZ4620 jirreżistu fil 125W fi ftit minuti. Stajt ltqajna xi ħadd jużaha wkoll għal trattament minn qabel ta 'PDMS qabel bonding. Xogħlijiet kbir għal dan. "
 
Il AutoGlow 200-sistema hija mfassla sa 200 substrati mm jew 8 "wafers, u jistgħu jwettqu RIE jew plażma ipproċessar 'skond liema trasportatur kampjun użat. Il-kamra anodized aluminum tista accomidate standard O2, Ar jew gassijiet tat-tip CF4 għal inċiżjoni applikazzjonijiet. Il ukoll ippruvati elettroniċi, ġeneratur RF, jaqblu netwerk u l-kontroll tal-gass huwa l-istess bħall-AutoGlow istandard msemmi hawn fuq. Jekk jogħġbok ikkuntattja Riċerka inkandexxenti għal aktar informazzjoni dwar il-AutoGlow 200.
Il AutoGlow 200 għandu l-karta istess status dijanjostiċi bħala l-AutoGlow li jikkonferma li l-moduli sub qed jaħdmu b'mod korrett. Is-sistema għad-dritt huwa
muri bl-purge nitroġenu fakultattiv vent kamra.
Il AutoGlow 200 jista 'jintuża għal varjetà ta' applikazzjonijiet minn attivazzjoni plażma, tindif, tneħħija organiċi, qabel l-depożizzjoni tindif   kif ukoll f'firxa ta 'applikazzjonijiet inċiżjoni.
 
 
 
 
 

MIT għandha AutoGlow fl-Ċentru Stata li jintuża għall bijomedika varji u MICROFLUIDICS riċerka. Stampa huwa Paulus Geraldine, student dottorat responsabbli mill-AutoGlow MIT Bini 66 (Landau Bini Lab).

 
 
 

"Ross Università għandha AutoGlow fil-Laboratorju ta 'Riċerka Halas. Is-sistema hija użata għat-tneħħija ta' polimeru jirreżisti għall-applikazzjonijiet fil plasmonics u nanophotonics. Stampa huwa Lisa Brown, student dottorat li juża l-AutoGlow li jipprepara kampjuni għall-wiċċ mtejba ispettroskopija molekulari. "

Harvard University AutoGlow sistema fil-Lab McKay Gordon. Is-sistema hija użata għat-tneħħija organiċi, modifika tal-wiċċ u taqdi l-ħtiġijiet ta 'riċerkaturi ta' ħidma dwar ir-riċerka DNA u sekwenzar ġenoma tal-bniedem. Stampa huwa Gordon Whitlock, President ta 'Riċerka inkandexxenti.

Stampa huwa l-AutoGlow fil-Lab Microsystems Teknoloġija MIT. Dan AutoGlow jintuża għat-tneħħija photoresist, tindif u modifika tal-wiċċ. Dan lab ma 'riċerka fil MEMS, BioMEMS, Nanoteknoloġija u fotonika.