Tegal 903e

Cassette għall-Cassette Fil-linja noħroġ Etcher Plasma Wafer. Kapaċità biex vías b'inċiżjoni u l-kuntatti. Għal inċiżjoni dijossidu tas-silikon, silikon Nitruri, u poliamidi. Sistema huwa mibjugħ bil-konsultazzjoni minn fuq faċilitazzjoni xierqa u l-operazzjoni. Sistema tiffunzjona u jista 'jintwera fil Center tagħna Customer Support fl Mesa, Arizona. Promozzjonijiet varji huma disponibbli biex taqdi l-bżonnijiet speċifiċi tiegħek.

Jistgħu jimmaniġġjaw wejfers minn 3 pulzieri sa 6 pulzieri Bħalissa konfigurati għal 4 pulzieri wejfers.

  • Kontroll mikroproċessur
  • Bħalissa konfigurati għal 4 pulzieri (100mm) wejfers.
  • ENI 1000 Watt 13.56 MHz Ġeneratur RF.
  • 20 kapaċità riċetta Proċess
  • Proċess gassijiet kkontrollati minn Tylan fuq MFC
  • Mhux frizzjoni spatula pick u t-trasport wejfer post.
  • Leybold D65 ossiġnu servizz pompa (pompa xott mhux obbligatorju disponibbli)
  • Żewġ kontrolluri Tegal magħluqa temperatura loop
  • Diċembru Tissorvelja u t-tastiera
  • Mhux frizzjoni spatula pick u t-trasport wejfer post.
  • Manwali inklużi, 208 V, 50/60 Hz

(Bejgħ pendenti)

  • Sistemi mibnija mill-ġdid

  • OptiGlow Plasma Sistema

    Pprezzati taħt $ 10,500 (USD), il-Sturdy, fuq il-mejda OptiGlow sistema plażma hija perfetta għal applikazzjonijiet tal-produzzjoni jew tal-laboratorju. Sir af aktar .

  • AutoGlow Plasma Sistema

    Is-sistema plażma AutoGlow huwa l-aktar effiċjenti mejda plażma sistema tat-tip tiegħu fis-suq minħabba l-varjabbli 10-300 tagħha watt, 13.56 ġeneratur MHz stat solidu. Sir af aktar .

  • Ittestjar u kampjuni

    Riċerka inkandexxenti se jimxu kampjuni fuq bażi ta 'kuntratt jew għall-klijenti interessati fix-xiri eventwali ta' sistema ġdida jew mibnija mill-ġdid. Ikkuntattjana għal aktar informazzjoni.

  • Ikkuntattjana

    Indirizz:
    12,014 Ct S. 35.
    Phoenix, Az. 85,044
    Istati Uniti

    Telefon:
    480-621-8405

    Email:
    customerservice@glowresearch.org

  • Traduttur

    English flagItalian flagKorean flagChinese (Simplified) flagChinese (Traditional) flagPortuguese flagGerman flagFrench flagSpanish flagJapanese flagArabic flagRussian flagGreek flagDutch flagBulgarian flagCzech flagCroatian flagDanish flagFinnish flagHindi flagPolish flagRomanian flagSwedish flagNorwegian flagCatalan flagFilipino flagHebrew flagIndonesian flagLatvian flagLithuanian flagSerbian flagSlovak flagSlovenian flagUkrainian flagVietnamese flagAlbanian flagEstonian flagGalician flagMaltese flagThai flagTurkish flagHungarian flagBelarus flagIrish flagIcelandic flagMacedonian flagMalay flagPersian flag