Plasma Cleaners, Plasma etsers, Plasma Ashers en sputteren Deposition (PVD) systemen worden geleverd door Glow Research. Glow Onderzoek produceert AutoGlow plasma-systemen, OptiGlow plasma-systemen en SputterGlow sputteren (PVD) systemen. Glow Onderzoek heeft overgenomen van de onderdelen en wereldwijde ondersteuning voor meerdere oudere plasma systemen van Nordson MAART (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) en bouwt nieuwe plasma-reactoren voor verschillende eisen en maten. Wij begrijpen dat de meeste labo's en mensen die plasma-systemen aan te schaffen veel hulp nodig voor en na de verkoop. Wij hebben de mogelijkheid om uw monsters te voeren en te helpen met de installatie van uw systeem. Glow Het onderzoek zal verwerken GRATIS MONSTERS voor klanten die willen onze systemen aan te schaffen.

Het kiezen van het juiste systeem:

OptiGlow-maakt gebruik van lucht in de ruimte als het proces gas, 50 Watt, 100 kHz, aluminium kamer. Voor de modificatie van het oppervlak. Onze laagst geprijsde systeem onder de $ 11.000 (inclusief de vacuümpomp).

OptiGlow 75 voor gebruik met zuurstof of argon (en andere gas), 75 Watt, 100 kHz, aluminium kamer. Voor de modificatie van het oppervlak, plasma reiniging, prebond behandeling.

OptiGlow ACE-voor gebruik met zuurstof, argon of fluor (CF4) type gas. Twee gas flowmeters, geanodiseerd aluminium kamer. Variabel 10 tot 150 watt 13,56 MHz RF-generator, autotune. RIE of plasma verwerking. Voor activering, verassen, reinigen en etsen. Ideaal voor het verwijderen lagen Schadeanalyse, etsen een aantal films.

AutoGlow-Tot drie gassen-zuurstof, argon en andere gassen, kwarts kamer, 6 "substraten, variabele 10 tot 300 watt 13,56 MHz RF-generator, autotune. Capacitieve gekoppeld, drukknop automatische bediening. Onderdelen voor plasma reinigen prebond, etsen films, verwijderen organische, verwijderen fotolak.

AutoGlow 200-kan 200 mm te verwerken substraten (of 8 "wafers). RIE of plasma verwerking. Tot drie gassen-zuurstof, argon of fluor (CF4) type gas, variabele 10 tot 300 watt 13,56 MHz RF-generator, Autotune, geanodiseerd aluminium kamer. Wordt gebruikt voor plasma reiniging, activering, prebond, etsen, het verwijderen van organische stoffen, het verwijderen van fotolak.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Deze tabel-top systeem kan worden gebruikt bij lage vermogen van 10 watt of tot 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatische tuning-, druk-uitlezing, spoelen met stikstof, zachte ventilatie, drie gas-ingangen en is CE-gemarkeerd. De AutoGlow wordt geleverd met een garantie van 24 maanden. Perfect voor de behandeling van PDMS, biologische verwijdering of fotoresist-verwijdering. Heeft een kwarts tank en kan verwerken tot 6 "(150 mm) substraten.

Het AutoGlow plasma-systeem wordt gebruikt in de productie fabrieken en labs-ontworpen om de medische, wetenschappelijke, educatieve en micro-elektronica te voorzien van plasma-technologie in een gematigd kosten. Inclusief 2 jaar garantie.

Grotere AutoGlow systemen zijn verkrijgbaar met geanodiseerd aluminium kamers te eisen van de klant (RIE of plasma-verwerking) passen. Op de foto hieronder is een AutoGlow 200. Ontworpen tot 200 mm (8 ") substraten of plaatjes CF4, O2 of Ar gas, het systeem kan worden gebruikt voor RIE of plasma verwerking afhankelijk van het monster drager u. Het heeft een geanodiseerd aluminium kamer en kan worden gebruikt voor etsen, verassing of oppervlak modificaiton.

Lees meer over AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. De OptiGlow ACE is ontworpen voor Plasma A ctivation, Een shing, C of E Scheve Tching op 13,56 MHz uit te voeren. De OptiGlow ACE heeft twee gas-ingangen en kan worden gebruik in combinatie met lucht, zuurstof of CF4 soort gassen. Het heeft een geanodiseerd aluminium kamer en kan worden gebruikt voor zowel RIE of plasma verwerking. Ideaal voor een lang proces en het verwijderen van lagen van de colli of halfgeleider-chips. Wordt gebruikt voor Failure Analysis, het verwijderen van fotolak, het reinigen van organische stoffen, etsen parylene, oppervlaktebehandeling en tal van andere toepassingen.

De standaard OptiGlow systeem wordt gebruikt voor plasma-modificatie van het oppervlak en Plasma, oppervlak activering. Geprijsd onder de 10.500 dollar (USD), de robuuste, table-top OptiGlow plasma-systeem is perfect voor de productie of laboratorium toepassingen. Gemakkelijk te gebruiken met een display voor de druk in de verbrandingskamer en module status.

Het OptiGlow is het eerste goedkope plasma dat kan worden gebruikt voor het verhogen van de bevochtigbaarheid en comfort van contactlenzen. Het OptiGlow plasma-systeem is ook ideaal voor gebruik voorafgaand aan het coaten, lamineren en depositie processen, en is zeer effectief bij de behandeling van een breed scala aan substraten of materiaal.

De OptiGlow 75 plasma is vergelijkbaar met de standaard OptiGlow en een grotere aluminium kamer 75 watt en de mogelijkheid om tot twee ingangen gassen, zoals zuurstof of argon. Kan worden gebruikt voor biologische verwijderen en strippen fotolak.

SputterGlow Afzetting door middel System

Een perfecte keuze om een ​​breed scala van diëlektrische of metalen, met maximaal drie doelen storten. Oorspronkelijk ontworpen Si 3 N 4 antireflecterende coatings op zonnecellen als alternatief voor storten PECVD-want het SputterGlow proces niet brandbare gassen, zoals SiH 4 voor nitride depositie vereisen. Het systeem heeft stepper robotica, verwarmde stations, en wordt met een lap-top computer.

De gepatenteerde vlakke magnetron genereert een plasma met een laag of een hoog vermogen, afhankelijk van uw behoefte. De SputterGlow is ontworpen voor het verwerken vacuüm integriteit te waarborgen en een aluminium kamer te gebruiken (om de kosten laag te houden).

Lees meer over SputterGlow

Verbouwde

Glow Onderzoek heeft genomen over de hele wereld-brede verantwoordelijkheid voor onderdelen en service voor een aantal oudere eenheden van Nordson MAART (maart Plasmod, maart Super Plasmod, maart PM-600 en maart Jupiter RIE-systemen). We blijven met onze expertise en bieden herbouwd maart en Tegal plasma-systemen. Neem een kijkje naar wat verbouwde wij te bieden hebben .