Plasma Cleaners, Plasma etsers, Plasma Ashers en Afzetting (PVD) systemen worden geleverd door Glow Research. Glow Research produceert de nieuwe AutoGlow plasma reiniger / etser, de OptiGlow plasma-systemen en de SputterGlow sputteren (PVD) systemen. Glow Onderzoek heeft ook overgenomen van de onderdelen en wereldwijde ondersteuning voor diverse oudere plasma systemen van Nordson MAART (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) en bouwt nieuwe plasma-reactoren voor diverse eisen en maten. Wij begrijpen dat de meeste labo's en mensen die plasma-systemen aan te schaffen veel hulp nodig voor en na de verkoop. Wij hebben de mogelijkheid om uw monsters lopen, en helpen met de installatie van uw systeem. Glow Het onderzoek zal proces GRATIS MONSTERS voor klanten die willen onze systemen aan te schaffen.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Kan worden gebruikt bij lage vermogen van 10 watt of tot 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatische afstemming, druk read-out, spoelen met stikstof, zachte luchten, drie gas-ingangen en is CE-gemarkeerd. De AutoGlow wordt geleverd met een garantie van 24 maanden. Perfect voor het behandelen van PDMS, organische verwijdering of fotoresist-verwijdering.

Het AutoGlow plasma systeem wordt gebruikt in de productie fabrieken en laboratoria ontworpen om de medische, wetenschappelijke, educatieve en micro-elektronica gemeenschap te voorzien van plasma-technologie in een matige prijs. Inclusief een garantie van 2 jaar.

Grotere AutoGlow systemen zijn verkrijgbaar met geanodiseerd aluminium kamers te eisen van de klant passen. AutoGlow systemen kunnen verwerken 200 mm (8 ") wafers.

Lees meer over AutoGlow

SputterGlow Afzetting door middel System

Een perfecte keuze om diëlektrische of metalen storten met maximaal drie doelen. Oorspronkelijk ontworpen om Si 3 N 4 anti-reflecterende coating storten op zonne-cellen als een alternatief voor het gebruik PECVD-omdat het SputterGlow proces niet gevaarlijke gassen zoals SiH 4 voor nitride depositie vereisen. Het systeem heeft stepper robotica, verwarmde stations, en wordt bediend met een lap-top computer.

De gepatenteerde vlakke magnetron genereert een plasma met een laag of een hoog vermogen, afhankelijk van uw behoefte. De SputterGlow werd ontworpen voor het verwerken vacuüm integriteit te waarborgen en een aluminium kamer te gebruiken (om kosten laag te houden).

Lees meer over SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Gebruikt voor Plasma Surface Wijziging en Plasma Treatment, Surface Activering. Geprijsd onder 10.500 dollar (USD), de robuuste, table-top OptiGlow plasma systeem is perfect voor de productie of laboratorium toepassingen. Gemakkelijk te gebruiken. Display voor kamerdruk en module status.

Het OptiGlow systeem is de eerste low cost plasma-systeem dat gebruikt kan worden voor het verhogen van de bevochtiging en het comfort van contactlenzen en diverse materialen. Het OptiGlow plasma-systeem is ideaal voor gebruik voorafgaand aan het coaten, lamineren en depositie processen, en is zeer effectief bij het behandelen van een breed scala aan substraten of materiaal. Worden gebruikt in Bio MEMS en microfluidics.

De OptiGlow 75 plasma-systeem is als de standaard OptiGlow, maar met met 75 watt vermogen en de mogelijkheid om tot twee-ingang gassen, zoals zuurstof of argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. De OptiGlow ACE is ontworpen om een shing, C of E tching leunend op 13,56 MHz uit te voeren. De OptiGlow ACE is ontworpen voor maximaal twee gassen ingangen en kan gebruik worden met CF4 soort gassen. Geanodiseerd aluminium kamer en voor zowel RIE of Plasma omstandigheden. Ideaal voor een lang proces en het verwijderen van lagen van de colli of halfgeleider chips.

OptiGlow ACE (Cleaning, Verassing, ets)

Lees meer over OptiGlow systemen

Verbouwde

Glow Onderzoek heeft overgenomen de wereldwijde verantwoordelijkheid voor onderdelen en service voor een aantal oudere eenheden van Nordson MAART (maart Plasmod, maart Super Plasmod, maart PM-600 en maart Jupiter RIE-systemen). We blijven met onze expertise en bieden herbouwd maart en Tegal plasma-systemen. Neem een kijkje naar wat herbouwd systemen die we te bieden hebben .