AutoGlow Features

Het AutoGlow plasma-systeem heeft solid state elektronica, bijgewerkt levering van gas opties en technologie die wordt verwacht door zowel gebruikers als veiligheidspersoneel over de hele wereld. De grotere kamer formaat is geschikt voor 6 "substraat en is 160mm (ID) diameter x 186,94 mm (ID) diep en is gemaakt van zeer zuiver kwarts. Het systeem en de kamer zijn ontworpen om homogeniteit en reproduceerbaarheid verhogen in vergelijking met andere tafelblad plasma systemen.

Het AutoGlow plasma-systeem is ontworpen voor zowel lage-energie of hoge voeding met een variabele 10-300 watt, 13,56 MHz solid state generator het maken van de AutoGlow plasma-systeem het meest efficiënte systeem in zijn soort op de markt. De operator kan uitvoeren van een proces 10 watt zo hoog als 300 Watt agressievere verwerking. Het vermogen kan worden aangepast in stappen van 1 watt.

  • Kleine, table-top-systeem
  • Variabel 10 tot 300 Watt bij 13,56 MHz voor een zachte of meer agressieve behandeling
  • Kamer gemaakt van hoge zuiverheid kwarts
  • Solid state elektronica-no tubes
  • Proprietary solid state detector voor snelle tuning
  • Automatisch afstemmen voor een efficiënte verwerking van plasma
  • De druk uit te lezen voor een gemakkelijke verwerking
  • Timer
  • Geeft Vooruit en gereflecteerde vermogen en RF-setpoint
  • AutoTell diagnostische kaart voor een betere uptime
  • Kamer gasdistributie voor een betere uniformiteit
  • Soft vent om druk uit te barsten te voorkomen
  • Optioneel Gas Control Module met maximaal drie gas-ingangen
  • Uniforme plasma voor een snelle en efficiënte resultaten
  • Eigen RF-generator en match-netwerk voor een minimale gereflecteerde vermogen, ongeacht de energie-instelling
  • SimpleMatch bijpassende netwerk voor snelle tuning
  • UV-bescherming ingebouwd in het vooraanzicht deur
  • Volledig gekarakteriseerde voor reproduceerbare resultaten
  • Gemakkelijk te begrijpen-eenvoudig te bedienen
  • Alle elektronica zijn op twee plug-in kaarten voor makkelijk onderhoud
  • Start-up ondersteuning
  • Start-up video
  • Complete handleiding en documentatie
  • 24 maanden garantie

Het ontwerp van de AutoGlow begint met de metalen die in het systeem. Plaat wordt behandeld en gemaskeerd goede RF ontwerp zorgen.
De metalen kast wordt gemaskeerd op een zodanige wijze aan de metaal-op-metaal contact ... aan RF-lekkage te elimineren te verhogen. Dit betekent dat de AutoGlow een plasma snel slaan, ongeacht de belasting monster. Een goede RF-tuning begint met het kabinet ontwerp.
De AutoGlow is modulair opgebouwd. De RF-generator gemakkelijk worden verwijderd uit de achterkant van het systeem. De kamer kan gemakkelijk worden verwijderd. Alle van het systeem elektronica op een vervangbare boord (verbonden aan het displaypaneel aan de voorzijde). Het enige verbindingen voor elektrische, vacuüm en gas (alle getoonde). Sluit gewoon de stekker, sluit u de vacuümpomp en uw gas ... en bent u klaar om uw monsters te verwerken.

Het Diagnostisch kaart zal bevestigen dat alle modules correct werken.

 

 

 

 

 

De RF-Match Network is zeer snel de condensatoren 360 graden, waardoor de AutoGlow om zeer snel af te stemmen, ongeacht de belasting binnenkant van de verwerking van kamer te zetten.

De bovenste elektrode wordt aangedreven en de onderste elektrode gefundeerde waarmee een chemisch proces. De AutoGlow kan draaien van zo laag als 10 watt voor een zachte verwerking, of als hoog als 300 Watt agressievere verwerking.

Alle elektronica is op een elektronisch bord. Deze plaat is bevestigd aan de achterzijde van de voorste paneel. Het frontpaneel montage is eenvoudig te vervangen.