AutoGlow Features

Let op de gas-distributielijst buis in de kamer - dit helpt bij proces uniformiteit.

Het AutoGlow plasma-systeem heeft solid state elektronica, bijgewerkt levering van gas opties en technologie die wordt verwacht door zowel de gebruikers als de veiligheid het personeel over de hele wereld. De kamer grootte is 144.27mm (5.68 in) in diameter door 186.94mm diep (7.36 in) en is gemaakt van hoge zuiverheid kwarts. Het systeem en de kamer zijn ontworpen om uniformiteit en reproduceerbaarheid te verhogen in vergelijking met andere table-top plasma-systemen. Een grotere kamer is ook beschikbaar.

Het AutoGlow plasma-systeem is ontworpen voor ofwel een lage-energie of hoge voeding met een variabele 10 tot 300 watt, 13,56 MHz solid state generator waardoor het AutoGlow plasma-systeem het meest efficiënte systeem in zijn soort op de markt.

  • Kleine, table-top-systeem
  • Variabel 10 tot 300 Watt bij 13,56 MHz voor zachte of meer agressieve behandeling
  • Kamer gemaakt van hoge zuiverheid kwarts
  • Solid state elektronica-no tubes
  • Proprietary solid state detector voor snelle tuning
  • Automatische afstemming voor een efficiënte verwerking van plasma
  • Druk te lezen uit voor eenvoudige verwerking
  • Timer
  • Geeft Forward en gereflecteerde vermogen en RF-set point
  • AutoTell diagnostische kaart voor een betere uptime
  • Kamer gasdistributie voor een betere uniformiteit
  • Zacht vent druk barsten te voorkomen
  • Optionele Gas Control Module met maximaal drie gas-ingangen
  • Uniforme plasma voor een snelle en efficiënte resultaten
  • Gepatenteerde RF-generator en match-netwerk voor een minimale gereflecteerde vermogen, ongeacht het vermogen instelling
  • SimpleMatch matching netwerk voor snelle tuning
  • UV-bescherming ingebouwd in het vooraanzicht voordeur
  • Volledig gekarakteriseerd systeem voor herhaalbare resultaten
  • Gemakkelijk te begrijpen, eenvoudig te bedienen
  • Alle elektronica is op twee plug-in kaarten voor makkelijk onderhoud
  • Start-up support
  • Start-up video
  • Complete handleiding en documentatie
  • 24 maanden garantie
Het ontwerp van de AutoGlow begint met de plaat die op het systeem. Het metaal is verzinkt en

Plaatwerk wordt behandeld en gemaskeerd om een ​​goede RF zorgen design.cured om een ​​goede hechting van de verf met de juiste elektrisch contact te verzekeren. De metalen kast is gemaskeerd op een zodanige wijze aan de metaal-op-metaal contact te verhogen ... aan RF-lekkage te voorkomen. Dit betekent dat de AutoGlow zal een plasma snel staking, onafhankelijk van het monster te laden. Een goede RF-tuning begint met het kabinet design. De AutoGlow is modulair opgebouwd. De RF-generator kan gemakkelijk verwijderd worden van de achterkant van het systeem. De Kamer kan gemakkelijk worden verwijderd. Al van het systeem elektronica op een vervangbare boord (verbonden aan het displaypaneel aan de voorzijde). De enige vereiste aansluitingen zijn voor elektrische, vacuüm en gas (alle getoonde). Sluit gewoon de stekker, CONECT de vacuümpomp en je gas ... en u bent klaar om uw monsters verwerken.

 

 

 

 

 

 

De RF-Match Network is zeer snel de condensatoren 360 graden draaien, waardoor de AutoGlow om extreem snel af te stemmen, ongeacht de belasting binnenkant van de verwerking kamer.

De bovenste elektrode wordt aangedreven en de onderste elektrode geaard is, die produceert een chemisch proces. De AutoGlow kan lopen van zo laag als 10 watt voor zachte verwerking, of zo hoog als 300 watt voor meer agressieve verwerking.

Typische Plasma Glow. De Quartz Kamer Door heeft UV-bescherming aan nieuwe veiligheidsnormen te voldoen