SputterGlow Brochure
SputterGlow Afzetting door middel System
OptiGlow Plasma System
Geprijsd onder de 10.500 dollar (USD), de robuuste, table-top OptiGlow plasma-systeem is perfect voor de productie of laboratorium toepassingen. Meer weten .AutoGlow Plasma System
Het AutoGlow plasma-systeem is het meest efficiënte tafelblad plasma-systeem in zijn soort op de markt vanwege de variabele 10-300 watt, 13,56 MHz solid state generator. Meer weten .Testen en Monsters
Glow Het onderzoek zal worden uitgevoerd monsters op basis van een contract of voor cliënten geïnteresseerd zijn in de uiteindelijke aankoop van een nieuwe of vernieuwde systeem. Neem contact met ons voor meer informatie.Contacteer ons
Adres:
12014 S. 35e Ct.
Phoenix, Az. 85044
Verenigde StatenTelefoon:
480-621-8405E-mail:
customerservice@glowresearch.orgVertaler
Vertaler
SputterGlow Afzetting door middel System
Systeem voor Thin Film, sputteren, PVD, dunne laag depositie, Vacuum Coating, metalliek of diëlektrisch depositie van dunne filmen.
De Glow Research SputterGlow is een flexibel sputteren systeem ontworpen om 200mm wafers, 156 mm x 156 mm zonnecellen of kleine wafers, waaronder stukken van wafers te verwerken. De SputterGlow kan maximaal drie verwisselbare proces-stations (elk station kan worden geconfigureerd voor verwarming, sputteren of sputteretsen). De SputterGlow was oorspronkelijk ontworpen om Si 3 N 4 antireflecterende coatings deponeren zonnecellen en kunnen worden gebruikt om sputteren depot diverse diëlektrische of metalen.
Fotovoltaïsche ingenieurs hebben de SputterGlow een uitstekend alternatief voor de Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) zijn, omdat de SputterGlow proces vereist geen silaan (SiH 4) voor nitride depositie.
Samen met de enorme kostenbesparingen-of zonder dure faciliteren of de veiligheid horden-veel-onderzoekers het gevoel er sterke voordelen aan het gebruik van een gesputterde film voor de finale passivering / anti-reflecterende coating, wat resulteert in een hoger rendement fotovoltaïsche cel. De SputterGlow is ontworpen door John Reche. Voor een achtergrond op John Reche klik dan op "Over ons" op deze website.
Flexibiliteit
Met drie stations kamer kan de SputterGlow worden gebruikt voor verschillende verwerking behoeften. De individuele stations kunnen door elkaar worden gebruikt voor verwarming, sputteren of etsen met de juiste keuze van opties bij aankoop, of achteraf op een later tijdstip. De SputterGlow is een perfecte keuze voor onderzoek of laag volume productie toepassingen.
Kamer Integriteit / kosten
Vacuum Testen
De SputterGlow is ontworpen voor het verwerken vacuüm integriteit te waarborgen en een aluminium kamer te gebruiken (om de kosten laag te houden). De kamer is helium lek getest tot 6,5 x 10 -10 mbar met alle poorten geblokkeerd, (4,8 x 10 -10 torr).
De op maat ontworpen aluminium kamer zorgt voor een 3x prijsdaling in vergelijking met een roestvrij stalen kamer van hetzelfde kaliber. De SputterGlow kan opereren vanuit een extreem lage vermogen van 25 watt (voor minder agressieve verwerking), tot 1 kW voor meer agressieve sputteren.
De op maat ontworpen aluminium kamer zorgt voor een 3x prijsdaling in vergelijking met een roestvrij stalen kamer van hetzelfde kaliber. Kamer is 34 "in diameter x 11" hoog.
Eigen ontwerp
Een eigen vlak magnetron wordt gebruikt om het plasma te genereren. Dit ontwerp heeft een langere levensduur van het sputterdoel en een verbeterde uniformiteit afzetting op het substraat. De Glow Research eigen vlakke magnetron zal ook verbeterd sputteren en lagere warmte-overdracht aan de ondergrond.
PC Computer Controle
Handmatige of lap-top computer Controle
Een ingebouwde microprocessor regelt de motoren van de wafer vervoer, de positie van de wafer sokkels, het openen van het vacuüm en gas kleppen, enz. De gebruiker stuurt het depositie proces door het downloaden van een recept uit hun persoonlijke laptop (niet meegeleverd). De ingebouwde microprocessor is aangesloten op de laptop via een USB-poort. De gebruiker kan op maat van hun eigen proces met de Glow Research eigen sequencing programma, of selecteer een vooraf ingestelde proces dat is gedownload naar hun computer.
Voedingen
De SputterGlow kan worden geconfigureerd met RF, DC of gepulseerde DC-voedingen. De SputterGlow kan worden gebruikt om een verscheidenheid aan materialen ... diëlektrische, halfgeleiders, metalen en magnetische materialen deponeren. Gepulseerde DC kunnen worden gebruikt in plaats van een RF levering met voordeel waardoor de tuning netwerk. Een DC-voeding kan opgegeven als metalen of magnetische materialen zijn uitsluitend gesputterd.