SputterGlow Features

• Reactieve Afzetting door middel van Si ₃ N ₄ of andere films
• Elimineert de noodzaak voor silaangas
• Makkelijk te faciliteren in een lab, geen gevaarlijke gassen Nodig
• Tot drie doelstellingen
• Borgsom diëlektrische of Metals
• 200 mm wafers (of kleiner) of 156 mm x 156 mm Solar Cells
• Verwarming Opties (tot 400 graden C)
• 1200 Watt, 13,56 MHz RF-generator
• Automatisch Tuning
• Turbo en Backing Pump
• Watergekoelde magnetron sputteren
• Stepper Gecontroleerde behandeling van het substraat
• Computer of handmatige bediening van Meters
• MFC controle van gassen
• Diagnostiek lampjes

Opties

• Ondergrond Bias
• RGA
• Recirculatie Target Koeling
• Viewport Windows

Alle SputterGlow systemen wordt geleverd met handleiding 12 maanden garantie, eigenaar, video over de juiste inrichting van het systeem en de werking. Glow onderzoek zal ook on-site field service ondersteuning voor het opstarten van het systeem.

Voor meer informatie kunt u bellen met Glow Research USA 480-621-8405 of ons E-mail .