Plasma Cleaners, Plasma Etchers, Plasma Ashers og frese Nedfall (PVD) systemer leveres av Glow Research. Glow Forskning produserer den nye AutoGlow plasma renere / etcher, den OptiGlow plasma systemer og SputterGlow frese nedfall (PVD) systemer. Glow Forskning har også overtatt deler og verdensomspennende støtte for flere eldre plasma systemer fra Nordson MARS (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) og bygger nye plasma-reaktorer for ulike krav og størrelser. Vi forstår at de fleste laboratorier og folk som kjøper plasma systemer krever mye assistanse før og etter salget. Vi har muligheten til å kjøre prøvene, og bistå med installasjon av systemet ditt. Glow Forskning vil behandle GRATIS PRØVER for kunder som kanskje ønsker å kjøpe våre systemer.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Kan brukes ved lav effekt på 10 watt eller opptil 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatisk tuning, trykk read-out, nitrogen renske, myk utlufting, tre gass-innganger og er CE-merket. Den AutoGlow leveres med 24 måneders garanti. Perfekt for behandling PDMS, organisk fjerning eller foto-motstå fjerning.

Den AutoGlow plasma systemet brukes i produksjonen fabrikker samt laboratorier designet for å gi den medisinske, vitenskapelige, pedagogiske og mikroelektronikk fellesskap med plasma teknologi til en moderat pris. Inkluderer 2 års garanti.

Større AutoGlow systemer er tilgjengelig med anodisert aluminium kamre for å passe kundens krav. AutoGlow systemer kan behandle 200 mm (8 ") wafere.

Finn ut mer om AutoGlow

SputterGlow frese Nedfall System

Et perfekt valg for å sette dielektrika eller metaller med opptil tre mål. Opprinnelig utviklet for å sette Si ₃ N ₄ anti-reflekterende belegg på solceller som et alternativ til å bruke PECVD-fordi SputterGlow prosessen ikke krever farlige gasser som SIH ₄ for nitride deponering. Systemet har stepper robotikk, oppvarmet stasjoner, og styres med en lap-top PC.

Den proprietære planar magnetron genererer en plasma med lav eller høy kraft avhengig av ditt behov. Den SputterGlow ble utviklet for å sikre prosessen vakuum integritet og utnytte en aluminium kammeret (for å holde kostnadene nede).

Finn ut mer om SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Brukes for Plasma Surface Modification and Plasma Treatment, Surface Activation. Priset under $ 10 500 (USD), er solid, table-top OptiGlow plasma system perfekt for produksjon eller lab applikasjoner. Enkel å bruke. Display for kammer trykk og modul status.

Den OptiGlow Systemet er det første lavpris plasma system som kan brukes for å øke fukting og komforten av kontaktlinser og ulike materialer. Den OptiGlow plasma Systemet er ideelt for bruk før belegg, laminering og avsetning prosesser, og er svært effektiv til å behandle et bredt spekter av underlag eller materiale. Brukes i Bio MEMS og MicroFluidics.

Den OptiGlow 75 plasma-systemet er som standard OptiGlow, men med med 75 watt og muligheten til å bruke opp til to input gasser, som oksygen og argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. Den OptiGlow ACE er utviklet for å utføre en shing, C lener eller E tching på 13,56 MHz. Den OptiGlow ACE er utviklet for inntil to gasser innganger og kan bruke med CF4 typen gasser. Eloksert aluminium kammer og for enten RIE eller Plasma forhold. Flott for en lang prosess og fjerne lag på pakker eller halvledere chips.

OptiGlow ACE (rengjøring, Forasking, etsing)

Finn ut mer om OptiGlow systemer

Ombygd Systems

Glow Forskning har tatt over verden ansvaret for deler og service for flere eldre enheter fra Nordson mars (mars Plasmod, mars Super Plasmod, mars PM-600 og mars Jupiter RIE systemer). Vi holder med vår kompetanse og tilby ombygd mars og Tegal plasma-systemer. Ta en titt på hva gjenoppbygges systemene vi har å tilby .