Plasma Cleaners, Plasma Etchers, Plasma Ashers og frese nedfall (PVD) systemer er levert av Glow Research. Glow Forskning produserer AutoGlow plasma-systemer, OptiGlow plasma systemer og SputterGlow frese nedfall (PVD) systemer. Glow Forskning har overtatt deler og hele verden til støtte for flere eldre plasma systemer fra Nordson MARS (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) og bygger nye plasma reaktorer for ulike behov og størrelser. Vi forstår at de fleste laboratorier og folk som kjøper plasma systemer krever mye hjelp før og etter salget. Vi har muligheten til å kjøre prøvene, og bistå med installasjon av systemet ditt. Glow Forskning vil behandle GRATIS PRØVER for kunder som kanskje ønsker å kjøpe våre systemer.

Velge den riktige System:

OptiGlow-bruker luften i rommet som prosessen gass, 50 watt, 100 kHz, aluminium kammer. For overflate modifikasjon. Vår lavest priset system under $ 11 000 (inkluderer vakuum pumpe).

OptiGlow 75-for bruk med oksygen eller argon (og annen gass), 75 watt, 100 kHz, aluminium kammer. For overflate modifikasjon, plasma rengjøring, prebond behandling.

OptiGlow ACE-for bruk med oksygen, argon eller fluor (CF4) type gass. To gass mengdemålere og anodisert aluminium kammer. Variabel 10-150 watt 13,56 MHz RF generator, autotune. RIE eller plasma behandling. For aktivisering, Foraskning, rengjøring og etsing. Ideell for å fjerne lag for Failure Analysis, etsing en rekke filmer.

AutoGlow-Opp til tre gasser-oksygen, argon eller andre gasser, kvarts kammer, 6 "underlag, variabel 10-300 watt 13,56 MHz RF generator, autotune. Kapasitiv koblet, trykknapp automatisk drift. Brukes for plasma rengjøring, prebond, radering filmer, fjerne organiske, fjerning fotoresist.

AutoGlow 200-kan behandle 200 mm underlag (eller 8 "wafers). RIE eller plasma behandling. Opp til tre gasser-oksygen, argon eller fluor (CF4) type gass, variabel 10-300 watt 13,56 MHz RF generator, autotune, anodisert aluminium kammer. Brukes for plasma rengjøring, aktivering, prebond, etsing, fjerne organiske, fjerning fotoresist.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Dette table-top system kan brukes ved lav effekt på 10 watt eller opptil 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatisk tuning, press lese-out, nitrogen Purge, myk utlufting, tre gass-innganger og er CE merket. Den AutoGlow leveres med 24 måneders garanti. Perfekt for behandling PDMS, organisk fjerning eller foto-motstå fjerning. Har en kvarts kammer og kan behandle opptil 6 "(150 mm) underlag.

Det AutoGlow plasma systemet brukes i fabrikker, samt laboratorier designet for å gi den medisinske, vitenskapelige, pedagogiske og mikroelektronikk fellesskap med plasma teknologi på en moderat pris. Inkluderer 2 års garanti.

Større AutoGlow systemer er tilgjengelig med anodisert aluminium kamre for å passe kundens behov (RIE eller Plasma behandling). Bildet under er en AutoGlow 200. Designet for opp til 200 mm (8 ") substrater eller wafere, CF4, O2 eller Ar gass systemet kan brukes til RIE eller plasma behandling avhengig av prøven operatøren du bruker. Den har en anodisert aluminium kammer og kan brukes til etsing, ashing eller overflate modificaiton.

Finn ut mer om AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Den OptiGlow ACE er utviklet for å utføre Plasma A ctivation, A shing, C skjeve eller E tching på 13,56 MHz. Den OptiGlow ACE har to gass innganger, og kan være bruk med luft, oksygen eller CF4 typen gasser. Den har en anodisert aluminium kammer og kan brukes til enten RIE eller Plasma behandling. Flott for en lang prosess og fjerne lag på pakker eller halvledere chips. Brukes for Failure Analysis, fjerne fotoresist, rengjøring Organics, etsing Parylene, overflatebehandling og en rekke andre applikasjoner.

Standarden OptiGlow system brukes for Plasma Surface Modification and Plasma behandling, Surface Activation. Priset under $ 10 500 (USD), er det solid, table-top OptiGlow plasma system perfekt for produksjons-og lab-applikasjoner. Enkel å bruke med en skjerm for kammer trykk og modul status.

Det OptiGlow Systemet er det første lav pris plasma system som kan brukes for å øke fukting og komforten av kontaktlinser. Det OptiGlow plasma-systemet er også ideelt for bruk før belegg, laminering og deponering prosesser, og er svært effektiv til å behandle en rekke forskjellige underlag eller materiale.

Den OptiGlow 75 plasma systemet er likt standard OptiGlow og har en større aluminium kammer, 75 watt strøm og muligheten til å bruke opp til to input gasser, for eksempel oksygen eller argon. Kan brukes for organisk fjerning og stripping fotoresist.

SputterGlow frese deponering system

Et perfekt valg for å sette et bredt spekter av dielektrika eller metaller, med opptil tre mål. Opprinnelig laget for å sette Si ₃ N ₄ anti-reflekterende belegg på solceller som et alternativ til å bruke PECVD-fordi SputterGlow prosessen ikke krever farlige gasser som SIH ₄ for nitride deponering. Systemet har stepper robotikk, oppvarmede stasjoner, og styres med en lap-top PC.

Den proprietære Planar magnetron genererer en plasma med lav eller høy effekt, avhengig av ditt behov. Den SputterGlow ble designet for å sikre prosessen vakuum integritet og utnytte en aluminium kammeret (for å holde kostnadene nede).

Finn ut mer om SputterGlow

Ombygd Systems

Glow Forskning har overtatt den verdensomspennende ansvar for deler og service for flere eldre enheter fra Nordson mars (mars Plasmod, mars Super Plasmod, mars PM-600 og mars Jupiter RIE systemer). Vi holder med vår kompetanse og tilbud ombygd mars og Tegal plasma-systemer. Ta en titt på hva ombygd systemene vi har å tilby .