AutoGlow Plasma Systems

Det AutoGlow plasma-systemet er en tabletop plasma kjemi reaktoren designet for å gi den medisinske, vitenskapelige, pedagogiske og produksjonen mikroelektronikk fellesskapet med plasma teknologi på en moderat pris. Systemet brukes i produksjonen, samt FoU-sentre. Brukes for argon plasma, oksygen plasma, plasma belegg, PDMS, oksygen plasma behandling, foto motstå stripping, FA programmer, Parylene fjerning, organisk fjerning og lab bruk.

Universiteter og selskaper over hele verden finner AutoGlow plasma systemet perfekt passform for sine plasma behov.

Det AutoGlow plasma-systemet er det mest effektive systemet i sitt slag på markedet på grunn av sin variabel 10 Watt til 300 Watt, 13,56 MHz solid state generator. Det AutoGlow plasma systemet er også designet for å effektivt sammenbrudd gasser introdusert til systemet skape reaktive arter som vil raskt rense eller endre prøven. Automatisk tuning og et trykk avlesning er inkludert. Den AutoGlow kan slå en plasma så lav som 10 watt!

Automatisk / trykknapp betjening.

Glow Forskning har tatt det beste design av de gamle systemene, og oppdatert AutoGlow plasma-systemet med dagens teknologi, inkludert vår proprietære fase magnitude detektor og SimpleMatch RF nettverk som tillater effektiv plasma tuning og gir rask behandling uten bryet med stadig å tilpasse seg ulike utvalg belastninger. Den AutoGlow er svært pålitelig og har en to års garanti! Lett replaceble modulene i systemet er: RF Generator, RF Match Network, Face Plate Module (se nedenfor), Kvarts Chamber og Gas Control Module for mer data og informasjon, vennligst klikk på "AutoGlow Features" til høyre på denne siden. .

Her er hva en fersk Kunden hadde å si om AutoGlow deres: "Alt fungerer fint. Det chugs bare med som det skal. Jeg er imponert vi kan nesten fullt aske AZ4620 motstå på 125W i noen minutter. Jeg har noen også bruke det for forbehandling av PDMS før bonding. Fungerer bra for det. "
 
Det AutoGlow 200-systemet er designet for opptil 200 mm underlag eller 8 "wafere, og kan utføre RIE eller plasma prosessering-avhengig av hvilken prøve transportør brukt. Den anodisert aluminium kammeret kan accomidate standard O2, Ar eller CF4 typen gasser for etsing applikasjoner. Brønnen bevist elektronisk, RF generator, match nettverk og gass kontroll er den samme som standard AutoGlow ovenfor. Ta kontakt Glow Forskning for mer informasjon om AutoGlow 200.
Den AutoGlow 200 har samme status diagnostiske kortet som AutoGlow som bekrefter at alle sub-moduler fungerer som de skal. Systemet til høyre er
vist med den valgfrie nitrogen kammeret vent utrenskning.
Den AutoGlow 200 kan brukes til en rekke ulike bruksområder fra plasma aktivisering, renhold, organisk fjerning, pre-deponering rengjøring   samt en rekke radering applikasjoner.
 
 
 
 
 

MIT har en AutoGlow i Stata Center som brukes til ulike biomedisinske og MicroFluidics forskning. Bildet er en Geraldine Paulus, en doktorgradsstudent med ansvar for AutoGlow ved MIT tok 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice University har en AutoGlow i Halas Research Lab. Systemet brukes til fjerning av polymer motstår for applikasjoner i plasmonics og nanofotonikk. Bildet er Lisa Brown, en doktorgradsstudent som bruker AutoGlow å forberede prøver for overflate-forbedret molekylær spektroskopi. "

Harvard University AutoGlow system i Gordon McKay Lab. Systemet brukes til økologisk fjerning, overflate modifikasjon og serverer behov for flere forskere som arbeider med DNA forskning og menneskelige genom sekvensering. Bildet er Gordon Whitlock, president Glow Research.

Bildet er AutoGlow på Microsystems Technology Lab ved MIT. Denne AutoGlow brukes til fotoresist fjerning, rengjøring og overflate modifikasjon. Denne lab driver forskning i MEMS, BioMEMS, nanoteknologi og Photonics.