Ombygd Systems

Glow Forskning spesialiserer seg på Tegal, mars og R & D plasma systemer. Ombygd Tegal 901e og 903e systemer er vanligvis på lager.

Glow Forskning har tatt over hele verden deler og service for flere av de eldre plasma systemene fra mars Plasma Systems, Inc. (mars Plasmod, Super Plasmod, PM-600 og Jupiter RIE systemer).

Denne avtalen gjør Glow Forskning muligheten til å tilby garantier på våre gjenoppbygd mars systemer.

Nyere Tegal 901e Customer Kommentar:

"Vi kjøpte en Tegal 901e system fra Glow Research. Føl deg fri til å nevne oss som en fornøyd kunde på ditt nettsted. "... .... Eric Weis, PanJit Americas, Inc.

 

Mars Plasmod
March Plasmod 6" Mars Plasmod med 150 Watt, 13,56 MHz Generator. Barrel typen plasma system med en Pyrex 5,8 "(dia) x 7" (dyp) kammer. Den Pyrex kammer døren er montert på innsiden av inngangsdøren for enkel tilgang og behandling. Har automatisk tuning av matchende nettverket for enkel behandling. Analog panel meter. 115V, 50/60 Hz, [...]

Lab Plasma System
March Plasmod with Gas Control Module (optional) Mars Plasmod 115 VAC, 13,56 MHz RF generator, manuell tuning, Quartz innerste kammer og ytre kammer .. Manuell innstilling. Ytre kammer diameter er 4,5 ", er det indre kammeret diameter 4,25" og kammer dybde er 6.2 ". Fullt gjenoppbygd og testet. Selges med 30 dagers garanti. Prisen er $ 4.000. Det er antydet at du har [...]

Mars AP-1000
Excellent Shape, Looks New Ombygd mars AP-1000, S / N P100199, Produsent: Mars 2005 Advanced Energy ACG6B, 600 watt RF generator, 13,56 MHz, solid state 13,56 MHz strømforsyning med automatisk impedans matching to Mass Flow Controllers (Porter), 250 SCCM og 500. SCCM Lys Tower Leybold Trivac pumpemodell D65BCS, klar for Fomblin type olje Alcatel oljetåke Eliminator, 40S OME [...]

MARS CS-1701
MARCH CS-1701 (Rebuilt) MARS CS-1701 RIE System MARS CS-1701-systemet er fremdeles støttet av Nordson mars og Glow Forskning har bygget dette systemet til de høyeste standarder. Etter salget støtte kan inngås med Nordson MARS verdensbasis. Installasjon assistanse er støttet av Glow Research. Denne nyere stil MARS CS-1701 har oppdatert gass manifold med et lokk lift [...]

Plasma Cleaner
Plasma Cleaner AutoGlow plasma renere og Asher. 10-300 watt, auto-tune, diagnostikk, 160 mm dia. kvarts kammer, trykk-skjerm, tidtaker avstengt, CE merket, kapasitivt koblet, 24 måneders garanti. Flott for plasma rengjøring, ashing eller fjerne organiske.

Tegal Plasmod (4,5 "ytre kammer)
plasmod-45 115 VAC, 13,56 MHz RF generator, manuell tuning, Pyrex kammer, en gass inngang. Ytre kammer diameter er 4,5 ", er det indre kammeret diameter 4,25" og kammer dybde er 6.2 ". Fullt gjenoppbygd og testet. Selges med 30 dagers garanti.

Mars Jupiter
march-jupiter Mars Jupiter II RIE. AE 600 Watt RF Generator, Four Mass Flow-kontrollere, Automatic Tuning, Timer, End Point Detector, Baratron Pressure Control, End Point kontroll og mikroprosessor kontroll. 4 "eller 6". Full støtte, gjenoppbygd, 30 dagers garanti. Klar til å etse!

Tegal 903e
tegal-903e Kassett-til-kassett In-line Enkelt Wafer Plasma etcher. Evne til å etse vias og kontakter. For etsing silisiumdioksid, silisium nitrider, og polyamider. Systemet er solgt med konsultasjon fra på riktig tilrettelegging og drift. Systemet er operativt og kan påvises ved vår Customer Support Center i Mesa, Arizona. Ulike oppgraderinger er tilgjengelig for å passe dine spesifikke behov. [...]

Tegal 901e
tegal-901e Kassett-til-Cassette polysilisium / silisiumnitrid Plasma etcher. Systemet er operativt og kan påvises. Konfigurert for 4 in (100mm) wafere. ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF Generator. 20 Prosess oppskrift evne Process gasser styres av TYLAN MFC ikke-friksjon spatula velge og vrake i wafer transport. Leybold D65 oksygen tjeneste pumpe Tegal Lukket sløyfe temperaturregulator Chart opptaker [...]