Tegal 903e

Kassett-til-kassett In-line Enkel Wafer Plasma etcher. Evne til å etse vias og kontakter. For etsing silisium dioxide, silisium nitrider, og polyamider. Systemet er solgt med konsultasjon fra på riktig tilrettelegging og drift. System er operativ og kan påvises ved vår Customer Support Center i Mesa, Arizona. Ulike oppgraderinger er tilgjengelig for å passe dine spesifikke behov.

Kan håndtere wafere fra 3 tommer til 6 tommer tiden konfigureres for 4 tommer wafere.

• Mikroprosessor kontroll
• Foreløpig konfigurert for 4 tommer (100mm) wafere.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF Generator.
• 20 Prosess oppskrift evne
• Prosess gasser styres av Tylan MFC s
• Ikke-friksjon spatula plukke og sted wafer transport.
• Leybold D65 oksygen tjeneste pumpe (valgfri tørr pumpe tilgjengelig)
• To Tegal lukket sløyfe temperaturkontrollere
• Desember Monitor og tastatur
• Ikke-friksjon spatula plukke og sted wafer transport.
• Brukerhåndbøker inkludert, 208 V, 50/60 Hz

(Salg pending)