SputterGlow Funksjoner

• Reaktiv frese Nedfall av Si ₃ N ₄ eller andre filmer
• Eliminerer behovet for silangass
• Lett å rette i et laboratorium, trengte ingen farlige gasser
• Opp til tre mål
• Depositum dielektrika eller Metals
• 200 mm Wafers (eller mindre) eller 156 mm x 156 mm solceller
• Varme Options (opptil 400 grader C)
• 1200 Watt, 13,56 MHz RF Generator
• Automatisk Tuning
• Turbo og Backing Pump
• Vannavkjøling Magnetron Sputtering
• Stepper Kontrollert Substrat Handling
• Datamaskin eller manuell kontroll av måleinstrumenter
• MFC kontroll av gasser
• LED Diagnostics

Alternativer

• Substrat Bias
• RGA
• Resirkulering Target Kjøling
• Synsfelt Windows

All SputterGlow systemer leveres med en 12 måneders garanti, instruksjonsbok, video på riktig satt opp av systemet og drift. Glow Forskning vil også gi på stedet feltservice støtte til oppstart av systemet.

For mer informasjon vennligst ring Glow Forskning USA 480-621-8405 eller Email oss .