Filtry osocza, Etchers plazmowe, Ashers plazmowe i Rozpylanie jonowe (PVD) systemy są dostarczane przez firmę Research Glow. Badania Glow produkuje AutoGlow Plazmowe, OptiGlow Plazmowe i SputterGlow Rozpylanie jonowe (PVD) systemów. Badania Glow przejęła części i wsparcie na całym świecie od kilku starszych systemów plazmowych z Nordson marca (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jowisz RIE) i buduje nowe reaktory plazmowe dla różnych wymagań i rozmiarów. Zdajemy sobie sprawę, że większość laboratoriów i osoby, które zakupią systemy plazmowe wymagają dużego wsparcia przed i po sprzedaży. Mamy możliwość uruchamiania swoich próbek, i pomocy przy instalacji systemu. Badania Glow będzie przetwarzać darmowych próbek dla klientów, którzy mogą chcieć kupować nasze systemy.

Wybór właściwego systemu:

OptiGlow-wykorzystuje powietrze z pomieszczenia jako gazu procesowego 50 watów, 100 kHz, komora aluminium. Obróbki powierzchniowej. Nasz najtańszy system pod 11000 dolarów (zawiera pompę próżniową).

OptiGlow 75-do stosowania z tlenem lub (i innych gazów) argon, 75 watów, 100 kHz, komora aluminium. Do modyfikacji powierzchni, czyszczenie plazmowe, prebond leczenie.

OptiGlow ACE do stosowania z tlenem lub argon fluoru (CF4) rodzaj gazu. Dwa gazu Przepływomierze, anodowane kameralne aluminium, Zmienna 10 do 150 wat 13,56 MHz RF generatora, Autotune. RIE lub osocze przetwarzania. Do aktywacji, spopielania, czyszczenia i trawienia. Idealny do usuwania warstw dla Failure Analysis, trawienie różnych filmów.

AutoGlow-Up do trzech gazów, tlenu, argonu lub innych gazów, kwarc komora, 6 "podłoża, zmienny 10 do 300 wat 13,56 MHz RF generatora, Autotune. Pojemnościowy coupled, przycisk pracy automatycznej. Służy do czyszczenia plazmowy, prebond, filmy sztychu, organiczne usuwanie, usunięcie fotorezystu.

AutoGlow 200-może przetwarzać 200 mm podłoża (lub 8 "wafle). RIE lub osocze przetwarzania. Do trzech gazów, tlenu, argonu lub fluor (CF4) rodzaj gazu, zmienny 10 do 300 wat 13,56 MHz RF generatora, Autotune, anodyzowane aluminium komora. Służy do czyszczenia, plazmowy aktywacji, prebond, akwaforta, usuwanie organicznych, usuwania fotomaski.

AutoGlow plazmowy system

Cleaner osocza. To stołowy System może być stosowany przy niskim poborze mocy 10 watów lub do 300 watów, 13,56 MHz generator stałych państwa, automatycznym strojeniem stacji, ciśnienie odczytowego, oczyszczą azotu, odpowietrzanie miękkiej, trzema wejściami i gazu jest oznakowany symbolem CE. AutoGlow pochodzi z 24 miesięczną gwarancją. Doskonały w leczeniu PDMS, ekologicznej usuwania lub masek usuwania. Posiada kwarcowy komory i może przetworzyć do 6 "(150 mm) podłożach.

AutoGlow system plazmowy jest wykorzystywany w fabrykach produkcyjnych, a także laboratoria, zaprojektowany w celu zapewnienia medycznej, naukowej, edukacyjnej i mikroelektroniki społeczności technologii plazmowej w umiarkowanej cenie. Zawiera 2 letnią gwarancją.

Większe systemy AutoGlow dostępne są z anodowanego aluminium pasujące do komór wymagania Klienta (RIE lub osocze przetwarzanie). Na zdjęciu poniżej jest AutoGlow 200. Przeznaczony dla maksymalnie do 200 mm (8 ") podłoży lub płytek półprzewodnikowych, CF4, O2 lub ​​Ar gazu, system może być wykorzystywane do RIE lub przetwarzania osocza, w zależności od przewoźnika próbki używasz. Ma z anodyzowanego aluminium i komory mogą być wykorzystywane do modificaiton akwaforta, spopielania lub powierzchni.

Dowiedz się więcej o AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE jest przeznaczony do wykonywania Plasma A ctivation i Shing, C pochylonej lub E tching na 13,56 MHz. OptiGlow ACE posiada dwa wejścia gazu i może być użyty z powietrza, tlenu lub CF4 typu gazów. Ma z anodyzowanego aluminium i komory mogą być używane zarówno RIE lub Plasma przetwarzania. Doskonały do ​​długiego procesu i warstw usuwania paczek lub półprzewodników. Służy do analizy uszkodzeń, usuwania fotomaski, czyszczenia organiczne, akwaforta Parylene, obróbkę powierzchni i wielu innych zastosowań.

Standardowy system OptiGlow służy do modyfikacji plazmy i obróbki powierzchni plazmowy, Aktywacja powierzchni. Wycenione w 10.500 dolarów (USD), wytrzymały, table-top OptiGlow system plazmowy jest idealny do produkcji lub laboratorium zastosowań. Łatwy w użyciu z wyświetlaczem o ciśnieniu w komorze i status modułu.

System OptiGlow to pierwsze nisko system plazmowy koszt, który może być używany do zwiększenia zwilżalności i komfort soczewek kontaktowych. OptiGlow system plazmowy jest idealny do stosowania przed nalotem, laminowania i procesy osadzania i jest bardzo skuteczny w leczeniu szerokiej gamy podłoży lub materiałów.

OptiGlow 75 system plazmowy jest podobny do standardowej OptiGlow i ma większą komorę aluminium, 75 watów mocy i opcji skorzystać maksymalnie dwa wejścia gazów, takich jak tlen lub argon. Może być stosowany do usuwania organicznych i fotorezystu nabywanego przedsiębiorstwa.

SputterGlow Sputter system osadzania

Idealny wybór do złożenia szeroką gamę dielektryków bądź metali, z maksymalnie trzech celów. Pierwotnie zaprojektowany do złożenia Si 3 N 4 anty-odblaskowe powłok na ogniwach słonecznych jako alternatywy dla korzystania PECVD-ponieważ proces SputterGlow nie wymaga niebezpieczne gazy, takie jak SiH 4 do osadzania azotków. System posiada krokowego robotyki, podgrzewane stacji, i jest sterowany za pomocą komputera lap-top.

Opatentowany płaski magnetron wytwarza plazmę o mocy niskiej lub wysokiej, w zależności od potrzeb. SputterGlow został zaprojektowany w celu zapewnienia integralności próżniowej przetwarzać i wykorzystywać komorę aluminium (aby utrzymać koszty w dół).

Dowiedz się więcej o SputterGlow

Przebudowywane systemy

Badania Glow przejęła światowej odpowiedzialności za usługę i części dla kilku starszych jednostek z Nordson marca (marzec Plasmod, marzec Super Plasmod, marzec PM-600 i marzec Jupiter RIE systemy). Pozostajemy przy naszej wiedzy i oferty przebudowany marca i Tegal systemy plazmowe. Spójrz na co przebudowywane systemy, które mamy do zaoferowania .