Tegal 903e

Kaseta-kaseta in-line Jedynka rytownik Plasma Wafer. Możliwość etch ścieżek i kontaktów. Do trawienia dwutlenek krzemu, azotki krzemu i poliamidów. System sprzedawany jest z konsultacji ze na właściwej ułatwień i eksploatacji. System jest sprawny i można wykazać w naszym centrum obsługi klienta w Mesa w Arizonie. Różne aktualizacje są dostępne do swoich specyficznych potrzeb.

Może obsłużyć wafle od 3 cali do 6 cali Aktualnie skonfigurowane dla 4 cali wafli.

  • Sterowanie mikroprocesorowe
  • Aktualnie skonfigurowane dla 4 cala (100mm) wafli.
  • ENI 1.000 Watt 13,56 MHz Generator RF.
  • 20 przepis zdolności procesu
  • Gazy technologiczne sterowane Tylan MFC
  • Brak tarcia szpatułka odebrać i transport opłatek miejsce.
  • Leybold D65 pompa serwis tlen (opcjonalnie sucha pompa dostępny)
  • Dwa Tegal zamknięte regulatory temperatury pętli
  • Grudzień monitor i klawiatura
  • Brak tarcia szpatułka odebrać i transport opłatek miejsce.
  • Instrukcje zawarte, 208 V, 50/60 Hz

(Sprzedaż w toku)