Limpadores de plasma, etchers Plasma, Plasma e Ashers deposição por pulverização catódica (PVD) sistemas são fornecidos pela Pesquisa Glow. Pesquisa brilho fabrica o novo plasma AutoGlow limpo / etcher, os sistemas OptiGlow plasma eo SputterGlow deposição por pulverização catódica (PVD) sistemas. Pesquisa brilho também assumiu as peças e suporte em todo o mundo para vários sistemas mais antigos de plasma Nordson MARÇO (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Júpiter RIE) e constrói reatores de plasma novo para os requisitos de vários tipos e tamanhos. Entendemos que a maioria dos laboratórios e as pessoas que compram sistemas de plasma exigem uma grande quantidade de assistência antes e depois da venda. Temos a capacidade de executar suas amostras, e ajudar com a instalação de seu sistema. Pesquisa brilho irá processar AMOSTRAS GRÁTIS para clientes que podem querer comprar nossos sistemas.

AutoGlow Plasma Sistema

Limpador de plasma. Pode ser usado em baixa potência de 10 watts ou até 300 watts, gerador de 13,56 MHz de estado sólido, sintonia automática, a pressão de leitura, purga de nitrogênio, ventilação suave, três entradas de gás e tem a marca CE. O AutoGlow vem com uma garantia de 24 meses. Perfeito para o tratamento de PDMS, remoção de orgânicos ou foto-resiste remoção.

O AutoGlow sistema de plasma é usado em fábricas de produção, bem como laboratórios desenhados para oferecer à comunidade médica, científica, educacional e microeletrônica, com tecnologia de plasma a um custo moderado. Inclui uma garantia de 2 anos.

Sistemas maiores AutoGlow estão disponíveis com câmaras de alumínio anodizado para atender os requisitos do Cliente. Sistemas AutoGlow pode processar 200 mm (8 ") wafers.

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SputterGlow sistema de deposição por pulverização catódica

A escolha perfeita para depositar dielétricos ou metais com até três alvos. Originalmente concebida para a deposição de Si 3 N 4 revestimentos anti-reflexo em células solares como uma alternativa ao uso de PECVD, porque o processo não requer SputterGlow gases perigosos, tais como SiH 4 para deposição de nitreto. O sistema tem de passo robótica, estações aquecida, e é controlada com um computador lap-top.

A proprietária planar magnetron gera um plasma com energia baixa ou alta, dependendo da sua necessidade. O SputterGlow foi projetado para garantir a integridade de vácuo processar e utilizar uma câmara de alumínio (para manter o custo baixo).

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OptiGlow Plasma Sistemas

Usado para Plasma modificação da superfície e Tratamento Plasma, Ativação de Superfície. Com preços abaixo de US $ 10.500 (USD), o robusto, table-top OptiGlow sistema de plasma é perfeito para aplicações de produção ou de laboratório. Fácil de usar. Exibição de pressão da câmara e status do módulo.

O sistema é o sistema OptiGlow primeiro plasma de baixo custo que podem ser usados ​​para aumentar a molhabilidade e conforto de lentes de contato e materiais diversos. O sistema plasma OptiGlow é ideal para uso antes do revestimento, laminação e processos de deposição, e é altamente eficaz no tratamento de uma ampla gama de substratos ou material. Usado em Bio MEMS e microfluídica.

O sistema OptiGlow plasma 75 é como o OptiGlow padrão, mas com com 75 watts de potência e a opção de usar até dois gases de entrada, como oxigênio ou argônio.

leaning or E tching at 13.56 MHz. A ACE OptiGlow é projetado para executar shing A, C ou E inclinando-se em 13,56 MHz tching. A ACE OptiGlow é projetado para até duas entradas de gases e pode ser usado com gases CF4 tipo. Câmara em alumínio anodizado e por condições tanto RIE ou Plasma. Grande para um processo longo e camadas remoção dos volumes ou chips semicondutores.

OptiGlow ACE (Limpeza, Calcinação Etching)

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Sistemas reconstruída

Pesquisa brilho assumiu a responsabilidade mundial para peças e serviços para diversas unidades mais antigas da Nordson MARÇO (março Plasmod, de Março de Super Plasmod, março PM-600 e Março de Júpiter RIE sistemas). Nós ficamos com a nossa experiência e oferecer reconstruída março e sistemas Tegal plasma. Dê uma olhada em quais sistemas reconstruídos que temos para oferecer .