Limpadores de plasma, plasma, Etchers Ashers plasma e deposição por pulverização catódica (PVD) sistemas são fornecidos pela Pesquisa Glow. Pesquisa brilho fabrica sistemas AutoGlow plasma, plasma OptiGlow sistemas e SputterGlow deposição por pulverização catódica (PVD) sistemas. Pesquisa brilho assumiu as peças e suporte em todo o mundo para vários sistemas mais antigos de plasma de Nordson MARÇO (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Júpiter RIE) e constrói reatores de plasma novos requisitos para vários tipos e tamanhos. Entendemos que a maioria dos laboratórios e as pessoas que compram sistemas de plasma exigem uma grande quantidade de assistência antes e depois da venda. Temos a capacidade de executar as suas amostras, e ajudar com a instalação do seu sistema. Pesquisa brilho irá processar AMOSTRAS GRÁTIS para clientes que queiram comprar nossos sistemas.

Escolhendo o sistema de direito:

OptiGlow-utiliza ar ambiente como o gás de processo, 50 watts, 100 kHz, a câmara de alumínio. Para modificação da superfície. Nosso sistema de menor preço abaixo de US $ 11.000 (inclui a bomba de vácuo).

OptiGlow 75-para uso com o oxigénio ou árgon (e outro gás), 75 watts, 100 kHz, a câmara de alumínio. Para modificação da superfície, a limpeza de plasma, tratamento prebond.

OptiGlow ACE-para uso com oxigênio, argônio ou flúor (CF4) o gás do tipo. Dois medidores de vazão de gás, câmara de alumínio anodizado. Watt Variável 10-150 de 13,56 MHz RF gerador, autotune. RIE ou plasma de processamento. Para a ativação, incineração, limpeza e decapagem. Ideal para remoção de camadas para análise de falhas, gravando uma variedade de filmes.

AutoGlow-Up para três gases de oxigénio, árgon ou de outros gases, a câmara de quartzo, 6 "substratos, variável 10-300 watt 13,56 MHz RF gerador, autotune. Capacitivo acoplado, push operação do botão automático. Usado para limpeza de plasma, prebond, filmes de águas-fortes, compostos orgânicos remoção, remoção de fotorresiste.

AutoGlow 200-200 pode processar substratos mm (ou 8 "wafers). RIE ou plasma de processamento. Até três gases oxigênio, argônio ou flúor (CF4) de gás, tipo watt variável de 10-300 de 13,56 MHz RF gerador, autotune, câmara de alumínio anodizado. Usado para limpeza de plasma de ativação, prebond, gravura, remoção de orgânicos, removendo fotorresiste.

AutoGlow Plasma Sistema

Limpador de Plasma. Este sistema de mesa pode ser usado em baixa potência de 10 watts ou até 300 watts, gerador de 13,56 MHz de estado sólido, de ajuste automático, pressão ler-out, purgar nitrogênio, ventilação suave, três entradas de gás e é a marca CE. O AutoGlow vem com uma garantia de 24 meses. Perfeito para o tratamento de PDMS, remoção orgânica ou foto-resistem à remoção. Tem uma câmara de quartzo e pode processar até 6 "(150 mm) substratos.

O sistema AutoGlow plasma é usado em fábricas de produção, bem como laboratórios projetados para oferecer à comunidade médica, científica, educacional e microeletrônica, com tecnologia de plasma a um custo moderado. Inclui uma garantia de 2 anos.

Sistemas maiores AutoGlow estão disponíveis com câmaras de alumínio anodizado para se adequar às exigências do Cliente (RIE ou Plasma de processamento). Na foto abaixo é de 200 AutoGlow. Concebidos para até 200 mm (8 ") substratos ou hóstias, CF4, O2 ou Ar gás, o sistema pode ser utilizado para RIE ou de processamento de plasma de acordo com o carregador da amostra utilizada. Tem uma câmara de alumínio anodizado e pode ser usado para a incineração modificaiton gravura, ou de superfície.

Saiba mais sobre AutoGlow

OptiGlow Plasma Sistemas  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. A ACE OptiGlow é projetado para executar Plasma ctivation A, A shing, C ou E tching inclinada a 13,56 MHz. O ACE OptiGlow tem duas entradas de gás e pode ser utilizado com o oxigénio do ar, ou CF4 gases de tipo. Tem uma câmara de alumínio anodizado e pode ser usada para qualquer RIE ou de processamento de plasma. Grande para um processo longo e camadas de remoção de pacotes ou chips semicondutores. Utilizado para análise de falhas, remover fotorresiste, limpeza orgânica, gravando Parileno, tratamento de superfície e uma série de outras aplicações.

O sistema OptiGlow padrão é usado para Plasma Modificação de superfície e tratamento de plasma, ativação da superfície. Com preço abaixo de $ 10.500 (USD), o robusto, de mesa OptiGlow sistema de plasma é perfeito para aplicações de produção ou de laboratório. Fácil de usar com um monitor de pressão da câmara e status do módulo.

O sistema é o sistema de OptiGlow plasma primeiro baixo custo que pode ser usado para aumentar a molhabilidade e conforto de lentes de contacto. O sistema de plasma OptiGlow também é ideal para utilizar antes do revestimento, laminação e processos de deposição, e é altamente eficaz no tratamento de uma ampla gama de substratos ou materiais.

O sistema de plasma OptiGlow 75 é semelhante ao padrão OptiGlow e tem uma câmara maior de alumínio, 75 watts de potência ea opção de utilizar até dois gases de entrada, tais como oxigénio ou árgon. Pode ser usado para a remoção biológica e fotorresiste de extracção.

SputterGlow sistema de deposição por pulverização catódica

Uma escolha perfeita para depositar uma vasta gama de dieléctricos ou metais, com até três alvos. Originalmente concebido para depositar Si 3 N 4 revestimentos anti-reflexo sobre as células solares como uma alternativa ao uso de PECVD-porque o processo não requer SputterGlow gases perigosos, tais como SiH 4 para a deposição de nitreto. O sistema tem de passo robótica, as estações quentes, e é controlada com um computador lap-top.

O proprietário planar magnetron gera um plasma com energia baixa ou alta, dependendo de sua necessidade. O SputterGlow foi projetado para garantir a integridade do processo de vácuo e utilizar uma câmara de alumínio (para manter o custo baixo).

Saiba mais sobre SputterGlow

Sistemas reconstruídos

Pesquisa brilho assumiu a responsabilidade mundial para peças e serviços para várias unidades mais antigas da Nordson Março (Março Plasmod, de Março de Super Plasmod, março PM-600 e março de Júpiter RIE sistemas). Nós ficamos com a nossa experiência e oferta reconstruída março e sistemas Tegal plasma. Dê uma olhada em sistemas que reconstruíram que temos para oferecer .