AutoGlow Plasma Sistemas

O AutoGlow sistema de plasma é uma mesa reator química plasma projetado para fornecer a médica, científica, educacional e da produção comunitária de microeletrônica com tecnologia de plasma a um custo moderado. O sistema é utilizado na produção, bem como centros I & D. Usado para argon plasma, plasma de oxigênio, revestimento de plasma, PDMS, tratamento de plasma de oxigênio, fotos decapagem aplicações, FA, remoção Parileno, remoção orgânica e uso de laboratório.

Universidades e empresas em todo o mundo encontrar o sistema plasma AutoGlow o ajuste perfeito para as suas necessidades de plasma.

O AutoGlow sistema de plasma é o sistema mais eficiente de seu tipo no mercado por causa de sua Watt 10 variáveis ​​para 300 Watt, 13,56 MHz gerador de estado sólido. O AutoGlow sistema de plasma também é projetado para gases de decomposição eficiente introduzidas no sistema de criação de espécies reativas que rapidamente limpar ou modificar o exemplo. Sintonização automática e uma leitura de pressão estão incluídos. O AutoGlow pode encontrar um plasma tão baixas quanto 10 Watts!

Automático / operação de botão de pressão.

Pesquisa brilho levou os melhores projetos dos sistemas antigos, e atualizou o sistema de plasma AutoGlow com a tecnologia atual, incluindo o nosso detector de propriedade de fase e magnitude RF SimpleMatch de rede que permite ajuste de plasma eficiente e proporciona um processamento mais rápido, sem problemas de estar constantemente a ajustar a amostra vários cargas. O AutoGlow é muito confiável e tem uma garantia de dois anos! Módulos facilmente substituível no sistema são: Gerador de RF, RF Rede de jogo, Módulo Face Plate (ver abaixo), Câmara de quartzo e Módulo de Controle de Gás Para mais dados e informações, por favor, clique em "Características AutoGlow" à direita nesta página. .

Aqui está o que um cliente recente teve a dizer sobre sua AutoGlow: "Tudo está funcionando bem. Ele só chugs juntamente como deveria. Estou impressionado podemos quase totalmente cinzas AZ4620 resistir a 125W em poucos minutos. Eu tenho alguém que também usá-lo para pré-tratamento de PDMS antes da colagem. Funciona muito bem para isso. "
 
O AutoGlow 200 sistema é projetado para até 200 mm substratos ou 8 "wafers, e pode executar RIE ou plasma processando-dependendo de qual transportadora amostra utilizada. A câmara de alumínio anodizado pode accomidate padrão O2, Ar ou gases CF4 tipo de ataque aplicações. O poço provado electrónico, o gerador de RF, corresponder rede e de controlo de gás é a mesma que a AutoGlow padrão acima. Entre em contato Research Brilho para mais informações sobre o AutoGlow 200.
O AutoGlow 200 tem o cartão mesmo status de diagnóstico como o AutoGlow que confirma que todos os sub-módulos estão funcionando corretamente. O sistema para a direita é
mostrado com o expurgo de ventilação opcional nitrogênio câmara.
O AutoGlow 200 pode ser usado para uma varity de aplicações de activação de plasma, a limpeza de remoção, orgânica, a deposição de pré-limpeza   bem como uma variedade de aplicações de decapagem.
 
 
 
 
 

MIT tem uma AutoGlow no Centro Stata que é usado para vários biomédica e investigação microfluídica. Na foto é uma Paulus Geraldine, um estudante de doutorado no comando do AutoGlow no MIT Prédio 66 (Prédio Landau Lab).

 
 
 

"Rice University tem um AutoGlow na Pesquisa Halas Lab. O sistema é utilizado para remoção de polímero resistente para aplicações em plasmônica e nanofotônica. Foto é Lisa Brown, um estudante de doutorado que usa o AutoGlow para preparo de amostras para a superfície melhorada, espectroscopia molecular. "

Sistema da Universidade de Harvard AutoGlow no McKay Gordon Lab. O sistema é utilizado para a remoção orgânica, modificação da superfície e atende às necessidades de diversos pesquisadores que trabalham em pesquisa de DNA e seqüenciamento do genoma humano. Na foto é Gordon Whitlock, o presidente de Pesquisa Glow.

Na foto é o AutoGlow no Microsystems Technology Lab do MIT. Este AutoGlow é usado para a remoção de material fotosensitivo, limpeza e modificação da superfície. Este laboratório faz a pesquisa em MEMS, BioMEMS, nanotecnologia e fotônica.