Características AutoGlow

Observe o tubo de distrubution gás na câmara - isso ajuda com uniformidade processo.

O sistema plasma tem AutoGlow eletrônica de estado sólido, opções de entrega de gás e atualizada tecnologia que é esperado por usuários e pessoal de segurança em todo o mundo. A dimensão da câmara é 144,27 milímetros (5,68 in) de diâmetro por 186,94 milímetros de profundidade (7,36 in) e é feito de quartzo de alta pureza. O sistema de câmara e são projetados para aumentar a uniformidade e repetibilidade quando comparado a outros sistemas de mesa plasma. A câmara maior também está disponível.

O sistema AutoGlow plasma foi projetado tanto para baixa potência ou operação de alta potência com uma variável de 10-300 watts, gerador de 13,56 MHz de estado sólido tornando o plasma AutoGlow o sistema mais eficiente sistema de seu tipo no mercado.

• Pequenos, o sistema de mesa
• Variável 10-300 Watts em 13,56 MHz para o processamento suave ou mais agressivo
• Câmara de quartzo de alta pureza
• Estado sólido eletrônicos não tubos
• Detectores de estado sólido patenteado para ajuste rápido
• Sintonização automática para processamento de plasma eficiente
• Pressão lida para o processamento fácil
• Cronômetro
• Exibe a frente e reflete poder e RF set point
• AutoTell cartão de diagnóstico para melhor uptime
• Câmara de distribuição de gás para a uniformidade melhorada
• Ventilação suave para evitar pressão de ruptura
• Módulo de Controle opcional de gás com até três entradas de gás
• Plasma uniforme para resultados rápidos e eficientes
• Gerador de RF e de propriedade de rede para combinar potência refletida mínima, independentemente da configuração de energia
• Rede SimpleMatch correspondente para ajuste rápido
• Proteção UV embutido na porta da vista frontal
• Sistema totalmente caracterizada para resultados reproduzíveis
• Fácil de entender-fácil de operar
• Todos os aparelhos eletrônicos estão em duas placas plug in para o reparo fácil
• Start-up de apoio
• Start-up de vídeo
• Manual completo e documentação
• 24 meses de garantia

Chapa é tratada e mascarados para garantir adequada RF design.cured para garantir a ligação adequada da tinta com o contato elétrico correto. O gabinete de metal é mascarado de tal forma a aumentar o contato metal-metal ... para eliminar vazamento de RF. Isto significa que o AutoGlow vai encontrar um plasma rapidamente, independentemente da carga de amostra. RF ajuste adequado começa com o design do gabinete. O AutoGlow é modular. O gerador de RF pode ser facilmente removido da parte de trás do sistema. A Câmara pode ser facilmente removido. Todos os sistemas eletrônicos estão em uma placa substituível (anexo ao visor do painel frontal). As conexões são necessárias apenas para o vácuo, elétrica e gás (todos mostrados). Basta conectar o plugue AC, conect a bomba de vácuo e seu gás ... e você está pronto para processar as amostras.

A Rede de jogo RF é extremamente rápido, os capacitores giro de 360 graus, o que permite que o AutoGlow para sintonizar extremamente rápido, independentemente da carga dentro da câmara de processamento.

O eletrodo superior é alimentado eo eletrodo inferior é aterrado, que produz um processo químico. O AutoGlow pode ser executado a partir de tão baixo como 10 watts para o processamento suave, ou tão elevados como 300 watts para o processamento mais agressivo.

Brilho Plasma típico. A porta da câmara de quartzo tem proteção UV para atender novas normas de segurança