Stripping de Photoresist

O AutoGlow sistema de plasma pode ser usado para a remoção de material fotosensitivo. A maioria dos utilizadores usar um plasma de oxigénio para remover material fotosensitivo a partir de uma variedade de tipos de plaquetas (silício, GaAs, carboneto de silício, nitreto de silício substratos). O projeto automatizado AutoGlow plasma sistema vai permitir a operação fácil e automática.

Incineração de baixa temperatura é um meio eficaz de preparação de amostras para uma grande variedade de métodos analíticos. Um plasma de oxigênio gentilmente oxidar material orgânico deixando inorgânicos para trás. As amostras, tais como tecido de planta ou animal pode ser incinerada deixando a estrutura tridimensional intacta para microscopia de análise. Taxas de incineração são cerca de um grama por hora, de modo que o plasma AutoGlow sistema de recurso de auto-tune é bem adequado para a operação autônoma. O AutoGlow sistema de plasma pode ser utilizado para a limpeza de células de transmissão, janelas e lâminas de microscópio.