De curăţare cu plasmă, Plasma, Etchers Ashers plasmă şi prin pulverizare (PVD), sistemele sunt furnizate de Cercetare Glow. Cercetare Glow produce AutoGlow plasma sisteme, sisteme de OptiGlow plasmă şi SputterGlow prin pulverizare (PVD) sisteme. Cercetarea Glow a preluat părţile şi de sprijin la nivel mondial pentru mai multe sisteme plasmatice mai mari de la Nordson martie (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter Rie) şi construieşte reactoare noi de plasmă pentru cerinţe diferite şi dimensiuni. Noi înţelegem că cele mai multe laboratoare şi persoanele care achizitioneaza sisteme de plasmă necesită un volum mare de asistenţă înainte şi după vânzare. Avem capacitatea de a rula probe, şi să sprijine cu instalarea sistemului dumneavoastră. Cercetarea Glow va pregăti probe GRATUIT pentru Clienţii care poate doresc să achiziţioneze sistemele noastre.

Alegerea sistemului de dreapta:

OptiGlow-foloseste aerul din camera ca gazul de proces, de 50 de waţi, 100 kHz, camera de aluminiu. De modificare a suprafeţei. Sistemul nostru de cel mai mic preţ în conformitate cu 11.000 dolari (include pompa de vid).

OptiGlow 75-pentru utilizare cu oxigen sau argon (şi de alte gaze), de 75 W, 100 kHz, camera de aluminiu. Pentru modificarea suprafeţei, plasmă de curăţare, tratament prebond.

OptiGlow ACE-pentru utilizare cu oxigen, argon sau fluor (CF4), gaz de tip. Două contoare de gaz, cameră de aluminiu anodizat. Variabila 10 la 150 Watt 13,56 MHz RF generator, Autotune. Rie sau de plasmă de prelucrare. Pentru activare, incinerare, de curăţare şi de gravare. Ideal pentru îndepărtarea straturilor de Analiză Failure, gravură o varietate de filme.

AutoGlow-Până la trei gaze, oxigen, argon sau alte gaze, camera de cuarţ, de 6 ", substraturi, variabil 10 - 300 Watt 13,56 MHz RF generator, Autotune. Cuplat capacitiv, apasare pe butonul funcţionare automată. Utilizate pentru curăţarea cu plasmă, prebond, filme de gravare, eliminarea organice, eliminarea fotorezist.

AutoGlow 200-200 poate procesa substraturi mm (sau 8 ", napolitane). Rie sau de plasmă de prelucrare. Până la trei gaze, oxigen, argon sau fluor (CF4) tipul de gaz, variabil 10 - 300 Watt 13,56 MHz RF generator, Autotune, camera de aluminiu anodizat. Utilizate pentru curăţarea cu plasmă, de activare, prebond, gravare, eliminarea organice, eliminarea fotorezist.

Sistemul de AutoGlow Plasma

Plasma Cleaner. Acest sistem de masă pot fi utilizate la redus de energie de 10 watts sau până la 300 W, generator de 13.56 MHz în stare solidă, de reglare automată, de presiune citire-out, de epurare de azot, de ventilatie moale, trei intrari de gaze naturale şi este marcat CE. AutoGlow vine cu o garanţie de 24 de luni. Perfect pentru tratarea PDMS, îndepărtarea organice sau foto-rezista îndepărtare. Are o camera de cuarţ şi poate procesa până la 6 "(150 mm), substraturi.

AutoGlow plasma Sistemul este utilizat în fabricile de producţie, precum şi laboratoare conceput pentru a oferi comunitatii medicale, ştiinţifice, educaţionale şi Microelectronică cu tehnologia cu plasmă, la un cost moderat. Include o garanţie de 2 ani.

Sistemele mai mari AutoGlow sunt disponibile cu camere de aluminiu anodizat pentru a se potrivi cerinţelor clientului (Rie sau Plasma de prelucrare). Imaginea de mai jos este o AutoGlow 200. Proiectat pentru până la 200 mm (8 ") sau a tabletelor pentru substraturi, CF4, O2 sau ar gaz, sistemul poate fi utilizat pentru rie sau de prelucrare cu plasmă, în funcţie de operatorul de transport eşantion utilizaţi. Acesta are o camera de aluminiu anodizat şi pot fi folosite pentru modificaiton gravură, incinerare sau de suprafaţă.

Aflaţi mai multe despre AutoGlow

Sisteme de OptiGlow Plasma  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow este proiectat pentru a efectua Plasma A ctivation, shing A, C sau E înclinat tching la 13,56 MHz. ACE OptiGlow are două intrări de gaze şi poate fi utilizat cu aer, oxigen, sau CF4 gaze de tip. Acesta are o camera de aluminiu anodizat si poate fi folosit fie pentru rie sau de prelucrare cu plasmă. Mare pentru un proces lung şi înlăturarea straturilor pe ambalajele sau cipuri semiconductoare. Folosit pentru analiza Nerespectarea, eliminarea fotorezist, de curăţare organice, gravare Parylene, tratament de suprafaţă şi o serie de alte aplicaţii.

Sistemul de OptiGlow standard este folosit pentru modificarea suprafeţei Plasmei si Tratament cu plasma, Suprafata de activare. Pret de sub 10.500 dolari (USD), robust, de masă sistem de OptiGlow plasmă este perfect pentru aplicaţii de producţie sau de laborator. Uşor de utilizat, cu un ecran de camera de presiune şi de statutul de modul.

Sistemul de OptiGlow este primul sistem plasmatice mici costuri care pot fi utilizate pentru creşterea capacităţii de înmuiere şi de confortul de lentile de contact. Sistemul de OptiGlow plasma este, de asemenea, ideal pentru utilizare înainte de acoperire, laminare şi procesele de depunere, şi este foarte eficient in tratarea unei game largi de substraturi sau materiale.

OptiGlow 75 Sistemul de plasma este similar cu OptiGlow standard şi dispune de o camera mai mare de aluminiu, de 75 de waţi de putere şi de opţiunea de a utiliza până la două gaze de intrare, cum ar fi oxigen sau argon. Poate fi utilizat pentru îndepărtarea organice şi fotorezist de separare.

Sistemul de depunere prin pulverizare catodică SputterGlow

O alegere perfecta pentru a depozita o gamă largă de dielectrici sau de metale, cu până la trei obiective. Iniţial concepută pentru a depune Si 3 N 4 anti-reflectorizante de acoperire de pe celulele solare ca o alternativă la utilizarea PECVD-deoarece procesul de SputterGlow nu are nevoie de gaze periculoase, cum ar fi SiH 4 pentru depunerea nitrurii. Sistemul are pas cu pas robotica, staţii de încălzite, şi este controlat de un computer lap-top.

Proprietate plan magnetron generează o plasmă cu putere redusă sau mare, în funcţie de nevoie de dumneavoastră. SputterGlow a fost conceput pentru a asigura integritatea procesului de vid şi a utiliza o cameră de aluminiu (pentru a menţine costurile în jos).

Aflaţi mai multe despre SputterGlow

Sisteme de reconstruite

Cercetarea Glow a preluat responsabilitatea de la nivel mondial pentru piese si service pentru mai multe unităţi mai mari de la Nordson martie (martie Plasmod, martie Super Plasmod, martie PM-600 şi Jupiter martie Rie sisteme). Stăm cu expertiza noastră şi oferta reconstruit martie şi a sistemelor de Tegal plasmatice. Aruncati o privire la sistemele de ceea ce reconstruite pe care le avem de oferit .