Tegal 903e

Casetă-casetă în linie unică Plasma şervete de gravor. Capacitatea de a VIAS etch şi persoane de contact. Pentru gravură dioxid de siliciu, nitruri de siliciu, şi poliamide. Sistemul este vândut, cu consultarea de pe facilitarea şi funcţionarea corespunzătoare. Sistemul este operaţional şi poate fi demonstrată de la Centrul nostru de Asistenţă Clienţi din Mesa, Arizona. Upgrade-uri diferite sunt disponibile pentru a se potrivi nevoilor dvs. specifice.

Poate gestiona napolitane de la 3 in prezent, la 6 inch configurat pentru 4 inch napolitane.

• De control cu ​​microprocesor
• În prezent, configurat pentru 4 inch (100mm) napolitane.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF Generator.
• 20 Procesul de reteta capacitatea de
• Gaze de proces controlate de Tylan MFC
• Non-frecare spatulă şi alege locul de transport napolitana.
• Leybold D65 serviciu de pompa de oxigen (pompa de uscat disponibile opţional)
• Două Tegal controlere de temperatură buclă închisă
• Decembrie Monitor şi tastatură
• Non-frecare spatulă şi alege locul de transport napolitana.
• Manuale inclus, 208 V, 50/60 Hz

(În curs de vânzare)