Плазменные очистители, плазменные офортистов, плазменные Ashers и напыления (PVD) системы обеспечивают свечение исследований. Glow исследований производит AutoGlow плазменных систем, OptiGlow плазменных систем и SputterGlow напыления (PVD) систем. Glow исследований взяла на себя части и поддержку по всему миру в течение нескольких старших плазменных системах с Nordson МАРТА (Plasmod, Super Plasmod, ПМ-600, Юпитер РИТ) и строит новые реакторы плазмы для различных требований и размеров. Мы понимаем, что большинство лабораторий и люди, которые покупают плазменные системы требуют большую помощь до и после продажи. У нас есть возможность запустить свои образцы, и помочь с установкой системы. Glow исследования будет обрабатывать свободные образцы для клиентов, которые могут хотите приобрести наши системы.

Правильный выбор системы:

OptiGlow-комнатный воздух используется в качестве технологического газа, 50 Вт, 100 кГц, алюминий камеры. Для модификации поверхности. Наша низкая цене системы $ 11,000 (включая вакуумный насос).

OptiGlow 75 для использования с кислородом или аргона (и других газов), 75 Вт, 100 кГц, алюминий камеры. Для модификации поверхности, плазменной очистки, prebond лечения.

OptiGlow АПФ для использования с кислородом, аргоном или фтор (CF4) тип газа. Два газа расходомеры, анодированный алюминий камеры. Переменный от 10 до 150 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератора, автоматической настройки. RIE или плазменной обработки. Для активации, озоления, очистки и травления. Идеально подходит для удаления слоев Failure Analysis, травления различных фильмов.

AutoGlow-до трех газов, кислорода, аргона и других газов, кварц камеру, 6 "субстратов, переменный от 10 до 300 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератора, автоматической настройки. Емкостная связь, кнопка автоматического управления. Используется для плазменной очистки, prebond, травление пленок, удаление органики, удаление фоторезиста.

AutoGlow 200 может обрабатывать 200 мм подложки (или 8 "пластинах). RIE или плазменной обработки. До трех газов, кислорода, аргона и фтора (CF4) тип газа, переменный от 10 до 300 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератора, автонастройки, анодированный алюминий камеры. Используется для плазменной очистки, активации, prebond, травление, удаление органики, удаление фоторезиста.

AutoGlow плазменные системы

Плазменные Cleaner. Эта настольная система может быть использована при низкой мощности 10 Вт и до 300 Вт, 13,56 МГц твердого состояния генератора, автоматической настройки, давление считывания, продувки азотом, мягкие вентиляции, три входа газа и имеет маркировку CE. AutoGlow поставляется с 24-месячная гарантия. Идеально подходит для лечения PDMS, удаления органических или фоторезист удаления. Имеет кварцевую камеру и может обрабатывать до 6 "(150 мм) подложках.

Система AutoGlow плазма используется в производстве завода, а также лабораторий, предназначены для обеспечения медицинских, научных, образовательных и микроэлектроники совместно с плазменной технологии при умеренной стоимости. Включает в себя 2-летняя гарантия.

Более крупные системы AutoGlow доступны с анодированного алюминия камеры, чтобы соответствовать требованиям Заказчика (РИТ или плазменной обработки). На фото ниже AutoGlow 200. Предназначен для до 200 мм (8 ") подложках или пластин, CF4, O2 или аргона, система может быть использована для RIE или плазменной обработки в зависимости от образца носителя Вы используете. Он имеет камеру анодированного алюминия и может быть использован для modificaiton травления, озоления или поверхности.

Узнайте больше о AutoGlow

OptiGlow плазменных системах  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE предназначен для выполнения плазменной ctivation, Шинг, C или E толка факторов, позволяющих на частоте 13,56 МГц. OptiGlow ACE имеет два входа газа и может быть использован с воздухом, кислородом или CF4 газов типа. Он имеет камеру анодированного алюминия и может быть использован как для RIE или плазменной обработки. Отлично подходит для длительного процесса и удаление слоя на упаковке или полупроводниковых чипов. Используется для Failure Analysis, удаления фоторезиста, очистки органических веществ, травление Parylene, обработка поверхности и множество других приложений.

Стандартная система OptiGlow используется для плазменной модификации поверхности и плазменной обработки, поверхность активации. Оцененный в $ 10,500 (USD), крепкий, настольный OptiGlow плазмы система идеально подходит для производства или лаборатории приложений. Легкий в использовании с дисплеем для камеры давления и состояния модуля.

Система OptiGlow первый низкого плазмы расходы, которые могут быть использованы для повышения смачиваемости и удобство контактных линз. Система OptiGlow плазмы также идеально подходит для использования перед нанесением покрытия, ламинирование и осаждения, а также очень эффективны при лечении широкого спектра подложки или материала.

OptiGlow 75 плазменных система похожа на стандартную OptiGlow и имеет большой алюминиевой камеры, 75 Вт и возможность использовать до двух входных газов, таких как кислород и аргон. Может быть использован для удаления органических и снятия фоторезиста.

SputterGlow напыления системы

Идеальный выбор для нанесения широкого спектра диэлектриков и металлов, с тремя целями. Первоначально разработанный для нанесения Si 3 N 4 антибликовое покрытие на солнечных батареях в качестве альтернативы использования ПХО, потому что процесс SputterGlow не требует опасных газов, таких как SiH 4 нитрида осаждения. Система имеет шаговый робототехники, подогрев станции, и управляется с помощью портативные компьютера.

Имущественные плоского магнетрона генерируется плазма с низкой или высокой мощности, в зависимости от ваших потребностей. SputterGlow был разработан для обеспечения целостности процесса вакуум и использовать алюминиевую камеру (чтобы сохранить стоимость вниз).

Узнайте больше о SputterGlow

Восстановленные системы

Glow исследований взяла на себя всему миру ответственность запасных частей и обслуживания в течение нескольких старых установок от Nordson марта (март Plasmod марта Супер Plasmod марта ПМ-600 и марте Юпитер RIE системы). Мы остаемся с нашим опытом и предложения восстановлен марта Tegal плазменных систем. Взгляните на то, что восстановлены системы мы можем предложить .