AutoGlow плазменных системах

Система AutoGlow плазме химии настольный плазменный реактор предназначен для обеспечения медицинских, научных, образовательных и производство микроэлектроники совместно с плазменной технологии при умеренной стоимости. Система используется в производстве, а также R & D центров. Используется для аргоновой плазмы, кислородной плазмы, плазменных покрытий, PDMS, лечение кислородом плазмы, фоторезиста зачистки, Ф. приложений, Parylene удаления, удаления органических и лабораторного использования.

Университеты и компании во всем мире найти систему AutoGlow плазмы идеально подходит для их нужд плазмы.

Система AutoGlow плазма является самой эффективной системой в своем роде на рынке, потому что его переменный 10 Вт до 300 Вт, 13,56 МГц твердых генератор государства. Система AutoGlow плазмы также предназначен для эффективного пробоя газов представлена ​​система создания активных форм, который позволяет быстро очистить или модифицировать образца. Автоматическая настройка и считывание давления включены. AutoGlow может ударить плазмы на уровне 10 Вт!

Автоматический / нажатия кнопки.

Glow исследований занял лучший дизайн старой системы, и обновление системы AutoGlow плазмы с учетом современных технологий, в том числе наш собственный детектор величина фазы и SimpleMatch РФ сеть, которая позволяет эффективно настройки плазмы и обеспечивает быструю обработку без проблем постоянно приспосабливаться к различным образца нагрузки. AutoGlow очень надежный и имеет двухлетнюю гарантию! Легко Сменяемые модулей в системе: ВЧ генератор, РФ матча сети, модуль лицевой панели (см. ниже), кварцевый палаты и модуль управления для газа больше данных и информации, пожалуйста, нажмите на кнопку "Особенности AutoGlow" справа на этой странице. .

Вот то, что последние клиентов было говорить об их AutoGlow: «Все работает нормально. Это только тормозит вместе как следует. Я впечатлен, мы можем почти полностью пепла AZ4620 сопротивление на 125 Вт в течение нескольких минут. У меня кто-то и использовать его для предварительной обработки PDMS до связи. Великолепно подходит для этого. "
 
AutoGlow 200 предназначена для до 200 мм подложках или 8 ", вафли, и может выполнять RIE или плазма обработки, в зависимости от образца носителя используется. Анодированный алюминий камера может accomidate стандартный O2, Ar или CF4 газов типа для травления приложений. Хорошо зарекомендовали себя электронные, ВЧ-генератора, соответствующие сети и газового контроля так же, как стандартный AutoGlow выше. Пожалуйста, свяжитесь с Glow исследований для получения дополнительной информации о AutoGlow 200.
AutoGlow 200 имеет тот же статус, диагностическую карту AutoGlow который подтверждает, что все дочерние модули работают правильно. Системы Справа
показано с дополнительной продувки камеры вентиляционные азота.
AutoGlow 200 может быть использован для Разнообразие приложений от активации плазмой, очистки, удаления органических, предварительное осаждение очистка   а также различные приложения травления.
 
 
 
 
 

Массачусетский технологический институт имеет AutoGlow в центре Stata, который используется для различных биомедицинских и микрофлюидики исследований. На фото это Джеральдина Паулюс, аспирант, отвечающего за AutoGlow в Массачусетском технологическом институте Здание 66 (здание лаборатории Ландау).

 
 
 

"Университет Райс имеет AutoGlow в Халас Research Lab. Эта система используется для удаления полимерных резистов для применения в плазмоники и нанофотоники. На фото это Лиза Браун, докторант, который использует AutoGlow для подготовки образцов для гигантского молекулярной спектроскопии. "

AutoGlow Гарвардского университета в системе Гордон Маккей Lab. Система используется для удаления органических, модификации поверхности и обслуживает потребности нескольких исследователей, работающих на исследование ДНК и расшифровка генома человека. На фото это Гордон Уитлок, президент Glow исследований.

На фото это AutoGlow на Microsystems Technology Lab в Массачусетском технологическом институте. Это AutoGlow используется для удаления фоторезиста, очистки и модификации поверхности. Эта лаборатория проводит исследования в MEMS, BioMEMS, нанотехнологии и фотоники.