Особенности AutoGlow

Система AutoGlow плазмы твердотельной электроники, обновленные варианты поставок газа и технологии, которые ожидают пользователей и обеспечения безопасности персонала во всем мире. Чем больше размер камеры могут разместиться 6 "подложки и 160 (ID) диаметр х 186,94 мм (ID) глубоко и состоит из особо чистого кварца. Системы и камеры предназначены для повышения однородности и воспроизводимости по сравнению с другими настольных систем плазмы.

Система AutoGlow плазмы был разработан как для низкого энергопотребления и высокой мощности с переменной 10-300 Вт, 13,56 МГц твердых генератор государство делает AutoGlow плазменной системы наиболее эффективной системы такого рода на рынке. Оператор может запустить процесс в 10 Вт и до 300 Вт для более агрессивной обработке. Мощность можно регулировать с шагом в 1 ватт.

  • Небольшие, настольные системы
  • Переменный от 10 до 300 Вт на частоте 13,56 МГц для нежной или более агрессивной обработки
  • Палаты из особо чистого кварца
  • Твердотельной электроники, ни одно государство труб
  • Собственные твердого состояния детектора для быстрой настройки
  • Автоматическая настройка для эффективной обработки плазмы
  • Давление зачитал для легкой обработки
  • Таймер
  • Отображает прямой и отраженной мощности и РФ уставки
  • AutoTell диагностической карты для повышения работоспособности
  • Палата газораспределения для повышения однородности
  • Мягкий выход предотвратить давление разрыва
  • Дополнительный модуль управления газ с тремя входами газа
  • Однородной плазмы для быстрого и эффективного результата
  • Собственные генератор РФ и матч сети минимальна отраженной мощности, независимо от установленной мощности
  • SimpleMatch соответствующие сети для быстрой настройки
  • УФ-защита встроена в переднюю дверь зрения
  • Полностью характеризуется системой воспроизводимые результаты
  • Легко понять, прост в эксплуатации
  • Все электроника на два подключения платы для легкого ремонта
  • Запуск поддержки
  • Запуск видео
  • Полное руководство и документация
  • 24-месячная гарантия

Конструкция AutoGlow начинается с листа металла, используемого в системе. Листового металла обрабатывается в масках, чтобы обеспечить надлежащее проектирование РФ.
Металлический шкаф маскируется таким образом, увеличить металл-металл ... для устранения утечки РФ. Это означает, что AutoGlow ударит плазмы быстро, независимо от образца нагрузку. Правильная настройка РФ начинается с кабинета дизайн.
AutoGlow является модульной. Генератор РФ могут быть легко удалены с задней системы. Палаты могут быть легко удалены. Все системы электроники на одной сменной плате (прикреплен к передней панели). Только соединения требуются для электрических, вакуумные и газовые (все показано). Просто подключите кабель переменного тока, подключите вакуумный насос и ваш газ ..., и вы готовы для оформления образцов.

Диагностическая карта будет подтверждать, что все модули работают правильно.

 

 

 

 

 

Сети РФ матча очень быстро конденсаторы поворота на 360 градусов, что позволяет настроить AutoGlow очень быстро, независимо от нагрузки внутри камеры обработки.

Верхний электрод работает, а нижний электрод является обоснованным, которое производит химический процесс. AutoGlow может работать от столь же низко как 10 Вт для бережной обработки, или, как до 300 Вт для более агрессивной обработке.

Все электроника на одну электронную плату. Эта плата крепится к задней стороне панели управления. Передняя панель сборки могут быть легко заменены.