SputterGlow напыления системы

Система тонкой пленки, напыления, PVD, тонких пленок, вакуумных покрытий, металлических или диэлектрических тонких пленок. Glow исследований SputterGlow гибкая система напыления предназначена для обработки 200 мм пластин, 156мм х 156мм солнечных батарей или меньше пластин, в том числе части пластин. SputterGlow может иметь до трех сменных станций процесс (каждая станция может быть настроена для отопления, напыления или распыления травления). SputterGlow был первоначально разработан для нанесения Si 3 N 4 просветляющих покрытий на фотоэлектрических элементов и могут быть использованы для распыления хранение широкого спектра диэлектриков и металлов.

Фотоэлектрические инженеры нашли SputterGlow быть отличной альтернативой плазменной Расширение химического осаждения паров (ПХО), так как процесс SputterGlow не требует силана (SiH 4) нитрид осаждения.

Наряду с огромной экономии средств, не требующих дорогого содействие и безопасность препятствия, многие исследователи считают, что сильные преимущества использования распыленных фильм для окончательной пассивации / антибликовое покрытие, что приводит к более высокой эффективности фотоэлектрической ячейки. SputterGlow была разработана Джоном Reche. Для фона Джон Reche пожалуйста, нажмите на кнопку "О нас" на этом сайте.

Гибкость

С тремя станциями камеры, SputterGlow могут быть использованы для различных потребностей переработки. Отдельные станции могут быть взаимозаменяемы для систем отопления, распыления или травление с правильного выбора варианта на покупку, или модернизированы на более поздний срок. SputterGlow является идеальным выбором для научных исследований или низких объемов производства.

Палата Integrity / стоимость

Вакуумные Тестирование

SputterGlow был разработан для обеспечения целостности процесса вакуум и использовать алюминиевую камеру (чтобы сохранить стоимость вниз). Камера была утечка гелия испытания до 6,5 х 10 -10 мбар все порты заблокированы, (4,8 х 10 -10 мм рт.ст.).

Специально разработанные алюминиевые камера позволяет 3X снижение цен по сравнению с камера из нержавеющей стали одного и того же калибра. SputterGlow может работать с очень низкой мощностью 25 Вт (для менее агрессивной обработки), до 1 кВт для более агрессивного напыления.

Специально разработанные алюминиевые камера позволяет 3X снижение цен по сравнению с камера из нержавеющей стали одного и того же калибра. Палата 34 "в диаметре х 11" в высоту.

Собственная дизайн

Собственный плоский магнетрон используется для генерации плазмы. Такая конструкция приводит к более длительный срок службы для распыления мишени, и улучшение равномерности осаждения на подложке. Glow исследований собственной плоской магнетрон также усиливается распыления ставки и меньший нагрев подложки.

Управление компьютером PC

Ручная или Lap-Top Компьютерная система управления

Встроенный микропроцессор контролирует двигателей системы пластин транспорта, положение пластины пьедесталы, открытие вакуума и газовые клапаны и т.д. пользователь контролирует процесс осаждения путем загрузки рецепт от их личного ноутбука (не поставляется). Встроенный микропроцессор соединяется с ноутбуком через порт USB. Пользователь может настроить свой процесс с Glow исследований собственной программой последовательности, или выбрать любой заданный процесс, который был загружен на свой компьютер.

Источники питания

SputterGlow могут быть настроены с РФ, постоянного или импульсного постоянного тока. SputterGlow могут быть использованы для нанесения различных материалов ... диэлектрики, полупроводники, металлы и магнитных материалов. Импульсный DC можно использовать вместо питания с РФ позволило сократить настройки сети. Питания постоянного тока может указывать, если металлы или магнитные материалы должны быть исключительно распыленных.