Plazmové čističe, Plasma Etchers, Plasma Ashers a napracovania (PVD) systémy sú poskytované Glow výskum. Glow Výskum vyrába AutoGlow plazmových systémov, OptiGlow plazmové systémy a SputterGlow napracovania (PVD) systémy. Glow Výskum prevzal častí a celosvetová podpora pre niekoľko starších plazmových systémov od Nordson marci o Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter Rie) a stavia nové plazmové reaktory pre rôzne požiadavky a veľkostí. Chápeme, že väčšina laboratórií a osoby, ktoré nakupujú plazmové systémy vyžadujú veľké pomôcť pred a po predaji. Máme možnosť prevádzkovať svoje vzorky, a pomáhať s inštaláciou systému. Glow Výskum bude spracovávať vzorky zadarmo pre zákazníkov, ktoré môžu chcú kúpiť naše systémy.

Výber správneho systému:

OptiGlow-využíva vzduchu v miestnosti ako procesný plyn, 50 wattov, 100 kHz, hliníka komory. Pre povrchové úpravy. Náš systém najnižšou cenou pod 11.000 dolárov (zahŕňa spojenie s vákuovou pumpou).

OptiGlow 75 pre použitie s kyslíkom alebo argón (a iné plyn), 75 wattov, 100 kHz, hliníka komory. Pre povrchové úpravy, plazmové čistenie, prebond liečba.

OptiGlow ACE pre použitie s kyslíkom, argónom alebo fluór (CF4) typ plynu. Dva plynové prietokomery, eloxovaný hliník komory. Variabilný 10 až 150 watty 13,56 MHz RF generátor, automatické ladenie. Rie alebo plazmové spracovanie. Za aktiváciu, spopolnenie, čistenie a leptanie. Ideálne pre odstránenie vrstiev pre analýzu porúch, leptanie rad filmov.

AutoGlow-až troch plynov, kyslíka, argónu alebo iné plyny, kremeň komora, 6 "substráty, variabilný 10 až 300 wattov 13,56 MHz RF generátor, automatické ladenie. Kapacitné viazanú, tlačidlo automatickú prevádzku. Používa sa na čistenie plazma, prebond, leptaním filmy, odstránenie organických látok odstránenie fotorezistnej.

AutoGlow 200 dokáže spracovať 200 mm substrátov (alebo 8 "oblátky). Rie alebo plazmové spracovanie. Až troch plynov, kyslíka, argónu alebo fluór (CF4) typ plynu, variabilný 10 až 300 wattov 13,56 MHz RF generátor, automatické ladenie, eloxovaný hliník komora. Používa sa na čistenie plazma, aktivácia prebond, leptanie, odstraňovanie organických látok, odstránenie fotorezistnej.

AutoGlow Plazmový systém

Plazmový čistič. Tento stolný systém môže byť použitý pri nízkom výkone 10 wattov a až 300 W, 13,56 MHz pevných generátor, automatické ladenie, tlak si-out, dusíka očistenie, mäkké odvzdušnenie, tri vstupy a zemného plynu je označenie CE. AutoGlow prichádza s 24 mesiacov záruka. Ideálny pre čistenie PDMS, organických odstránenie alebo foto-odolať odstránenie. Má kremennou komoru a dokáže spracovať až 6 "(150 mm) podklady.

AutoGlow Plazmový systém je používaný vo výrobných závodoch, rovnako ako laboratória tak, aby poskytoval lekárske, vedecké, vzdelávacie a mikroelektroniku komunitu plazmové technológie pri miernej náklady. Obsahuje 2 ročnou zárukou.

Väčšie AutoGlow systémy sú k dispozícii s eloxovaného hliníka komôr sa zmestia požiadavky zákazníka (Rie alebo plazma spracovanie). Na snímke dole je AutoGlow 200. Určené pre až 200 mm (8 ") podklady alebo oblátky, CF4, O2 alebo Ar plyn, systém je možné použiť pre Rie alebo plazmové spracovanie v závislosti na vzorke dopravcu, ktorý používate. To má z eloxovaného hliníka komoru a môžu byť použité pre lept, alebo na povrchu spaľovacieho modificaiton.

Zistite viac o AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE, je určená k Plasma A KTIVACE a Shing, C alebo E opierať tching na 13,56 MHz. OptiGlow ACE má dva vstupy a plynu môžu byť použitie s vzduch, kyslík, alebo CF4 typu plynov. To má z eloxovaného hliníka komory a môže byť použitý ako pre Rie alebo plazmové spracovanie. Skvelé pre dlhého procesu a odstraňovanie vrstiev na obaloch alebo polovodičových čipov. Používa sa pre analýzy porúch, odstránenie fotorezistnej, čistenie organických látok, leptanie Parylene, povrchová úprava a množstvo ďalších aplikácií.

Štandardný OptiGlow systém sa používa pre modifikáciu povrchu plazmy a plazmy spracovanie, povrchové aktivácie. Cena za 10.500 dolárov (USD), robustná, stolný OptiGlow Plazmový systém je ideálny pre výrobné alebo laboratórne použitie. Jednoduché použitie s displejom pre komorné tlaku a stavu modulu.

Systém OptiGlow je prvý nízkonákladovú Plazmový systém, ktorý možno použiť na zlepšenie zmáčavosti a komfort kontaktných šošoviek. OptiGlow Plazmový systém je ideálny pre použitie pred náterom, laminovanie a nanášania, a je veľmi účinná pri liečbe širokej škály substrátov alebo materiálu.

OptiGlow 75 Plazmový systém je podobný štandardnému OptiGlow a má väčšiu hliníkový komora, 75 wattov a možnosť použitia až dvoch vstupných plynov, ako je kyslík alebo argón. Môže byť použitý pre ekologické odstraňovanie a oddestilovaním fotorezistnej.

SputterGlow naprašovania systému

Ideálnou voľbou uložiť širokú škálu dielektrika alebo kovy, s až tri ciele. Pôvodne navrhovaný uložiť Si 3 N 4 antireflexnou vrstvou pre solárne články ako alternatívu k používaniu PECVD-pretože proces SputterGlow nevyžaduje nebezpečné plyny, ako je SIH 4 pre nitridu uloženie. Systém má krokový robotiku, vyhrievané stanice, a je ovládaný lap-top počítača.

Proprietárne planárne magnetrón vytvára plazma s nízkym alebo vysokým výkonom, v závislosti na vašej potrebe. SputterGlow bol navrhnutý na zabezpečenie procesu vákuovej integritu a používajú hliníkové komoru (udržať náklady nadol).

Zistite viac o SputterGlow

Prebudované systémy

Glow Výskum prevzal celosvetovej zodpovednosti za dielce a prácu pre niekoľko starších jednotiek z Nordson marci o marca Plasmod marca Super Plasmod marca PM-600 a marca Jupiter Rie systémy). Zostaneme s naším know-how a ponuka prestavaný marca a Tegal plazmové systémy. Pozrite sa na to, čo prebudované systémy, ktoré máme ponúknuť .