Plazma čističe, Plazmové grafikov, Plazmové Ashers a naprašovaním (PVD) systémy sú poskytované žiara výskum. Žiara Výskum vyrába nové AutoGlow plazma cleaner / etcher, OptiGlow plazmové systémy a SputterGlow naprašovaním (PVD) systémy. Žiara Výskum tiež prevzal časť a celosvetová podpora pre niekoľko starších plazmové systémy Nordson marca (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter rie), a stavia nové plazmové reaktory pre rôzne požiadavky a veľkostí. Chápeme, že väčšina laboratórií a osoby, ktoré nakupujú plazmové systémy vyžadujú veľké množstvo pomoci, pred a po predaji. Máme možnosť spúšťania vzoriek, a pomôcť s inštaláciou systému. Žiara Výskum bude proces VZORKY ZADARMO pre zákazníkov, ktorí môžu chcieť kúpiť naše systémy.

AutoGlow plazmový systém

Plazmové Cleaner. Môže byť použitý u malého výkonu 10 wattov a až 300 wattov, 13,56 MHz solid state generátor, automatické ladenie, tlak si-out, dusíka očistiť, mäkké vetranie, tri vstupy a plynu, je označenie CE. AutoGlow prichádza s 24 mesiacov záruka. Ideálny pre ošetrenie PDMS, ekologické odstránenie alebo fotorezistních odstránenie.

AutoGlow Plazmový systém je používaný vo výrobných závodoch, rovnako ako laboratóriá tak, aby poskytoval lekárske, vedecké, vzdelávacie a mikroelektroniky spoločenstva s technológiou plazmy za primerané náklady. Zahŕňa 2 roky záruky.

Väčšie AutoGlow systémy sú k dispozícii s eloxovaného hliníka komory, aby sa zmestili požiadaviek zákazníka. AutoGlow systémy môžu proces 200 mm (8 ") oplátok.

Zistite viac o AutoGlow

SputterGlow naprašovaním systému

Sú perfektnou voľbou pre uloženie dielektrika alebo kovy až tri ciele. Pôvodne vyvinutá pre nanášanie Si 3 N 4 antireflexné vrstvy na solárne články ako alternatívu k používaniu PECVD, pretože proces SputterGlow nevyžaduje nebezpečných plynov, ako je SIH 4 pre nitridu uloženie. Systém má stepper robotika, vyhrievané staníc, a je riadený koleso-top počítač.

Vlastné rovinné magnetron vytvára plazma s nízkym alebo vysokým výkonom podľa potreby. SputterGlow bol navrhnutý tak, aby proces vákua integrity a využívajú hliník komory (držať náklady na nízkej úrovni).

Zistite viac o SputterGlow

OptiGlow plazmové systémy

Používané na úpravu povrchov a plazmy plazmy, aktivácia povrchu. Cena za 10.500 dolár (USD), robustný, stolný OptiGlow plazmový systém je ideálny pre výrobu alebo laboratórnych aplikácií. Jednoduché použitie. Displej pre tlak v spaľovacej komore a stavu modulu.

Systém OptiGlow je prvý nízkonákladová Plazmový systém, ktorý možno použiť na zlepšenie zmáčavosti a komfort kontaktných šošoviek a rôznych materiálov. Plazma OptiGlow systém je ideálny pre použitie pred náterom, laminovanie a ukladanie procesov, a je vysoko účinná pri liečbe celého radu podkladov a materiálu. Používa sa v Bio MEMS a mikrofluidikou.

OptiGlow 75 Plazmový systém je ako štandardná OptiGlow, ale s 75 wattov a možnosť použiť až dva vstupné plyny, ako je kyslík alebo argón.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE je určený na vykonávanie Shing, C alebo E sklon tching na 13,56 MHz. OptiGlow ACE je určený až pre dva plyny vstupy a možno ich použiť s CF4 typu plyny. Eloxovaného hliníka komory a pre jeden Rie alebo Plazma podmienok. Skvelé pre dlhý proces a odstraňovanie vrstiev na obaloch alebo polovodičových čipov.

OptiGlow ACE (upratovanie, žíhanie, leptanie)

Viac informácií o systémoch OptiGlow

Prebudované systémy

Žiara výskum prevzala po celom svete zodpovednosť za diely a servis pre niekoľko starších jednotiek z Nordson marca (marec Plasmod, marec Super Plasmod, marec PM-600 a marca Jupiter Rie systémy). Zostávame s naším know-how a ponúkajú prestavaný marca a Tegal plazmových systémov. Pozrite sa na to, čo prebudované systémy môžeme ponúknuť .