AutoGlow Plasma Systems

AutoGlow Plazmový systém je stolný plazmochemie reaktora tak, aby poskytovali lekárske, vedecké, vzdelávacie a produkčné mikroelektroniku komunitu plazmové technológie pri miernej náklady. Systém sa používa vo výrobe aj výskumu a vývoja centier. Používa sa pre argón, kyslík plazmy plazmy, plazma nátery, PDMS, kyslíkové plazmy, fotografie odolávajú tesnenia, FA aplikácie, Parylene odstraňovanie, ekologické odstraňovanie a laboratórne využitie.

Univerzity a spoločnosti po celom svete nájdete plazmové AutoGlow systém dokonale hodí pre ich potreby plazmy.

AutoGlow Plazmový systém je najúčinnejším systémom svojho druhu na trhu vďaka svojej variabilný 10 W až 300 W, 13,56 MHz solid state generátora. AutoGlow Plazmový systém je navrhnutý tak, aby efektívne rozkladných plynov zavedených do systému vytvára reaktívne druhy, ktoré sa rýchlo vyčistiť alebo zmeniť vzorku. Automatické ladenie a odčítanie tlaku sú v cene. AutoGlow môže udrieť plazmu tak nízke, ako 10 W!

Automatické / tlačidlo prevádzku.

Glow Výskum prijal najlepšie návrhy starých systémov a aktualizovaný v plazme AutoGlow systém so súčasnou technológiou, vrátane našej patentovanej detektora fázy veľkosti a SimpleMatch RF sieť, ktorá umožňuje efektívne ladenie plazmy a zaisťuje rýchle spracovanie bez problémov neustále sa prispôsobovať rôznym vzorkou zaťaženie. AutoGlow je veľmi spoľahlivý a má Dvojročná záruka! Ľahko replaceble moduly v systéme sú: RF generátor, RF zápasu sieť, Face Plate modul (pozri nižšie), Quartz komora a Gas Control Module Pre viac dát a informácií, kliknite na "Vlastnosti AutoGlow" vpravo na tejto stránke. .

Tu je to, čo nedávno zákazník musel povedať o ich AutoGlow: "Všetko je v poriadku. Je to len chugs spolu, ako by mal. Mám dojem, môžeme takmer úplne popol AZ4620 ubrániť 125W za pár minút. Mám niekto tiež používať ho pre predúpravu PDMS pred lepením. Funguje skvele na to. "
 
AutoGlow 200 Systém je určený pre až 200 mm substráty alebo 8 "doštičiek, a môžu vykonávať Rie alebo plazma spracovanie, v závislosti na vzorke dopravca používa. Eloxovaný hliník komora môže accomidate štandardné O2, AR alebo CF4 typu plyny pre leptanie aplikácie. Osvedčené elektronické, RF generátor, zápas sieť a plyn kontrola je rovnaká ako štandardné AutoGlow vyššie. Prosím, kontaktujte Glow Výskum pre viac informácií o AutoGlow 200.
AutoGlow 200, má rovnaký štatút ako diagnostickú kartu AutoGlow ktoré potvrdzuje, že všetky čiastkové moduly pracujú správne. Systém vpravo je
zobrazené s voliteľným vetracie dusíka komorný očistenie.
AutoGlow 200 môže byť použitý pre Varity aplikácií od aktivácie plazmy, čistenie, odstraňovanie organických, pre-depozície čistenie   rovnako ako rôzne leptacích aplikácií.
 
 
 
 
 

MPO má AutoGlow v Centre Štát, ktorý sa používa pre rôzne biomedicínskych a mikrofluidice výskum. Na snímke je Geraldine Paulus, doktorand na starosti AutoGlow na MIT budova 66 ods Landau stavebné Lab).

 
 
 

"Rice univerzita má AutoGlow v Halas výskumnom laboratóriu. Systém sa používa na odstránenie polyméru odolná pre použitie v Plasmonics a nanofotoniku. Na snímke je Lisa Brown, doktorand, ktorý používa AutoGlow k príprave vzoriek pre povrchové väčšie molekulárnej spektroskopiu. "

Harvardskej univerzity AutoGlow systém v McKay Gordon Lab. Tento systém sa používa na odstránenie ekologickej, povrchové úpravy a slúži potrebám niekoľkých výskumníkov pracujúcich na výskume a DNA sekvencovaní ľudského genómu. Na snímke je Gordon Whitlock, prezident Glow výskum.

Na snímke je AutoGlow na Microsystems Technology Lab na MIT. Tento AutoGlow sa používa na odstránenie fotorezistnej, čistenie a povrchové úpravy. Toto cvičenie robí výskum v MEMS, BioMEMS, nanotechnológie a fotoniky.