Funkcia AutoGlow

AutoGlow Plazmový systém má polovodičové elektroniky, aktualizované možnosti dodávok plynu a technológie, ktoré sa očakáva od užívateľov i bezpečnostných pracovníkov po celom svete. Väčšiu veľkosť komory sa môže ubytovať 6 "substrát a je 160 mm (ID) priemer x 186.94 mm (ID), hlboká a je vyrobený z vysoko čistoty kremeňa. Systém a komora sú určené na zvýšenie jednotnosti a opakovateľnosť v porovnaní s inými stolových plazmových systémov.

AutoGlow Plazmový systém bol navrhnutý ako pre nízke energie alebo vysoko výkonné operácie s variabilnou 10-300 W, 13,56 MHz solid state generátorov robiť AutoGlow Plazmový systém najefektívnejší systém svojho druhu na trhu. Operátor môže spustiť proces na 10 wattov alebo tak vysoká ako 300 wattov pre agresívnejší spracovanie. Výkon možno nastaviť v krokoch po 1 watt.

  • Malý, stolný systém
  • Variabilný 10 až 300 W na 13,56 MHz pre jemnú a viac agresívne spracovanie
  • Komora je vyrobená z vysoko čistoty kremeňa
  • Polovodičové elektronika, žiadne rúrky
  • Proprietárne detektora v pevnej fáze pre rýchle ladenie
  • Automatické ladenie pre efektívne spracovanie plazmy
  • Tlak si pozor na jednoduché spracovanie
  • Časovač
  • Zobrazuje vpred a odrazený výkon a RF žiadané
  • AutoTell diagnostická karta pre zlepšenie prevádzkyschopnosti
  • Komora distribúcie plynu pre zlepšenie jednotnosti
  • Mäkké otvor, aby sa zabránilo tlaku výbuch
  • Voliteľný modul Gas Control s až troma vstupmi plynu
  • Jednotná plazmy pre rýchle a efektívne výsledky
  • Proprietárne RF generátor a sieť pre zápas minimálnej odrazeného výkonu bez ohľadu na nastavenie výkonu
  • SimpleMatch zodpovedajúce siete pre rýchle ladenie
  • UV ochrana zabudovaná do predného pohľadu dverí
  • Plne charakterizovaný systém opakovateľných výsledkov
  • Ľahko pochopiteľný, ľahko ovládateľný
  • Všetky elektronika je na dve zásuvky v dosiek pre jednoduchú opravu
  • Start-up podpora
  • Start-up videá
  • Kompletný manuál a dokumentácia
  • Záruka 24 mesiacov

Design AutoGlow začína plechu použitého v systéme. Plechu je liečiť a maskou na zabezpečenie riadneho RF dizajn.
Kovová skrinka so maskuje tak k zvýšeniu kov-kov ... kontakt na odstránenie úniku RF. To znamená, že sa bude usilovať o AutoGlow plazma rýchlo, bez ohľadu na zaťaženie vzorky. Správne RF tuning začína kabinetu dizajnom.
AutoGlow je modulárny. Generátor RF možno ľahko odstrániť zo zadnej časti systému. Komora môže byť ľahko odstrániť. Všetky elektronické časti systému sú na jednej vymeniteľné doske (pripojený k prednom paneli). Jediné potrebné pripojenie k elektrickej vákuovej a zemný plyn (všetko viď obrázok). Stačí pripojiť do zásuvky AC, pripojte vývevu a svoj plyn ... a ste pripravení spracovať Vaše vzorky.

Diagnostika karta potvrdiť, že všetky moduly pracujú správne.

 

 

 

 

 

Zápas RF sieť je veľmi rýchly, kondenzátory otočiť o 360 stupňov, čo umožňuje AutoGlow naladiť veľmi rýchlo bez ohľadu na zaťaženie vo vnútri spracovateľskej komory.

Horná elektróda je napájaná a dolná elektróda je uzemnená, ktorý produkuje chemickým procesom. AutoGlow možné spustiť z už za 10 wattov k šetrnému spracovania, alebo až 300 wattov pre agresívnejší spracovanie.

Všetky elektroniky sú na jednej elektronickej doske. Táto doska sa montuje na zadnej strane predného panelu. Predný panel montáž možno ľahko vymeniť.