Tegal 903e

Kazeta k Cassette Single In-line Wafer Plazmové rytec. Možnosť etch priechody a kontakty. Pre leptanie oxidu kremičitého, nitridy kremíka a polyamidov. Systém sa predáva s konzultáciami na správne uľahčenie a prevádzku. Systém je funkčný a je možné preukázať v našej servisné stredisko v Mesa, Arizona. Rôzne upgrady sú k dispozícii, aby vyhovovali vašim špecifickým potrebám.

Zvládne oblátky od 3 do 6 palcov palcov súčasnosti nakonfigurovaný pre 4 in doštičiek.

  • Mikroprocesorové riadenie
  • V súčasnej dobe nastavený na 4 palca (100 mm) doštičky.
  • ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF generátor.
  • 20 Procesné spôsobilosť recept
  • Procesné plyny ovládané Tylan MFC
  • Non-trenie stierka uchop a oblátky doprava.
  • Leybold D65 kyslík čerpadlo (voliteľne suchá čerpadla k dispozícii)
  • Dva Tegal uzavretej slučky regulátory teploty
  • Decembra monitor a klávesnica
  • Non-trenie stierka uchop a oblátky doprava.
  • Manuály v cene, 208 V, 50/60 Hz

(Predaj v rokovaní)

  • Prebudované systémy

  • OptiGlow Plazmový systém

    Cena za 10.500 dolárov (USD), robustná, stolný OptiGlow Plazmový systém je ideálny pre výrobné alebo laboratórne použitie. Viac informácií .

  • AutoGlow Plazmový systém

    AutoGlow Plazmový systém je najefektívnejší stolový Plazmový systém svojho druhu na trhu vďaka svojej variabilný 10-300 W, 13,56 MHz solid state generátora. Zistite viac .

  • Testovanie a vzorky

    Glow Výskum bude prebiehať ukážky na základe zmluvy alebo pre záujemcov o prípadnej kúpe nového alebo prestavaná systému. Kontaktujte nás pre viac informácií.

  • Kontaktujte nás

    Adresa:
    12014 S. třicátápáté Ct.
    Phoenix, AZ. 85044
    Spojené štáty

    Telefón:
    480-621-8405

    E-mail:
    customerservice@glowresearch.org

  • Prekladateľ

    English flagItalian flagKorean flagChinese (Simplified) flagChinese (Traditional) flagPortuguese flagGerman flagFrench flagSpanish flagJapanese flagArabic flagRussian flagGreek flagDutch flagBulgarian flagCzech flagCroatian flagDanish flagFinnish flagHindi flagPolish flagRomanian flagSwedish flagNorwegian flagCatalan flagFilipino flagHebrew flagIndonesian flagLatvian flagLithuanian flagSerbian flagSlovak flagSlovenian flagUkrainian flagVietnamese flagAlbanian flagEstonian flagGalician flagMaltese flagThai flagTurkish flagHungarian flagBelarus flagIrish flagIcelandic flagMacedonian flagMalay flagPersian flag