Funkcia SputterGlow

  • Reaktívneho napracovania, Si 3 N 4 alebo iné filmy
  • Eliminuje potrebu silanu plyn
  • Jednoduché Uľahčiť v laboratóriu, žiadne nebezpečné plyny potrebné
  • Do troch cieľov
  • Kaucia dielektrika alebo kovy
  • 200 mm Oblátky (alebo menšia) alebo 156 mm x 156 mm Solárne články
  • Možnosti vykurovania (až do 400 ° C)
  • 1200 W, 13,56 MHz RF generátor
  • Automatické ladenie
  • Turbo a sprievodný čerpadla
  • Vodou chladený magnetrónu napracovania
  • Stepper Kontrolovaná podkladu Manipulácia
  • Počítač alebo manuálne ovládanie meradiel
  • MFC kontrola plynov
  • LED diagnostika

Možnosti

  • Substrát Bias
  • RGA
  • Recirkulačné Target Chladenie
  • Výrez Windows

Všetky SputterGlow systémy prichádza s 12 mesačná záruka, Užívateľský manuál, videá na náležité stanovenie systému a prevádzky. Glow Výskum taktiež poskytne na mieste v teréne servisnú podporu pre spustenie systému.

Pre viac informácií prosím volajte Glow výskum USA 480-621-8405 alebo napíšte nám .