Plasma Čistila, Plasma Etchers, plazma Ashers in Nanašanje z brizganjem (PVD) sistemi, ki jih Research Glow. Glow Research izdeluje nove AutoGlow plazma čistilec / etcher, OptiGlow plazme sistemov in SputterGlow Nanašanje z brizganjem (PVD) sisteme. Glow Raziskava je prav tako prevzel dele in po svetu podpira več starejših plazma sistemov iz NORDSON marca (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) in gradi novih reaktorjev plazme za različne zahteve in velikosti. Zavedamo se, da je večina laboratorijev in ljudi, ki kupujejo plazme sistemi zahtevajo veliko pomoč pred in po prodaji. Imamo možnost, da bodo vaši vzorci, ter pomaga pri namestitvi sistema. Glow Raziskave bodo proces Brezplačni izvodi za stranke, ki želite, da nakup naših sistemov.

AutoGlow Plasma sistem

Plasma Cleaner. Lahko se uporablja pri nizki moči 10 vatov ali do 300 vatov, 13,56 MHz trdnem stanju generator, avtomatska tuning, pritisk za odčitavanje, dušik purge, mehko odzračevanje, tri plin vhodov in je označena z oznako CE. AutoGlow prihaja z 24 mesečno garancijo. Idealen za zdravljenje PDMS, ekološko odstranitev ali fotoobstojnih odstranitev.

AutoGlow plazme Sistem se uporablja v proizvodnji tovarnah, kot tudi laboratorije, namenjene za medicinske, znanstvene, izobraževalne in mikroelektronike skupnost, s tehnologijo plazme po zmerni ceni. Vključuje 2 letno garancijo.

Večji sistemi AutoGlow so na voljo z anodiziranega aluminija zbornice, da ustreza zahtevam naročnika. AutoGlow sistemov lahko proces 200 mm (8 ") rezin.

Več o AutoGlow

SputterGlow Nanašanje z brizganjem sistem

Odlična izbira za deponiranje dielektričnih ali kovine, z do tremi cilji. Prvotno zasnovana za nanašanje Si ₃ N ₄ anti-odsevni premazi za sončne celice kot alternativa za uporabo PECVD, ker je postopek SputterGlow ne zahteva nevarni plini, kot so SIH ₄ za odlaganje nitrid. Sistem je koračnih robotika, ogrevana postaje, in je pod nadzorom z lap-top računalnik.

Lastniška ravninski magnetron ustvarja plazmo z nizko ali visoko močjo, odvisno od vaše potrebe. SputterGlow je bil zasnovan za zagotavljanje integritete postopka vakuum in uporabo aluminija komore (obdržati ceno navzdol).

Več o SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Uporablja se za spreminjanje površin in Plasma Plasma Zdravljenje, Surface Activation. Ceno pod 10.500 $ (USD), trmast, namizna OptiGlow plazma sistem je kot nalašč za aplikacije, proizvodnjo ali lab. Enostaven za uporabo. Display za tlačne komore in modula status.

Sistem OptiGlow je prvi nizkocenovni plazma sistem, ki se lahko uporabljajo za povečanje vpojnosti in udobje kontaktne leče in različne materiale. Plazme OptiGlow sistem je idealen za uporabo pred premazom, laminiranje in depozicije, in je zelo učinkovito pri zdravljenju različnih substratov ali materiala. Uporablja se v Bio MEMS in mikrofluidov.

OptiGlow 75 plazma sistem je kot standard OptiGlow, vendar z 75 W moči in možnost uporabe do dveh vhodnih plinov, kot so kisik in argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE je namenjen za opravljanje Shing, C ali E tching naslonjena na 13,56 MHz. OptiGlow ACE je zasnovan za obdobje do dveh vhodov plinov in se lahko uporabi z CF4 vrsto plini. Anodiziranega aluminija komoro in za bodisi pogoje RIE ali Plasma. Odlično za dolg proces in odstranjevanje plasti na embalaži ali polprevodniški čipi.

OptiGlow ACE (čiščenje, Upepeljevanje, Jedkanje)

Več o sistemih OptiGlow

Gradim Systems

Glow Research je prevzel svetovno odgovornost za dele in servis za več starejših enot iz NORDSON marca (marec Plasmod, marec Super Plasmod, marec PM-600 in marca Jupiter sistemi RIE). Mi bivanje z našim strokovnim znanjem in ponudbo obnovili marca in Tegal plazme sistemi. Oglejte si, kaj obnovili sistemov, ki jih morajo ponuditi .