Plazma Čistila, plazma, plazma Etchers Ashers in pršenjem (PVD) sisteme so raziskave, ki jih Glow. Glow Raziskave izdeluje AutoGlow plazma sistemi, OptiGlow plazma sistemi in SputterGlow pršenjem (PVD) sisteme. Glow raziskave je prevzel delov in po svetu podporo za več starejših plazemskih sistemov iz NORDSON marca (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) in gradi nove reaktorje v plazmi za različne potrebe in velikosti. Zavedamo se, da je večina laboratorijev in ljudje, ki kupujejo plazemske sistemi zahtevajo veliko pomoč pred in po prodaji. Imamo možnost, da se bodo vaši vzorci, ter pomoč pri namestitvi vašega sistema. Glow Raziskave bodo obdelali brezplačne vzorce za kupce, ki želijo, lahko za nakup naših sistemov.

Izbira prave sistem:

OptiGlow-sobno uporablja zrak kot procesni plin, 50 W, 100 kHz, aluminij domov. Površinsko preoblikovanje. Naš sistem najnižjo ceno pod 11.000 $ (vključno z vakuumsko črpalko).

OptiGlow 75-za uporabo s kisikom in argon (in drugih plin), 75 W, 100 kHz, aluminij domov. Za zaradi spreminjanja površine, plazma čiščenje, prebond zdravljenje.

OptiGlow ACE za uporabo s kisikom, argona ali fluor (CF4) tip plina. Dve plinski merilniki pretoka in anodiziranega aluminija komore. Spremenljivka 10-150 W 13,56 MHz RF generator, autotune. RIE ali plazma za obdelavo. Za aktiviranje, upepelili, čiščenje in jedkanje. Idealno za odstranjevanje plasti za analize delovanja ob okvari, jedkanje različnih filmov.

AutoGlow-do tri plini, kisik, argon in drugi plini, quartz komora, 6 "podlage, variabilni 10-300 W 13,56 MHz RF generator, autotune. Kapacitivni sklopljeno, gumb avtomatsko delovanje. Uporablja se za čiščenje plazme prebond, jedkanja filmi, odstranjevanje organskih in odstranjevanje fotorezist.

AutoGlow 200-lahko obdelujejo 200 mm podlage (ali 8 "rezine). RIE ali plazma za obdelavo. Do treh plini, kisik, argon in fluor (CF4) vrsta plina, variabilni 10-300 W 13,56 MHz RF generator, autotune, eloksiran aluminij komora. Uporablja se za čiščenje plazme aktivacijo prebond, jedkanje, odstranjevanje organske snovi, odstranjevanje fotorezist.

AutoGlow plazma sistem

Plasma Cleaner. To namizno Sistem se lahko uporablja pri nizki moči 10 vatov ali do 300 W in 13,56 MHz trdnem stanju generator, samodejno iskanje postaj, pritisk odčitavanje, dušikovih Čistka, mehko odvod zraka, treh plinskih vložkov in je označena z oznako CE. AutoGlow prihaja z 24 mesečno garancijo. Kot nalašč za zdravljenje TIS, organska odstranitev ali foto upreti odstranitev. Ima kvarčni komoro in lahko obdeluje do 6 "(150 mm) substratov.

AutoGlow plazma sistem se uporablja v proizvodnih tovarnah, kot tudi laboratoriji zasnovani za zagotavljanje medicinske, znanstvene, izobraževalne in mikroelektronika skupnost, s tehnologijo plazme pri zmerni ceni. Vključuje 2 letno garancijo.

Večji sistemi AutoGlow so na voljo s anodiziranih domov iz aluminija, da ustrezajo zahtevam kupcev (RIE ali plazma predelava). Na sliki spodaj je AutoGlow 200. Zasnovan za do 200 mm (8 ") podlage, rezin, CF4, O2 ali Ar plin in sistem se lahko uporablja za RIE ali plazma predelave odvisno od vzorca prevoznika, ki ga uporabljate. Ima anodiziranega aluminija komoro in ga je mogoče uporabiti za modificaiton jedkanje, žarilni in površinsko.

Več o AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE je namenjen za opravljanje plazma A ctivation, ki ribištva, C ali E tching naslanja na 13,56 MHz. OptiGlow ACE ima dva plina vhodov in je lahko uporaba zraka, kisika ali CF4 tipa plinov. Ima anodiziranega aluminija komoro in se lahko uporablja bodisi za RIE ali plazma predelavo. Super za dolgotrajen proces in odstranjevanje plasti na embalažo ali polprevodniških čipov. Uporablja se za analize delovanja ob okvari, odstranjevanje fotorezist, čiščenje organske snovi, jedkanje Parylene, obdelava površine in celo vrsto drugih aplikacij.

Standard OptiGlow sistem se uporablja za površinsko Sprememba plazma in plazma zdravljenja, Površina aktiviranje. Ceno pod 10.500 $ (USD), trmast, namizno OptiGlow plazma sistem je idealen za uporabo pri proizvodnji ali laboratorij. Enostavna uporaba s prikazom za tlak komore in modulov status.

Sistem OptiGlow je prvi poceni plazma sistem, ki se lahko uporablja za povečanje vpojnosti in udobje kontaktnih leč. OptiGlow plazma sistem je idealen za uporabo pred premazom, laminiranje in odlaganje procesov, in je zelo učinkovita pri zdravljenju širok spekter substratov ali materiala.

OptiGlow 75 plazma sistem je podobna standardni OptiGlow in ima večji aluminija komore, 75 vatov električne energije in možnost uporabe do dveh vhodnih plinov, kot so kisik in argon. Lahko se uporablja za ekološko odstranitev in plinsko fotorezist.

SputterGlow Nanašanje z brizganjem sistem

Odlična izbira za deponiranje široko paleto dielektričnih ali kovin, z do tremi cilji. Prvotno zasnovana za nanašanje Si 3 N 4 anti-refleksnim premaze za sončne celice kot alternativa uporabi PECVD, ker je postopek SputterGlow ne zahteva nevarni plini, kot so SIH 4 za odlaganje nitrida. Sistem ima koračnih robotike, ogrevani postaje, in je pod nadzorom z lap-top računalnik.

Lastniški ravninski magnetronsko ustvari plazmo z nizko ali visoko močjo, glede na vaše potrebe. SputterGlow je bil zasnovan tako, da se zagotovi celovitost procesa vakuum in imajo aluminijasto komoro (obdržati ceno navzdol).

Več o SputterGlow

Obnovljene sistemi

Glow raziskave je prevzel svetovno odgovornosti za dele in delo za več starejših enot iz NORDSON marca (marec Plasmod, marec Super Plasmod, marec PM-600 in marca Jupiter sistemi RIE). Ostanemo z našim strokovnim znanjem in ponudbo prenovljenega marca in Tegal plazmi sistemi. Oglejte si, kaj prezidanih sistemov moramo ponuditi .