AutoGlow Plasma Systems

AutoGlow plazma sistem namizni plazma kemija reaktor namenjena zagotavljanju zdravstvene, znanstvene, izobraževalne in proizvodnja skupnost mikroelektronika s tehnologijo plazme pri zmerni ceni. Sistem se uporablja v proizvodnji, kot tudi raziskave in razvoj centrov. Uporablja se za argon plazmo, kisika plazme, plazme premazovanje, PDMS, zdravljenje s kisikom plazme, foto upreti izpraznijo, FA aplikacije, Parylene njihov izbris ekološko odstranitev in laboratorijsko uporabo.

Univerze in podjetja po vsem svetu našli plazma AutoGlow sistem nalašč primerna za njihove potrebe v plazmi.

AutoGlow plazma sistem je najbolj učinkovit sistem te vrste na trgu zaradi svoje spremenljive 10 W do 300 W, 13,56 MHz trdnem stanju generatorja. AutoGlow plazma sistem je zasnovan tako, da učinkovito razgradnih plinov, uvedenih v sistem ustvarja reaktivne vrste, ki bo hitro čiščenje ali spremeniti vzorec. Samodejna nastavitev in odčitavanje tlaka so vključeni. AutoGlow mogoče najti plazmo tako nizko, kot 10 W!

Samodejno / potisno delovanje.

Glow Raziskave so sprejela najboljše modele starih sistemov in posodobili sistem plazma AutoGlow s tehnologijo, vključno z našo lastniško detektor faze obsega in SimpleMatch RF omrežje, ki omogoča učinkovito plazma tuning in zagotavlja hitro obdelavo, brez težav s stalno prilagajanje različnim vzorcem obremenitve. AutoGlow je zelo zanesljiv in ima dve letno garancijo! Preprosto replaceble moduli v sistemu so: RF generator, Network RF Match, Modul Face Plate (glej spodaj), Quartz zbornica in modul Gas Control Za več podatkov in informacij, prosimo, kliknite na "Značilnosti AutoGlow" je na desni strani na tej strani. .

Tukaj je tisto, kar stranke nedavno imel za povedati o svojem AutoGlow: "Vse deluje v redu. Samo chugs skupaj, kot bi morala. Jaz sem navdušena, da lahko skoraj v celoti pepel AZ4620 upreti na 125W v nekaj minutah. Imam nekoga, da jo uporabljajo tudi za predhodno obdelavo TISo pred lepljenjem. Dela super za to. "
 
AutoGlow 200 sistem je zasnovan za do 200 mm, podlage ali 8 "rezin, in lahko opravlja RIE ali plazma obdelavo, glede na vzorec, ki se uporablja prevoznik. Eloksiran aluminij komore lahko accomidate standardno O2, AR ali CF4 tipa plinov za jedkanje aplikacij. Dobro izkazal v elektronski, RF generator, ki se ujemajo omrežje in plin nadzora je enak kot standardni AutoGlow zgoraj. Obrnite se na Glow Raziskava za več informacij o AutoGlow 200.
AutoGlow 200 ima enak status kot diagnostično kartico AutoGlow ki potrjuje, da so vsi pod-moduli so pravilno. Sistem na desni je
prikazano z dodatnim komorne dušika čistki vent.
AutoGlow 200 se lahko uporablja za Variety vlog aktivacije plazme, čiščenje, ekološko odstranitev, predhodno čiščenje usedlin   kakor tudi različnih aplikacij jedkanice.
 
 
 
 
 

MIT ima AutoGlow v centru Stata, ki se uporablja za različne biomedicinskih raziskav in microfluidics. Na sliki je Geraldine Paulus, doktorski študent, pristojen za AutoGlow na MIT izgradnje 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice University ima AutoGlow v Halas raziskovalnem laboratoriju. Sistem se uporablja za odstranjevanje polimera upira za uporabo v plasmonics in nanophotonics Na sliki je Lisa Brown, doktorski študent, ki uporablja AutoGlow pripraviti vzorce za površinsko povečano molekularne spektroskopije.. "

AutoGlow Univerzi Harvard je sistem v Gordon McKay Lab. Sistem se uporablja za ekološko odstranitev, površinsko spremembo in služi potrebam več raziskovalcev, ki delajo na raziskavah DNA in človeškega genoma. Na sliki je Gordon Whitlock, predsednik raziskave Glow.

Na sliki je AutoGlow na Microsystems Technology Lab na MIT. To AutoGlow se uporablja za fotorezist odstranitev, čiščenje in površinsko spremembo. Ta laboratorij ne raziskave v MEMS, BioMEMS, nanotehnologije in fotonika.