Tegal 903e

Način od kasete do kasete In-line Enotni Wafer plazma Etcher. Sposobnost Etch vias in stikov. Za jedkanje silicijev dioksid, nitridi, silicija in poliamidov. Sistem se prodaja s posvetovanjem z ustreznim o poenostavitvi in ​​delovanja. Sistem deluje in je mogoče dokazati v našem centru za podporo strankam v Mesa, Arizona. Različne nadgradnje so na voljo, da ustrezajo vašim posebnim potrebam.

Zmorem rezin od 3 do 6 palcev noter Trenutno nastavljen za 4-palčni rezin.

• Mikroprocesorsko vodenje
• Trenutno nastavljen za 4 palcev (100 mm) elementov.
• ENI 1.000 Watt 13,56 MHz RF generator.
• 20 Postopek Recept sposobnost
• Procesni plini, ki jih obvladuje Tylan MFC'S
• Niso trenje lopatico poberem in prevoz mesto rezin.
• Leybold D65 kisika storitev črpalka (neobvezno suha črpalka na voljo)
• Dve Tegal zaprte zanke temperature krmilniki
• December monitor in tipkovnico
• Niso trenje lopatico poberem in prevoz mesto rezin.
• Priročniki vključen, 208 V, 50/60 Hz

(Prodaja v teku)