SputterGlow Nanašanje z brizganjem sistem

Sistem za tanko, pršenjem, PVD, tanke Film usedlin, vakuumski nanos, kovinskimi ali tanko odlaganje. Glow Raziskave SputterGlow je prilagodljiv Nanašanje z brizganjem sistem, zasnovan za obdelavo rezin, ki 200mm 156mm x 156mm sončne celice ali manjše oblati, vključno kosov rezin. SputterGlow ima lahko do tri zamenljivih procesnih postaj (vsaka postaja je lahko nastavljen za ogrevanje, Nanašanje z brizganjem ali pršenjem jedkanje). SputterGlow je bila prvotno zasnovana za nanašanje Si 3 N 4 antireflective premaze na fotonapetostne celice in se lahko uporablja za pršenjem depozit široko paleto dielektričnih ali kovine.

Fotonapetostni inženirji so ugotovili, da je SputterGlow odlična alternativa za plazmo vzbujeni kemičnim naparjevanjem (PECVD), ker je postopek SputterGlow ne zahteva silanom sklenjeni (SIH 4) za odlaganje nitrida.

Skupaj z ogromno zmanjševanje stroškov, da ne zahteva drage olajšave ali varnost ovire, mnogi raziskovalci čutijo, da so močni prednosti za uporabo nanešeno film za končno pasiviranje / prevleko proti odsevu, kar ima za posledico večjo učinkovitost celice fotovoltaike. SputterGlow je oblikoval John Reche. Za ozadje na Johna Reche kliknite na "O nas" na tej spletni strani.

Prilagodljivost

S tremi komornimi postaj lahko SputterGlow se uporabljajo za različne obdelave potreb. Posamezne postaje je mogoče zamenjevati za ogrevanje, naparjenim ali jedkanjem s pravilno izbiro možnosti pri nakupu ali naknadno na kasnejši datum. SputterGlow je odlična izbira za raziskave ali aplikacije nizkih proizvodnih količin.

Komora Integrity / stroški

Vakuumska Testiranje

SputterGlow je bil zasnovan tako, da se zagotovi celovitost procesa vakuum in imajo aluminijasto komoro (obdržati ceno navzdol). Komora je helij pušča preizkušen na 6,5 x 10 -10 mbar z vsemi vrata blokirana, (4,8 x 10 -10 torov).

Meri izdelana iz aluminija komora omogoča 3X znižanje cen v primerjavi z nerjavečega jekla komoro istega kalibra. SputterGlow lahko deluje z izjemno nizko močjo 25 vatov (manj agresivno obdelavo), do 1 kW za bolj agresiven Nanašanje z brizganjem.

Meri izdelana iz aluminija komora omogoča 3X znižanje cen v primerjavi z nerjavečega jekla komoro istega kalibra. Komora je 34 "v premer x 11" visok.

Lastniško oblikovanje

Lastniški ravninski magnetronsko se uporablja za ustvarjanje plazmo. Ta oblika se kaže v daljšo življenjsko dobo za naprševanja cilja, in izboljšano odlaganja enotnosti na podlago. Glow Raziskave lastniški ravninski magnetronsko bo prav tako okrepljena naprševanja mere in nižje prenosa toplote na podlago.

PC Computer Control

Ročni ali trebušni top računalnika Nadzor

Vgrajen mikroprocesor nadzoruje motorjev sistema rezin prometa, stališče rezin podstavki, odpiranje ventilov vakuumskih in plin, itd uporabnik nadzira odlaganje procesa s prenosom recept od svojega osebnega prenosnik (ni priložen). Vgrajeni mikroprocesor je povezan s prenosnim računalnikom prek vmesnika USB. Uporabnik lahko meri svoj proces z raziskovalno Glow lastniške programa zaporedja, ali pa izberete katero koli prednastavljeno proces, ki je bilo preneseno na svojem računalniku.

Napajalniki

SputterGlow je mogoče nastaviti z RF, DC ali impulzne DC omrežje. SputterGlow se lahko uporabijo za deponiranje različnih materialov ... dielektrikih, polprevodniki, kovin in magnetnih materialov. Impulzni DC se lahko uporablja namesto na RF oskrbe s prednostjo odpravo tuning omrežja. Oskrba DC lahko določi, če kovinami ali magnetnimi materiali morajo biti izključno nanešeno.