SputterGlow Lastnosti

• Reaktivno Nanašanje z brizganjem iz Si ₃ N ₄ ali drugih filmov
• Odpravlja potrebo po silana plin
• Enostaven za olajšanje v laboratoriju, niso zdravju škodljivi plini Potrebno
• Do treh ciljev
• Kavcija dielektričnih ali kovine
• 200 mm Rezine (ali manjše) ali 156 x 156 mm Sončne celice
• Možnosti ogrevanja (do 400 stopinj C)
• 1200 W, 13,56 MHz RF Generator
• Samodejno Tuning
• Turbo in Varnostno črpalke
• Vodno hlajenje magnetronskim razprševanjem
• Stepper Nadzorovano podlage Ravnanje
• Računalnik ali ročni nadzor merilnikov
• MFC nadzor plinov
• Diagnostika LED

Možnosti

• Podlaga Bias
• RGA
• Kroženje Target Hlajenje
• ViewPort Windows

Vse sistemi SputterGlow prihaja z priročnikom za 12 mesečno garancijo, lastnika, video na ustrezno vzpostavitev sistema in delovanje. Glow Raziskave se bodo tudi na kraju samem s pomočjo na terenu storitev za zagon sistema.

Za več informacij pokličite Glow raziskovalnega ZDA 480-621-8405 ali e-pošta nam .