Pastrues plazma, Etchers Plasma, Ashers Plasma dhe zhurmë (PVD) e sistemeve të depozitimit janë dhënë nga Research Glow. Kërkim Glow prodhon AutoGlow plazma sistemeve, OptiGlow plazma sistemet dhe SputterGlow folur e palidhur (PVD) depozitimit sistemeve. Hulumtimet Glow ka marrë përsipër pjesët dhe mbështetje në mbarë botën për sistemet e disa plazma vjetra nga Nordson mars (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiteri Rie) dhe ndërton reaktorë të rinj plazma për kërkesat e ndryshme dhe madhësive. Ne e kuptojmë se shumica laboratorë dhe njerëzit që blejnë sisteme plazma të kërkojë një marrëveshje të madhe të ndihmës së para dhe pas shitjes. Ne kemi aftësinë për të drejtuar mostra tuaja, dhe të ndihmojë me instalimin e sistemit tuaj. Kërkim Glow do të përpunojë mostrave falas për klientët që mund të dëshironi të blini sistemet tona.

Zgjedhja e Sistemit të drejta:

OptiGlow-përdor ajrin dhomë si të gazit procesit, 50 watts, 100 kHz, Dhoma alumini. Për modifikimin sipërfaqe. Sistemi ynë të ulët me çmim nën $ 11,000 (përfshin pompë vakum).

OptiGlow 75-për përdorim me oksigjen ose argon (dhe gaz të tjera), e 75 watts, 100 kHz, Dhoma alumini. Për modifikim sipërfaqe, pastrim plazma, trajtimi prebond.

OptiGlow ACE-për përdorim me oksigjen, argon ose fluorit (CF4) gazit lloji. Dy flowmeters gaz, dhomë anodized alumini. 10-150 ndryshueshme vat 13,56 MHz RF gjenerator, autotune. Rie ose plazma përpunimit. Për aktivizimin, ashing, pastrimin dhe gravurë. Ideal për heqjen e shtresave për Analizë Dështimi, gravurë një shumëllojshmëri të filmave.

AutoGlow-Deri në tre gazra-oksigjen, argon ose gazeve të tjera, dhoma e kuarc, 6 ", substrate, e ndryshueshme 10-300 vat 13,56 MHz RF gjenerator, autotune. Capacitive shoqëruar, operacion push button automatike. Përdoret për pastrimin plazma, të prebond, filma gravurë, Organics heqjen, heqjen photoresist.

AutoGlow 200-200 mund të përpunojë substrate mm ose 8 "wafers). Rie ose plazma përpunimit. Deri në tre gazra-oksigjen, argon ose fluor (CF4) gaz lloji, 10-300 ndryshueshme vat 13,56 MHz RF gjenerator, autotune, dhoma anodized alumini. Përdoret për plazma, aktivizimi pastrim, prebond, gravurë, duke hequr Organics, duke hequr photoresist.

AutoGlow Plasma Sistemi

Cleaner Plasma. Kjo tabelë-top sistem mund të përdoret në fuqi të ulët prej 10 vat ose deri në 300 watts, 13,56 MHz gjenerator shtetit të ngurta, Tuning automatike, presion lexuar-nga, Purge azotit, të venting butë, tre inputeve me gaz dhe është er shënuar. AutoGlow vjen me një garanci 24 muaj. Perfect për trajtimin PDMS, heqjen organike ose foto-rezistuar heqjen. Ka një dhomë kuarc dhe mund të përpunojë deri në 6 "(150 mm) substrates.

Sistemi plazma AutoGlow është përdorur në fabrikat e prodhimit, si dhe laboratorë-projektuar për të siguruar komunitetin mjekësore, shkencore, edukative dhe Mikroelektronika me teknologjinë plazma në një kosto të moderuar. Përfshin një garanci 2 vjeçare.

Sistemet e mëdha AutoGlow janë në dispozicion me dhomat e aluminit anodized të përshtatet kërkesat e konsumatorëve e Popullit (Rie apo Plasma përpunim). Foto më poshtë është një 200 AutoGlow. Designed për deri në 200 mm (8 ") substrates ose wafers, CF4, e O2 ose Ar gazit, sistemi mund të përdoret për Rie ose përpunimin plazma në varësi të transportuesit mostër që ju përdorni. Ajo ka një dhomë anodized alumini dhe mund të përdoret për të, gravurë ashing ose sipërfaqe modificaiton.

Gjej më shumë rreth AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow është projektuar për të kryer plazma ctivation A, A Shing, i prirje C ose E tching në 13,56 MHz. ACE OptiGlow ka dy inputet e gazit dhe mund të përdoret me, të oksigjenit të ajrit apo gazrave CF4 lloji. Ajo ka një dhomë anodized alumini dhe mund të përdoret për ose Rie ose plazma përpunimit. Madhe për një proces të gjatë dhe shtresat largimin e mbi paketa ose patate të skuqura gjysmëpërçues. Përdoret për Analizë Dështimi, duke hequr photoresist, pastrimi Organics, gravurë Parylene, trajtim sipërfaqe dhe një mori e kërkesave të tjera.

Sistem standard OptiGlow është përdorur për Modifikimi Plasma Sipërfaqja dhe Trajtimit Plasma, aktivizimi Sipërfaqja. Me çmim nën $ 10,500 (USD), i guximshëm, tryezë-top OptiGlow sistem plazma është e përkryer për të prodhimit ose laborator aplikacioneve. Lehtë për t'u përdorur me një ekran për presion dhome dhe statusi i modulit.

Sistemi OptiGlow është i pari i ulët plazma kosto sistem që mund të përdoret për rritjen e wettability dhe rehati e lentet e kontaktit. Sistemi plazma OptiGlow është ideale edhe për përdorim para shtresë, laminating dhe proceset e depozitimit, dhe është shumë efektive në trajtimin e një gamë të gjerë të substrates apo materiale.

75 OptiGlow sistem plazma është i ngjashëm me OptiGlow standarde dhe ka një dhomë të madhe alumini, 75 watts të pushtetit dhe mundësi për të përdorur deri në dy gazeve të dhëna, të tilla si oksigjen ose argon. Mund të përdoret për heqjen organike dhe photoresist nxjerrje.

SputterGlow zhurmë sistemin e depozitimit

Një zgjedhje e përkryer për të depozituar një gamë të gjerë të dielectrics apo metalet, me deri në tre objektiva. Projektuar fillimisht për të depozituar SI 3 N 4 anti-reflektive ngjyrat për qelizat diellore si një alternativë për përdorimin e PECVD-sepse procesi SputterGlow nuk kërkon gaze të rrezikshme të tilla si SiH 4 për depozitimin Nitride. Sistemi ka stepper robotike, stacionet e nxehtë, dhe është e kontrolluar me një kompjuter lap-top.

Pronarit planare magnetron gjeneron një plazma me fuqi të ulët apo të lartë, në varësi të nevojës tuaj. SputterGlow është projektuar për të siguruar integritetin e procesit korrent dhe të shfrytëzojë një dhomë alumini (për të mbajtur shpenzimet poshtë).

Gjej më shumë rreth SputterGlow

Sistemet e rindërtuar

Hulumtimet Glow ka marrë përsipër përgjegjësinë e mbarë botën për pjesë dhe shërbim për disa njësi të vjetra nga Nordson mars (Plasmod mars, mars Super Plasmod, Mars PM-600 dhe mars Jupiteri Rie sisteme). Ne qëndrojnë me ekspertizën tonë dhe do të ofrojë rindërtuar mars dhe Tegal sistemet plazma. Hidhni një sy në sistemet e asaj rindërtuara ne duhet të ofrojmë .