AutoGlow Plasma Systems

Sistemi plazma AutoGlow është një plazma tabletop kimi reaktor projektuar për të siguruar komunitetin mjekësore, shkencore, edukative dhe prodhimit Mikroelektronika me teknologjinë plazma në një kosto të moderuar. Sistem është përdorur në prodhimin, si dhe R & D qendra. Përdoret për argon plazma, plazma plazma oksigjen, Veshje, PDMS, plazma oksigjen trajtim, foto rezistojë nxjerrje, aplikimet FA, heqja Parylene, heqjen organike dhe përdorimin laborator.

Universitetet dhe kompanitë në mbarë botën gjeni sistemi plazma AutoGlow përshtatje të përsosur për nevojat e tyre plazma.

Sistemi plazma AutoGlow është sistemi më efikas i këtij lloji në treg për shkak të saj Watt variabile 10 deri në 300 Watt, 13,56 MHz gjenerator shtet solid. Sistemi plazma AutoGlow është projektuar gjithashtu që në mënyrë efikase gazeve zbërthyer futur në sistemin e krijimit të llojeve reaktive që shpejt do të pastruar apo modifikojë mostër. Tuning automatike dhe një readout presion janë të përfshira. AutoGlow mund të arrijnë një plazma si ulët si 10 Watts!

Automatik / push-button operacion.

Hulumtimet Glow ka marrë harton më të mira të sistemeve të vjetra, dhe updated e sistemit plazma AutoGlow me teknologjinë aktuale, duke përfshirë edhe të pronarit detektor tonë magnitudë fazë dhe SimpleMatch RF rrjetit që lejon akordim efikas plazma dhe ofron përpunim të shpejtë pa telashe të vazhdueshme për t'iu përshtatur modelit të ndryshme ngarkesa. AutoGlow është shumë i besueshëm dhe ka një garanci DY VITI! Modulet lehtë replaceble në sistemin janë: RF Generator, Rrjeti RF Match, Plate Face Module (shih më poshtë), Dhoma kuarc dhe Kontrollit gazit Moduli Për të dhëna më shumë dhe informacion, ju lutemi klikoni mbi "Features AutoGlow" në të djathtë në këtë faqe. .

Këtu është ajo që një klient i kohëve të fundit ka pasur për të thënë rreth AutoGlow tyre: "Çdo gjë është duke punuar mirë. Ajo vetëm chugs së bashku si duhet. Unë jam i impresionuar, ne mund të pothuajse plotësisht hirit AZ4620 rezistojë në 125W në disa minuta. Unë kam marrë dikush edhe duke e përdorur atë për pretreatment e PDMS para lidhjes. Vepra të mëdha për këtë. "
 
200 sistem AutoGlow është projektuar për deri në 200 mm ose substrate 8 "wafers, dhe mund të kryejnë Rie ose plazmën përpunimin-në varësi të zgarë mostër përdorur. Dhoma anodized alumini mund accomidate standarde O2, Ar apo CF4 gazra lloji për gravurë aplikimet. Provuar edhe elektronike, gjenerator RF, ndeshje rrjetit dhe kontrollin e gazit është e njëjtë si AutoGlow standarde më sipër. Ju lutem kontaktoni Kërkimit Glow për më shumë informacion mbi AutoGlow 200.
AutoGlow 200 ka të njëjtën kartë status diagnostik si AutoGlow e cila konfirmon se të gjitha nën-module janë duke punuar si duhet. Sistem në të djathtë është
treguar me spastrim opsional kamertale azotit ndenja.
AutoGlow 200 mund të përdoret për një shumëllojshmëri të aplikacioneve nga aktivizimi plazma, pastrimi, heqja organike, para-depozitimi pastrimi   si dhe një shumëllojshmëri të aplikacioneve gravurë.
 
 
 
 
 

MIT ka një AutoGlow në Qendrën Stata që është përdorur për bio të ndryshme dhe microfluidics hulumtim. Foto është një Paulus Geraldine, një studente e doktoraturës në krye të AutoGlow në MIT Building 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice Universiteti ka një AutoGlow në Research Lab Halas. Sistem është përdorur për largimin e polimer reziston për aplikime në plasmonics dhe nanophotonics. Foto është Lisa Brown, një studente e doktoraturës që përdor AutoGlow për përgatitjen e mostrave për sipërfaqe të zgjeruar spectroscopy molekulare. "

Sistemi i Universitetit të Harvardit AutoGlow në Mek-Kei Lab Gordon. Sistem është përdorur për largimin organike, modifikimit sipërfaqe dhe që i shërben nevojave të disa studiuesve që punojnë në hulumtimet e ADN-së dhe rrjedhës Gjenomit Njerëzor. Foto eshte Gordon Whitlock, Presidenti i Kërkimeve Glow.

Foto eshte AutoGlow në Lab Microsystems Teknologjisë në MIT. Kjo AutoGlow është përdorur për largimin photoresist, pastrimin dhe modifikimin sipërfaqe. Ky laborator bën kërkime në MEMS, të BioMEMS, nanoteknologji dhe Photonics.