Features SputterGlow

  • Reaktive zhurmë depozitimin e SI 3 N 4 apo Filmat tjera
  • Eliminon nevojën për Gazin silane
  • Lehtë për të lehtësojë në një laborator, Nuk gazeve të rrezikshme nevojshme
  • Deri në tre caqet
  • Depozita dielectrics apo metalet
  • 200 wafers mm (ose më të vogla) ose 156 mm x 156 mm qeliza diellore
  • Opsionet ngrohjes (deri në 400 gradë C)
  • 1200 Watt, 13,56 MHz RF Generator
  • Tuning Automatik
  • Pump Turbo dhe mbështetur
  • Uji ftohur magnetron sputtering
  • Trajtimi Substrate Stepper kontrolluar
  • Kompjuter ose Kontrolli Manuali i vlerëson
  • Kontrolli MFC e gazrave
  • LED Diagnostics

Opcionet

  • Bias substrate
  • RGA
  • Recirculating ftohjes synuar
  • Mbishkruaj Windows-

Të gjitha sistemet SputterGlow vjen me manual të një 12 muaj, garanci pronarit, video mbi duhur ngritur e sistemit dhe operimin. Studim Glow gjithashtu do të sigurojë në vend të shërbimit mbështetje fushë për fillimin e sistemit.

Për më shumë informacion ju lutem telefononi Glow Kërkimit SHBA 480-621-8405 ose email us .