Plasma Rengöringsmedel, Plasma etsare, Ashers Plasma och Sputteringbeläggning (PVD) system tillhandahålls av Glow Research. Glow Forskning tillverkar den nya AutoGlow plasma renare / ETSARE, den OptiGlow plasma-system och den SputterGlow sputteringbeläggning (PVD) system. Glow Forskningen har också tagit över delar och världsomfattande stöd för flera äldre plasma-system från Nordson MARS (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) och bygger nya plasma-reaktorer för olika krav och storlekar. Vi förstår att de flesta labb och människor som köper plasma-system kräver en hel del hjälp före och efter försäljningen. Vi har möjlighet att köra dina prover, och hjälpa till med installationen av ditt system. Glow Forskningen kommer att behandla Gratis varuprov för kunder som kanske vill köpa våra system.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Kan användas med låg effekt på 10 watt eller upp till 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatisk inställning, tryck läste ut, kväve rena, mjuka ventilation, tre ingångar gas och är CE-märkt. Den AutoGlow levereras med en 24 månaders garanti. Perfekt för behandling av PDMS, ekologisk avlägsna eller fotoresist bort.

Det AutoGlow plasma-systemet används i produktionen fabriker samt laboratorier utformade för att ge den medicinska, vetenskapliga, pedagogiska och mikroelektronik community med plasma-teknik till en rimlig kostnad. Inkluderar en 2 års garanti.

Större AutoGlow system finns med anodiserad aluminium kammare för att passa kundens behov. AutoGlow system kan hantera 200 mm (8 ") wafers.

Läs mer om AutoGlow

SputterGlow Sputteringbeläggning System

Ett perfekt val för att sätta in dielektriska eller metaller med upp till tre mål. Ursprungligen avsedd för beläggning av Si ₃ N ₄ antireflexbehandling på solceller som ett alternativ till att använda PECVD-eftersom SputterGlow processen inte kräver farliga gaser såsom SiH ₄ för bornitrid nedfall. Systemet har stepper robotik, uppvärmd stationer, och styrs med en lap-top dator.

Den egenutvecklade plana magnetron genererar ett plasma med låg eller hög effekt beroende på ditt behov. Den SputterGlow var utformade för att säkerställa integriteten bearbeta vakuum och använda en aluminium kammare (för att hålla kostnaden nere).

Läs mer om SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Används för Plasma ytmodifiering och Plasma behandling, Surface aktivering. Prissätts enligt $ 10.500 (USD) är robust, bordsskivan OptiGlow plasma-systemet perfekt för produktion eller Lab-program. Lätt att använda. Display för kammartryck och modul status.

Det OptiGlow är det första låg kostnad plasma-system som kan användas för att öka vätbarhet och komfort av kontaktlinser och olika material. Det OptiGlow plasma-systemet är idealisk för användning före lackeringen, laminering och utfällningsprocesser, och är mycket effektiva vid behandling av en mängd olika substrat eller material. Används i Bio MEMS och mikrofluidik.

Den OptiGlow 75 plasma-systemet är som standard OptiGlow, men med med 75 watt och möjlighet att använda upp till två inmatning gaser, såsom syre och argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. Den OptiGlow ACE är utformad för att utföra en Shing, C lutande eller E tching på 13,56 MHz. Den OptiGlow ACE är utformat för upp till två gaser ingångar och kan användas med CF4 typ gaser. Anodiserad aluminium kammare och för antingen RIE eller plasma förhållanden. Perfekt för en lång process och att ta bort lager av förpackningar eller chips halvledare.

OptiGlow ACE (Rengöring, Föraskning, etsning)

Läs mer om OptiGlow system

Ombyggda

Glow Forskningen har tagit över den världsomspännande ansvar för reservdelar och service för flera äldre enheter från Nordson MARS (mars Plasmod, mars Super Plasmod, mars PM-600 och mars Jupiter RIE system). Vi stannar med vår expertis och erbjuda ombyggda mars och Tegal plasma-system. Ta en titt på vad ombyggda vi har att erbjuda .