Plasma Rengöringsmedel, Plasma etsare och Ashers Plasma och sputteringbeläggning (PVD) system från Glow Research. Glöd Research tillverkar AutoGlow plasmasystem, OptiGlow plasmasystem och SputterGlow sputtering (PVD)-system. Glow Forskning har tagit över delar och i världen stöd för flera äldre plasma-system från Nordson mars (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) och bygger nya plasmareaktorer för olika behov och storlekar. Vi förstår att de flesta laboratorier och människor som köper plasma kräver en hel del hjälp före och efter försäljningen. Vi har möjlighet att köra dina prover, och hjälpa till med installationen av ditt system. Glow Forskningen kommer att behandla Gratis varuprov för kunder som kanske vill köpa våra system.

Att välja rätt system:

OptiGlow användningsområden rumsluften som processgasen, 50 watt, 100 kHz, aluminium kammare. Ytbearbetning. Vårt billigaste systemet under $ 11,000 (inkluderar vakuumpump).

OptiGlow 75-för användning med syre eller argon (och andra gas), 75 watt, 100 kHz, aluminium kammare. Ytbearbetning, plasma rengöring, prebond behandling.

OptiGlow ACE-för användning med syre, argon eller fluor (CF4) Typ gas. Två gas flödesmätare, anodiserad aluminium kammare. Variabel från 10 till 150 watt 13,56 MHz RF-generatorn, Autotune. RIE eller plasmabehandling. För aktivering, mineralisering, rengöring och etsning. Idealisk för att ta bort lager för felanalys, etsning olika filmer.

AutoGlow-Upp till tre gaserna syre, argon eller andra gaser, kvartskammare, 6 "-substrat, variabel från 10 till 300 watt 13,56 MHz RF-generatorn, Autotune. Kapacitiv kopplad, knapptryckning automatisk drift. Används för plasma rengöring, prebond, etsning filmer, ta bort organiska, ta bort fotoresist.

AutoGlow 200-kan behandla 200 mm substrat (eller 8 "wafers). RIE eller plasmabehandling. Upp till tre gaserna-syre, argon eller fluor (CF4) Typ gas variabel från 10 till 300 watt 13,56 MHz RF-generatorn, autojusteringsproceduren, eloxerad aluminium kammaren. Används för plasma rengöring, aktivering, prebond, etsning, ta bort organiska, ta bort fotoresist.

AutoGlow plasmasystem

Plasma Cleaner. Denna tabell-top-systemet kan användas med låg effekt på 10 watt eller upp till 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatisk tuning, tryck avläsning, kvävespolning, mjuk ventilation, tre ingångar gas och är CE-märkt. Den AutoGlow levereras med en 24 månaders garanti. Perfekt för behandling av PDMS, organisk avlägsna eller fotoresist bort. Har en kvartskammare och kan hantera upp till 6 "(150 mm) substrat.

Det AutoGlow plasma-systemet används i produktionsanläggningar samt laboratorier utformade för att ge den medicinska, vetenskapliga, pedagogiska och mikroelektronik gemenskap med plasma-teknik till en rimlig kostnad. Inkluderar en 2 års garanti.

Större AutoGlow system finns med anodiserade aluminium kammare för att passa kundens krav (RIE eller Plasma bearbetning). Bilden nedan är en AutoGlow 200. Designad för upp till 200 mm (8 ") substrat eller rån, CF4, O2 eller Ar gas, kan systemet användas för RIE eller plasma behandling beroende på provet transportör du använder. Det har en anodiserad aluminium kammare och kan användas för etsning, inaskning eller yta modificaiton.

Läs mer om AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Den OptiGlow ACE är utformad att utföra plasma A ctivation, A Shing, C lutande eller E tching vid 13,56 MHz. Den OptiGlow ACE har två ingångar gas och kan vara användning med luft, syre, eller CF4 gaser typ. Det har en anodiserad aluminium kammare och kan användas för antingen RIE eller plasmabehandling. Perfekt för en lång process och att ta bort lager av förpackningar eller chips halvledare. Används för felanalys, ta bort fotoresist, städning organiska, etsning Parylen, ytbehandling och en mängd andra applikationer.

Standarden OptiGlow systemet används för Plasma Ytmodifiering och plasmabehandling, ytaktivering. Prissätts enligt $ 10.500 (USD) är robust, table-top OptiGlow plasmasystem perfekt för produktions-eller Lab-program. Lätt att använda med en display för kammartryck och modul status.

Den OptiGlow systemet är det första låg kostnad plasmasystem som kan användas för att öka vätbarheten och komfort för kontaktlinser. Det OptiGlow plasma är också idealisk för användning före beläggning, laminering och processer nedfall, och är mycket effektiva vid behandling av ett brett utbud av substrat eller material.

Den OptiGlow 75 plasmasystem liknar standarden OptiGlow och har en större aluminium kammare, 75 watt och möjligheten att använda upp till två in gaser, såsom syre eller argon. Kan användas för ekologisk borttagning och strippning fotoresist.

SputterGlow sputtering System

Ett perfekt val att sätta in ett brett spektrum av dielektrika eller metaller, med upp till tre mål. Ursprungligen avsedd för beläggning av Si ₃ N ₄ anti-reflekterande beläggningar på solceller som ett alternativ till att använda PECVD-eftersom SputterGlow processen inte kräver farliga gaser såsom SiH ₄ för nitrid nedfall. Systemet har stepper robotik, uppvärmda stationer och styrs med en lap-top dator.

Den egenutvecklade planarmagnetron genererar en plasma med låg eller hög effekt, beroende på dina behov. Den SputterGlow var utformat för att säkerställa integriteten process vakuum och använda aluminium kammare (för att hålla kostnaderna nere).

Läs mer om SputterGlow

Ombyggda

Glow Forskningen har tagit över världen ansvar för reservdelar och service för flera äldre enheter från Nordson mars (mars Plasmod, March Super Plasmod mars PM-600 och mars Jupiter RIE system). Vi bor med vår expertis och erbjuda ombyggda mars och Tegal plasma system. Ta en titt på vad ombyggda vi har att erbjuda .