AutoGlow Plasma Systems

Det AutoGlow plasma-systemet är ett bord plasmakemi reaktorn konstruerad för att ge den medicinska, vetenskapliga, pedagogiska och produktion mikroelektronik samhället med plasma-teknik till en rimlig kostnad. Systemet används i produktionen samt FoU-centra. Används för argon plasma, syreplasma, plasmabeläggning, PDMS, syre plasmabehandling, foto motstå strippning och FA program, Parylen borttagning, organiskt borttagning och lab användning.

Universitet och företag att hitta över hela världen i AutoGlow plasman systemet perfekt för deras plasma behov.

Det AutoGlow plasma-systemet är det mest effektiva systemet i sitt slag på marknaden på grund av dess varierande 10 Watt till 300 Watt, 13,56 MHz solid state generator. Det AutoGlow plasma Systemet är också utformat för att effektivt fördelningen gaser som införts i systemet skapar reaktiva ämnen som snabbt kommer att rensa eller ändra provet. Automatisk inställning och ett tryck avläsning ingår. Den AutoGlow kan slå en plasma så låg som 10 watt!

Automatisk / tryckknapp funktion.

Glow Forskning har tagit de bästa mönster i de gamla systemen och uppdaterade AutoGlow plasmasystem med dagens teknik, inklusive vår egen fas-magnitud-detektor och SimpleMatch RF nätverk som möjliggör effektiv plasma inställning och ger snabb bearbetning utan problem av att ständigt anpassa sig till olika prov belastning. AutoGlow är mycket pålitlig och har två års garanti! Lätt utbytbart moduler i systemet är: RF-generator, RF Match Network, Face Plate Module (se nedan), Quartz avdelningen och Gas Control Module För mer data och information, klicka på "AutoGlow funktioner" till höger på denna sida. .

Här är vad en ny kund hade att säga om sin AutoGlow: "Allt fungerar bra. Det tuffar bara längs som det ska. Jag är imponerad att vi nästan helt kan askan AZ4620 emot på 125W på några minuter. Jag har någon som också använder det för förbehandling av PDMS före bindning. Fungerar bra för det. "
 
Det AutoGlow 200 är utformat för upp till 200 mm substrat eller 8 "wafers och kan utföra RIE eller plasma behandling-beroende på vilken provet bärare används. Den anodiserat aluminium Kammaren kan accomidate standard O2, Ar eller CF4 gaser typ för etsning applikationer. Brunnen visat elektroniskt, RF-generatorn, matchar nätverk och gas kontroll är samma som den standard AutoGlow ovan. Vänligen kontakta Glow Forskning för mer information om AutoGlow 200.
Den AutoGlow 200 har samma status diagnostiska kortet som AutoGlow som bekräftar att alla sub-moduler fungerar korrekt. Systemet till höger är
visas med tillval kväve-kammaren vent purge.
Den AutoGlow 200 kan användas för en Varity ansökningar från plasma aktivering, rengöring, organisk bort, pre-deposition rengöring   samt en mängd av etsningsförhållanden tillämpningar.
 
 
 
 
 

MIT har en AutoGlow i Stata Center som används för olika biomedicinska och mikrofluidik forskning. Bilden visar en Geraldine Paulus, en doktorand som är ansvarig för AutoGlow vid MIT Building 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice University har en AutoGlow i Halas Research Lab. Systemet används för att avlägsna polymer motstår för tillämpningar inom plasmonics och nanofotonik. Bilden är Lisa Brown, en doktorand som använder AutoGlow att förbereda prover för ytförstärkt molekylspektroskopi. "

Harvard University AutoGlow systemet i Gordon McKay Lab. Systemet används för ekologisk borttagning ytmodifiering och tjänar de behov i flera forskare som arbetar med DNA-forskning och Human Genome sekvensering. Bilden är Gordon Whitlock, VD för Glow Research.

På bilden är AutoGlow vid Microsystems Technology Lab vid MIT. Detta AutoGlow används för fotoresist bort, rengöring och ytmodifiering. Denna laboration bedriver forskning inom MEMS, BioMEMS, nanoteknik och fotonik.