Tegal 903e

Kassett-till-kassetten i-line Single Wafer Plasma etsningsanordning. Förmåga att etsa vior och kontakter. För etsning av kisel-dioxid, kiselnitrider, och polyamider. Systemet säljs med samråd från på riktig underlätta och drift. Systemet är i drift och kan påvisas i vår Customer Support Center i Mesa, Arizona. Olika uppgraderingar finns tillgängliga för att passa dina specifika behov.

Klarar wafers från 3 tum till 6 tum närvarande konfigurerad för 4 tum skivor.

• Mikroprocessor
• För närvarande konfigurerad för 4 tum (100mm) wafers.
• ENI 1000 watt 13,56 MHz RF-generatorn.
• 20 Process recept förmåga
• Processgaser kontrolleras av Tylan maskinens
• Icke friktion spatel pick and place wafer transport.
• Leybold D65 syre tjänsten pump (tillval torrt pump finns)
• Två Tegal slutna temperaturregulatorer
• December bildskärm och tangentbord
• Icke friktion spatel pick and place wafer transport.
• Manualer ingår, 208 V, 50/60 Hz

(Försäljning under behandling)