ทำความสะอาดพลาสม่า, Etchers พลาสม่า, พลาสม่าและ Ashers พ่นระบบ (PVD) สะสมไว้ให้บริการโดยการวิจัย บริษัท โกลว์ การวิจัยการผลิต บริษัท โกลว์ AutoGlow ระบบพลาสม่า, OptiGlow ระบบพลาสม่าและ SputterGlow ปะทุระบบ (PVD) การสะสม การวิจัย บริษัท โกลว์ได้ดำเนินการมากกว่าส่วนและการสนับสนุนทั่วโลกสำหรับหลายระบบเก่าพลาสมาจากอร์ดสันมีนาคม (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, จูริเอะ) และสร้างเครื่องปฏิกรณ์พลาสม่าใหม่สำหรับความต้องการและขนาดต่าง ๆ เราเข้าใจว่าห้องปฏิบัติการส่วนใหญ่และคนที่ซื้อพลาสม่าระบบจำเป็นต้องมีการจัดการที่ดีของความช่วยเหลือทั้งก่อนและหลังการขาย เรามีความสามารถในการทำงานตัวอย่างของคุณและช่วยให้มีการติดตั้งของระบบของคุณ การวิจัยจะดำเนินการ บริษัท โกลว์ตัวอย่างฟรีสำหรับลูกค้าที่อาจต้องการที่จะซื้อระบบของเรา

การเลือกระบบที่เหมาะสม:

OptiGlow จะใช้อากาศในห้องเป็นก๊าซกระบวนการ, 50 วัตต์, 100 kHz, อลูมิเนียมในห้อง สำหรับการปรับเปลี่ยนพื้นผิว ระบบของเรามีราคาต่ำสุดต่ำกว่า $ 11,000 (รวมถึงปั๊มสูญญากาศ)

OptiGlow 75-สำหรับใช้กับออกซิเจนหรืออาร์กอน (และก๊าซอื่น ๆ ), 75 วัตต์, 100 kHz, ห้องอลูมิเนียม สำหรับการปรับเปลี่ยนพื้นผิวทำความสะอาดพลาสม่า, การรักษา prebond

OptiGlow ACE สำหรับใช้กับออกซิเจนอาร์กอนหรือแก๊สฟลูออรีนชนิด (CF4) สอง flowmeters ก๊าซห้องอลูมิเนียม ตัวแปร 10-150 วัตต์ 13.56 MHz RF กำเนิดไฟฟ้า, autotune Rie หรือพลาสม่าในการประมวลผล สำหรับการเปิดใช้งาน ashing การทำความสะอาดและการแกะสลัก เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการรื้อชั้นสำหรับการวิเคราะห์ความล้มเหลว, กัดความหลากหลายของภาพยนตร์

AutoGlow-Up to สามก๊าซออกซิเจนอาร์กอนหรือแก๊สชนิดอื่น, ห้อง quartz, 6 พื้นผิว ", ตัวแปร 10 ถึง 300 วัตต์ 13.56 MHz RF กำเนิดไฟฟ้า, autotune Capacitive คู่กดปุ่มการทำงานอัตโนมัติ ใช้สำหรับทำความสะอาดพลาสม่า, prebond ภาพยนตร์กัด, อินทรีย์ลบลบน้ํายาไวแสง

AutoGlow 200-200 สามารถในการประมวลผลพื้นผิว มม. (หรือ 8 เวเฟอร์ ") Rie หรือพลาสม่าในการประมวลผล ถึงสามก๊าซออกซิเจนอาร์กอนหรือฟลูออรีน (CF4) ห้องอลูมิเนียมก๊าซชนิดตัวแปร 10 ถึง 300 วัตต์ 13.56 MHz RF กำเนิดไฟฟ้า, autotune, anodized ใช้สำหรับทำความสะอาดพลาสม่าเปิดใช้งาน, prebond, กัด, การลบอินทรีย์ลบน้ํายาไวแสง

ระบบพลาสม่า AutoGlow

ทำความสะอาดพลาสม่า ระบบนี้ตารางด้านบนสามารถนำมาใช้ที่ใช้พลังงานต่ำจาก 10 วัตต์หรือถึง 300 วัตต์, 13.56 MHz กำเนิดของรัฐที่เป็นของแข็งปรับอัตโนมัติแรงดันอ่านออกล้างไนโตรเจนระบายอ่อนสามปัจจัยการผลิตก๊าซและเป็นซีอีที่ทำเครื่องหมายไว้ AutoGlow มาพร้อมกับการรับประกัน 24 เดือน เพอร์เฟสำหรับการรักษา PDMS การกำจัดสารอินทรีย์หรือกำจัดภาพที่ต่อต้าน มีห้องผลึกและสามารถประมวลผลได้ถึง 6 "(150 มม. ) พื้นผิว

ระบบพลาสม่า AutoGlow ที่ใช้ในโรงงานผลิตเช่นเดียวกับห้องปฏิบัติการที่ออกแบบมาเพื่อให้แพทย์ทางวิทยาศาสตร์, การศึกษาและชุมชนไมโครอิเล็กทรอนิกส์ด้วยเทคโนโลยีพลาสม่าในราคาที่ปานกลาง. รวมถึงการรับประกัน 2 ปี

ขนาดใหญ่ระบบ AutoGlow จะสามารถใช้ได้กับห้องผู้พิพากษาอลูมิเนียมเพื่อให้พอดีกับความต้องการของลูกค้า (Rie หรือพลาสม่าในการประมวลผล) ภาพด้านล่างเป็น 200 AutoGlow ได้รับการออกแบบที่รองรับได้ถึง 200 มม. (8 ") หรือพื้นผิวเวเฟอร์, CF4, O2 หรือ Ar ก๊าซระบบสามารถนำมาใช้สำหรับการประมวลผล Rie หรือพลาสม่าขึ้นอยู่กับผู้ให้บริการตัวอย่างที่คุณใช้ แต่ก็มีห้องอลูมิเนียม anodized และสามารถใช้สำหรับการแกะสลัก, ashing หรือพื้นผิว modificaiton

ค้นหาข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยว AutoGlow

ระบบพลาสม่า OptiGlow  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE ถูกออกแบบมาเพื่อดำเนินการพลาสม่า ctivation, ชิง, C พิงหรือ tching E ที่ 13.56 MHz OptiGlow ACE มีสองปัจจัยการผลิตก๊าซและสามารถนำไปใช้กับอากาศออกซิเจนหรือ CF4 ก๊าซชนิด แต่ก็มีห้องอลูมิเนียม anodized และสามารถใช้สำหรับการอย่างใดอย่างหนึ่งหรือพลาสม่า Rie การประมวลผล เหมาะสำหรับกระบวนการที่ยาวและชั้นการลบเกี่ยวกับแพคเกจหรือชิปเซมิคอนดักเตอร์ ใช้ในการวิเคราะห์ความล้มเหลวในการลบน้ํายาไวแสงในการทำความสะอาดสารอินทรีย์, กัด Parylene, การรักษาพื้นผิวและโฮสต์ของโปรแกรมอื่น ๆ

ระบบ OptiGlow มาตรฐานที่ใช้สำหรับการปรับสภาพผิวพลาสม่าและการรักษาพลาสม่า, การเปิดใช้งานพื้นผิว ราคาสินค้าสินค้าคงคลังภายใต้ 10,500 $ (USD) ทนทานตารางบนระบบ OptiGlow พลาสม่าเหมาะสำหรับการใช้งานการผลิตหรือห้องปฏิบัติการ ใช้งานง่ายด้วยจอแสดงผลสำหรับห้องความดันและสถานะโมดูล

ระบบ OptiGlow เป็นระบบที่ต้นทุนต่ำก่อนพลาสม่าที่สามารถใช้เพื่อเพิ่มการเปียกและความสะดวกสบายของคอนแทคเลนส์ ระบบพลาสม่า OptiGlow ยังเหมาะสำหรับการใช้ล่วงหน้าก่อนการเคลือบลามิเนตและกระบวนการสะสมและมีประสิทธิภาพสูงในการรักษาที่หลากหลายของพื้นผิวหรือวัสดุ

OptiGlow 75 ระบบพลาสม่ามีลักษณะคล้ายกับ OptiGlow มาตรฐานและมีห้องอลูมิเนียมที่มีขนาดใหญ่, 75 วัตต์และตัวเลือกที่จะใช้ถึงสองก๊าซ input เช่นออกซิเจนหรืออาร์กอน. สามารถใช้สำหรับการกำจัดสารอินทรีย์และน้ํายาไวแสงปอก

SputterGlow พ่นระบบสะสม

เลือกที่สมบูรณ์แบบในการฝากที่หลากหลายของ dielectrics หรือโลหะที่มีถึงสามเป้าหมาย ได้รับการออกแบบมาเพื่อฝาก Si 3 N 4 เคลือบป้องกันแสงสะท้อนบนเซลล์แสงอาทิตย์เป็นทางเลือกในการใช้ PECVD เนื่องจากกระบวนการ SputterGlow ไม่ต้องใช้ก๊าซที่เป็นอันตรายเช่น SIH 4 สำหรับการสะสมไนไตรด์ ระบบมี stepper หุ่นยนต์สถานีอุ่นและถูกควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์บนตัก

ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของระนาบ magnetron สร้างพลาสม่าที่มีพลังงานต่ำหรือสูงขึ้นอยู่กับความต้องการของคุณ SputterGlow ถูกออกแบบมาเพื่อความสมบูรณ์ของกระบวนการสูญญากาศและใช้ประโยชน์จากห้องอลูมิเนียม (เพื่อให้ค่าใช้จ่ายลง)

ค้นหาข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยว SputterGlow

ระบบสร้างขึ้นมาใหม่

การวิจัย บริษัท โกลว์ได้ดำเนินการมากกว่าความรับผิดชอบทั่วโลกสำหรับชิ้นส่วนและบริการสำหรับหน่วยที่มีอายุมากกว่าหลายจากอร์ดสันมีนาคม (มีนาคม Plasmod มีนาคมซูเปอร์ Plasmod มีนาคม PM-600 และระบบมีนาคมพฤหัสบดี Rie) เราอยู่กับความเชี่ยวชาญและข้อเสนอของเราสร้างขึ้นมาใหม่เดือนมีนาคมและระบบพลาสม่า Tegal ลองดูที่ระบบสร้างขึ้นมาใหม่สิ่งที่เรามีให้ .