ระบบพลาสม่า AutoGlow

ระบบพลาสม่า AutoGlow เป็นโต๊ะพลาสม่าเครื่องปฏิกรณ์เคมีออกแบบมาเพื่อให้ชุมชนไมโครอิเล็กทรอนิกส์ทางการแพทย์วิทยาศาสตร์เพื่อการศึกษาและการผลิตด้วยเทคโนโลยีพลาสมามีค่าใช้จ่ายในระดับปานกลาง ระบบที่ใช้ในการผลิตเช่นเดียวกับศูนย์ R & D ใช้สำหรับอาร์กอนพลาสม่า, พลาสม่าออกซิเจนพลาสมาเคลือบ PDMS รักษาพลาสมาออกซิเจนต้านทานการปอกภาพ, โปรแกรมเอฟเอลบ Parylene การกำจัดสารอินทรีย์และการใช้ห้องปฏิบัติการ

มหาวิทยาลัยและ บริษัท ทั่วโลกพบว่าระบบพลาสม่า AutoGlow พอดีสำหรับพลาสม่าของพวกเขาต้องการ

ระบบพลาสม่า AutoGlow เป็นระบบที่มีประสิทธิภาพมากที่สุดของชนิดในตลาดเนื่องจากตัวแปรวัตต์ 10 ถึง 300 วัตต์ของมัน, 13.56 MHz กำเนิดของรัฐที่มั่นคง ระบบพลาสม่า AutoGlow ยังถูกออกแบบให้มีประสิทธิภาพก๊าซสลายแนะนำให้รู้จักกับระบบการสร้างสายพันธุ์มีปฏิกิริยาที่รวดเร็วจะทำความสะอาดหรือปรับเปลี่ยนตัวอย่าง. ปรับอัตโนมัติและการอ่านข้อมูลความดันที่จะถูกรวม AutoGlow สามารถนัดหยุดงานในพลาสมาที่ต่ำเป็น 10 วัตต์!

อัตโนมัติ / การดำเนินงานปุ่มกด

การวิจัย บริษัท โกลว์ได้ดำเนินการออกแบบที่ดีที่สุดของระบบเก่าและปรับปรุงระบบพลาสม่า AutoGlow กับเทคโนโลยีในปัจจุบันรวมทั้งขั้นตอนการตรวจจับขนาดที่เป็นกรรมสิทธิ์ของเราและ SimpleMatch RF เครือข่ายที่ช่วยให้การปรับแต่งพลาสม่าที่มีประสิทธิภาพและให้การประมวลผลที่รวดเร็วโดยไม่มีปัญหาอย่างต่อเนื่องของการปรับตัวอย่างต่างๆ โหลด. AutoGlow มีความน่าเชื่อถือมากและมีการรับประกันสองปี! โมดูล replaceble ได้อย่างง่ายดายในระบบดังนี้: RF Generator, ระบบเครือข่ายที่ตรงกับ RF, โมดูลแผ่นหน้า (ดูด้านล่าง), Chamber ควอตซ์และโมดูลการควบคุมก๊าซสำหรับข้อมูลเพิ่มเติมและข้อมูลโปรดคลิกที่ "คุณสมบัติ AutoGlow" ไปทางขวาในหน้านี้. .

AutoGlow 200 ระบบถูกออกแบบมาเพื่อได้ถึง 200 มม. พื้นผิวหรือ 8 เวเฟอร์ "และสามารถดำเนินการ Rie หรือพลาสม่า การประมวลผลขึ้นอยู่กับผู้ให้บริการซึ่งกลุ่มตัวอย่างที่ใช้ ห้องอลูมิเนียม anodized สามารถ accomidate มาตรฐาน O2, Ar หรือ CF4 ก๊าซชนิดสำหรับการใช้งานการแกะสลัก พิสูจน์กันอิเล็กทรอนิกส์กำเนิด RF, ตรงกับเครือข่ายและการควบคุมก๊าซเป็นเช่นเดียวกับ AutoGlow มาตรฐานข้างต้น กรุณาติดต่อ บริษัท โกลว์วิจัยสำหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับ AutoGlow 200

 

 

 

 

 

MIT มี AutoGlow ในศูนย์ Stata ที่ใช้สำหรับการแพทย์และการวิจัยต่างๆ microfluidics เป็นภาพ Geraldine พอลลัส, นักศึกษาปริญญาเอกในค่าใช้จ่ายของ AutoGlow ที่ MIT อาคาร 66 (ตึก Landau Lab)

 

 

 

"ข้าวที่มหาวิทยาลัยมี AutoGlow ใน Halas Research Lab. ระบบที่ใช้สำหรับการกำจัดของพอลิเมอต้านสำหรับการใช้งานใน plasmonics และ nanophotonics. เป็นภาพของลิซ่าบราวน์เป็นนักศึกษาปริญญาเอกที่ใช้ AutoGlow เพื่อเตรียมความพร้อมตัวอย่างสำหรับสเปคโทรโมเลกุลที่พื้นผิวเพิ่ม "

ระบบ AutoGlow Harvard University ในกอร์ดอนแม็คเคย์ Lab ระบบจะใช้สำหรับการกำจัดสารอินทรีย์ปรับเปลี่ยนพื้นผิวและการรองรับความต้องการของนักวิจัยหลายงานวิจัยดีเอ็นเอและลำดับจีโนมมนุษย์ เป็นภาพกอร์ดอน Whitlock ประธาน บริษัท โกลว์ของงานวิจัย

เป็นภาพที่ AutoGlow Microsystems Technology Lab ที่ MIT AutoGlow นี้จะใช้สำหรับการกำจัดน้ํายาไวแสง, การทำความสะอาดและการปรับเปลี่ยนพื้นผิว ห้องปฏิบัติการนี​​้จะวิจัยใน MEMS, BioMEMS, นาโนเทคโนโลยีและ Photonics