สิ่งอำนวยความสะดวก SputterGlow

• ปฏิกิริยาพ่นสะสมของ Si ₃ N ₄ หรือเรื่องอื่น ๆ
• ขจัดความจำเป็นในการใช้ก๊าซไซเลน
• ง่ายต่อการอำนวยความสะดวกในห้องทดลอง, ไม่มีก๊าซอันตรายที่จำเป็น
• ถึงสามเป้าหมาย
• ฝาก dielectrics หรือโลหะ
• 200 เวเฟอร์ มม. (หรือเล็ก) หรือ 156 มม. x 156 มม. เซลล์แสงอาทิตย์
• ตัวเลือกเครื่องทำความร้อน (ถึง 400 องศา C)
• 1200 วัตต์, 13.56 MHz RF Generator
• จูนสัญญาณอัตโนมัติ
• ปั๊มเทอร์โบและถือหาง
• น้ำระบายความร้อนด้วยแมกสปัตเตอร์
• การจัดการของพื้นผิวควบคุม Stepper
• คอมพิวเตอร์หรือการควบคุมด้วยตนเองจากเครื่องวัด
• การควบคุมเอ็มเอฟของก๊าซ
• การวินิจฉัยของ LED

ตัวเลือก

• อคติที่พื้นผิว
• RGA
• หมุนเวียนระบายความร้อนของเป้าหมาย
• ของ Windows Viewport

ทุกระบบ SputterGlow มาพร้อมกับคู่มือการใช้การรับประกัน 12 เดือนของวิดีโอบนการตั้งค่าที่เหมาะสมของระบบและการดำเนินงาน การวิจัย บริษัท โกลว์ยังจะให้บริการถึงสถานที่รองรับการให้บริการช่องสำหรับเริ่มต้นขึ้นของระบบ

สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมกรุณาติดต่อ บริษัท โกลว์วิจัยในสหรัฐอเมริกา 480-621-8405 หรือ ส่งอีเมล์ถึงเรา .