AutoGlow plasma Systems

Ang sistema ng AutoGlow plasma ay isang tabletop plasma kimika reaktor na dinisenyo upang magbigay ng medikal, pang-agham, pang-edukasyon at ang produksyon komunidad microelectronics sa plasma teknolohiya sa isang katamtaman gastos. Ang sistema ay ginagamit sa produksyon pati na rin ang sentro ng R & D. Ginagamit para sa argon plasma, plasma ng oxygen, plasma patong, PDMS, plasma ng oxygen paggamot, larawan labanan pagkakalag, application pa, Parylene pagtanggal, organic na pag-alis at paggamit ng lab.

Unibersidad at mga kumpanya sa buong mundo na hanapin ang AutoGlow plasma sistema ang perpektong akma para sa kanilang mga pangangailangan sa plasma.

Ang sistema ng AutoGlow plasma ay ang pinaka-mahusay na sistema ng kanyang uri sa merkado dahil sa ang variable 10 Watt sa 300 Watt, 13.56 MHz matatag na estado ng generator. Ang sistema ng AutoGlow plasma ay dinisenyo upang mahusay na gas breakdown na ipinakilala sa sistema ng paglikha ng ng reaktibo mga species na mabilis linisin o baguhin ang sample. Awtomatikong tuning at isang presyon readout ay kasama. Ang AutoGlow ay maaaring hampasin ng isang plasma bilang mababang bilang 10 Watts!!

Awtomatikong / push-button na operasyon.

Pananaliksik ng gasa ay kinuha ang pinakamahusay na disenyo ng ang lumang system, at na-update AutoGlow plasma sistema sa kasalukuyang teknolohiya, kabilang ang aming pagmamay-ari detector phase magnitude at SimpleMatch RF network na nagbibigay-daan sa mahusay na plasma tuning at nagbibigay ng mabilis processing nang walang problema ng patuloy na pagsasaayos ng iba't ibang sample load. ang AutoGlow ay napaka-maaasahan at may DALAWANG YEAR WARRANTY! Madaling replaceble Modules sa sistema ay ang mga: ang RF Generator, RF Pareha Network, Face plate Module (tingnan sa ibaba), ng kuwarts Chamber at Gas Control Module Para sa higit pang data at impormasyon, mangyaring i-click ang "Mga Tampok AutoGlow" sa kanan sa pahinang ito. .

Narito ang kung ano ang isang kamakailan-lamang na Customer ay upang sabihin tungkol sa kanilang AutoGlow: "Ang lahat ay gumagana fine. Chugs lamang ito kasama dapat ito. Ako impressed namin halos ganap abo AZ4620 labanan sa 125W sa ilang minuto. Mayroon akong isang tao na rin gamit ito para sa pretreatment ng PDMS bago sa bonding. Gumagana mahusay para sa na. "
 
Ang sistema ng AutoGlow 200 ay dinisenyo para sa hanggang sa 200 mga substrates mm o 8 "wafers, at maaaring gumanap Rie o plasma Ang pagproseso-depende sa kung aling sample carrier ginamit. Ang anodized kamara aluminyo maaaring accomidate sa standard O2, Ar o CF4 uri ng gas para sa pag-ukit application. Ang mahusay napatunayan electronic, RF generator, tumugma sa network at kontrol ng gas ay ang parehong bilang batayan ng AutoGlow sa itaas. Mangyaring makipag-ugnay sa gasa Research para sa karagdagang impormasyon sa AutoGlow 200.
AutoGlow 200 ay may parehong katayuan diagnostic card bilang ng ang AutoGlow kung saan Kinukumpirma na ang lahat ng mga sub-module ay gumagana nang tama. Ang sistema sa kanan ay
ipinapakita na may opsyonal magpurga singawan ng kamara ng nitrogen.
Ang AutoGlow 200 ay maaaring magamit para sa isang varity ng mga application mula sa plasma activation, paglilinis, organic na pag-alis, pre-salaysay paglilinis   pati na rin bilang isang iba't ibang mga ukit ng mga application.
 
 
 
 
 

MIT ay may isang AutoGlow sa Center Stata na ay ginagamit para sa iba't-ibang biomedical at microfluidics pananaliksik. Pictured ay isang Geraldine Paulus, ng doktor mag-aaral sa singil ng AutoGlow sa MIT Building 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice University ay may isang AutoGlow sa ng Halas Research Lab. Ang sistema ay ginagamit para sa pag-aalis ng polimer resists para sa mga application sa plasmonics at nanophotonics. Pictured ay Lisa Brown, ng doktor mag-aaral na gumagamit ng AutoGlow upang ihanda ang mga halimbawa para sa ibabaw-pinahusay na molekular spectroscopy. "

AutoGlow ng sistema ng Harvard University sa Gordon McKay Lab. Ang sistema ay ginagamit para sa organic na pag-alis, ibabaw pagbabago at nagsisilbi sa mga pangangailangan ng ilang mga mananaliksik na nagtatrabaho sa DNA pananaliksik at pantao genome sequencing. Pictured ay Gordon Whitlock, Pangulo ng gasa Research.

Pictured ay ang AutoGlow na sa ang Microsystems Teknolohiya Lab sa MIT. AutoGlow na ito ay ginagamit para sa photoresist pagtanggal, paglilinis at pagbabago sa ibabaw. Lab na ito ang pananaliksik sa MEMS, BioMEMS, Nanotechnology at Photonics.