OptiGlow plasma Systems

Ang gasa Pananaliksik ay nagbibigay ng tatlong iba't-ibang uri ng OptiGlow plasma system:

  • OptiGlow: Pinakamababa Presyo. Para sa ibabaw pagbabago, gamit ng hangin bilang ang proseso ng gas, isa flowmeter, 100 kHz, 50 Watts, aluminyo kamara, walang tuning kinakailangan, awtomatikong timer. Nagsasama ng isang panloob na bomba ng vacuum. Push-button, awtomatikong operasyon.
  • OptiGlow 75: Para sa plasma paglilinis, ang PDMS paggamot, activation, ibabaw pagbabago sa paggamit ng hangin, oxygen, argon o nitrogen para sa processing May dalawang flowmeters, 100 kHz, 75 Watts, walang tuning kinakailangan, awtomatikong timer at aluminyo kamara. Panlabas na vacuum bomba (inirerekumenda Fomblin langis para sa oxygen processing). Push-button, awtomatikong operasyon.
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow alas: Para sa isang shing / Activation, C nakahilig, E tching (alas). Anodized kamara ng aluminyo, 10 sa 150 Watts, awtomatikong tuning 13.56 MHz, ng dalawang flowmeters, plasma o ang Rie estilo processing sa oxygen, ng argon o CF4 na kimika. Mainam para sa Ang ukit IC pakete o iba pang mga ukit / paglilinis ng mga applicaitons. May sample may-ari sa dalawang shelves ... tuktok istante para sa Rie, ibaba istante para sa plasma processing. Dinisenyo para sa mahabang oras ng pagpoproseso-push button, awtomatikong operasyon.

Ang OptiGlow alas ay maaaring gamitin upang tanggalin ang tira plastic mula sa IC ay para sa Pagsusuri ng pagkabigo. Narito ang ilang mga data mula sa aming Customer, JHT ang instrumento, LLC.

Komento mula sa mga instrumento JHT, LLC: Pagkatapos ng 1.5 oras ng oras ng pagpoproseso sa mga sumusunod na kondisyon: Unit sa tuktok "istante" ng ang may-ari ng sample, 100mT presyon ng kamara, 100W forward kapangyarihan. Lso Isang nalinis off ang ibabaw ng ang yunit sa IPA. Ang mga sumusunod na mga imahe ilarawan ang proseso mula sa Packaged yunit sa ninanais na clear mamatay ibabaw. Alas tila lubos "na user friendly na" at epektibo.

Sa kaliwa: post-polish (mamatay gaanong makikita)
Sa kanan: Post 1.5 mga oras ashing, 100 Watts,
sa tuktok (Rie) istante.
 
OptiGlow:

Dinisenyo para sa Air plasma, plasma Paggamot, Makipag-ugnayan sa Lens Paggamot, sa Taasan Wettability, Ibabaw ng Paggamot at General plasma System. Ang matipuno, mesa-itaas na sistema OptiGlow plasma ay perpekto para sa mga aplikasyon ng produksyon o lab. Ang sistema ng OptiGlow plasma ay ang unang mababang gastos plasma sistema na dinisenyo para sa pagdaragdag ng ng ang wetability at aliw na antas ng contact lenses. OptiGlow ang ay ginagamit din sa paggamot ng materyal na bago sa patong, ng laminating o salaysay, at ito ay lubos na epektibo sa gamot ng isang malawak na hanay ng mga substrates o materyal. Ang tumaas enerhiya sa ibabaw ng isang materyal na mapabuti ang mga katangian ng pagdirikit, sa gayon na nagpapahintulot sa pinabuting bonding, gluing, markability, paintability, at coatability.

  • Hydrophilic ibabaw paggamot
  • Dagdagan ang mga epekto ng pagdirikit at maliliit na ugat
  • Hydrophilic paggamot ng mga micro channel
  • Ginamit sa Bio MEMS at MicroFluidics
  • Control ng mga katangian ng ibabaw
  • Nagpapabuti electroosmotic daloy (EOF) ng iba't-ibang materyal
  • Paggamot ng PDMS
  • Magbigay ng mga katangian ng protina at cell-repelling para sa ilang mga materyales
  • Mainam para sa paggamit bago ang patong, laminating o mga proseso ng salaysay
  • Cleans, aktibo bago sa pagpi-print o bonding

Hydrophobic: Contact lens materyal walang OptiGlow plasma paggamot.

Ang sistema ng OptiGlow plasma mga tampok ng isang silid ng aluminyo at isang maaasahang 100KHz, mababang dalas RF Generator. Ang bomba ay binuo sa system. Lamang plug sa sistema ng plasma ng OptiGlow at ikaw ay handa na upang i-proseso. Ang sistema ng OptiGlow plasma ay idinisenyo upang gamitin ang hangin ng kuwarto bilang proseso ng pag-gas.

Presyo sa ilalim ng $ 10,500 (USD), ang sistema ng OptiGlow plasma ay angkop para sa optical labs, makipag-ugnayan sa mga tagagawa ng lens at unibersidad na mahanap ang isang perpektong akma para sa kanilang mga pangangailangan sa plasma, pati na rin ang kanilang badyet.

Hydrophilic: Pinabuting webabilty na sa paggamot sa plasma ng OptiGlow.

Paggamot gas plasma ay nagbibigay ng isang mabilis, mahusay na pamamaraan para sa pagbabago sa ibabaw ng contact lens o iba't-ibang mga polymers at mga materyales. OptiGlow plasma processing ay maaaring tumaas wetability, mapabuti ang kadulasan, at nagbibigay-daan sa salaysay ng mga bio-tugmang materyales. Contact lens plasma paggamot ay isang karaniwang mga application na kung saan ang lens ibabaw ay oxidized upang lumikha ng isang hydrophilic ibabaw ng lens na lumalaban sa salaysay ng protina. Ang plasma proseso ay nagbibigay-daan para sa pinabuting kaginhawahan at na magsuot.

Kamara

Ang plasma kamara, constructed ng mataas na grado 6061-T aluminyo, ay lumalaban sa mga kemikal at madaling upang linisin. Ang kapangyarihan ay ibinigay sa tuktok elektrod sa pamamagitan ng isang RF feed sa pamamagitan ng, at ang kamara ng aluminyo gumaganap bilang sa lupa na nagpapahintulot para sa uniporme plasma processing.

Ang sistema ng control module monitor kamara presyon, pre-set na kapangyarihan at aktwal na kapangyarihan. Para sa anumang proseso ng plasma, ito ay mahalagang malaman ang presyon ng kamara upang masiguro ang isang maayos at repeatable proseso. Isang kamag-anak na presyon ng kamara ay ipinapakita sa harap ng sistema.

Proseso Control

Flowmeter ay inimuntar sa harap ng plasma ang sistema ng OptiGlow para sa madaling adjustment ng gas at pagtingin. Isang panloob na solenoyde ay isinara ang gas matapos ang proseso ay nag-time out. Ito ay magbibigay-daan para sa repeatable pagpoproseso ng produksyon nang hindi sa patuloy na ayusin ang daloy ng gas para sa mga kasunod na paggamot plasma. Ang presyon ng kamara ay kinokontrol sa pamamagitan ng daloy ng gas papunta sa silid. Bilang isang kaligtasan ng proteksyon, gas ng proseso ay pinapayagan lamang sa dumaloy sa sa kamara reaksyon kung lahat ang interlocks na ay nakumpirma na.

Kapangyarihan at Pagtutugma Network

Ang sistema ng OptiGlow plasma ay equipped sa 100 KHz, 50 Watt Mababang Dalas Generator at isang nakapaloob sa pagtutugma ng unit. Ang tuning Walang ay kailangan at isang malakas, matatag na plasma gasa ay awtomatikong nalikha sa bawat run.

Kaligtasan

Kabilang sa mga karaniwang tampok ang isang pindutan na terminates ng RF kapangyarihan at gas flow.Safety na interlocks maiwasan ang activation ng RF kapangyarihan at daloy ng gas kapag ang pinto ng silid ay bukas o kung ang mga pabalat ay tinanggal. Ang sistema ng OptiGlow plasma ay lumipas mahigpit na pagsubok at CE Minarkahan. Dinisenyo para sa US o International kapangyarihan (110 o 230 na VAC).