Tegal 903e

Cassette-sa-ang cassette Sa-line Single pang-ukit ng plasma ng ostiya. Kakayahan sa mga mag-ukit na vias at mga contact. Para sa ukit ng silikon dioxide, mga silikon nitrides, at polyamides. Ang sistema ay ipagbibili sa konsultasyon mula sa tamang pasilitasyon at operasyon. Ang sistema ay pagpapatakbo at maaaring ipinapakita sa aming Customer Support Center sa Mesa, Arizona. Iba't-ibang upgrade ay magagamit upang magkasya ang iyong mga partikular na pangangailangan.

Maaari panghawakan mga wafers mula sa 3-in sa 6 in kasalukuyan isinaayos para sa 4 in wafers.

Microprocessor control
Kasalukuyang isinaayos para sa mga 4 in (100mm) wafers.
ENI 1,000 Watt 13.56 MHz RF Generator.
20 Proseso recipe kakayahan
Gas sa proseso na kinokontrol sa pamamagitan ng Tylan MFC ng
Non-alitan spatula pumili at lugar ostiya sasakyan.
Leybold D65 bomba ng serbisyo ng oxygen (opsyonal tuyo bomba na magagamit)
Dalawang Tegal closed loop temperatura controllers
Disyembre Monitor at keyboard
Non-alitan spatula pumili at lugar ostiya sasakyan.
Na Manuals kasama, 208 V, 50/60 Hz

(Benta pending)

Itinayong muli Systems
OptiGlow plasma System
Presyo sa ilalim ng $ 10,500 (USD), ang matatag, mesa-itaas na sistema OptiGlow plasma ay perpekto para sa mga aplikasyon ng produksyon o lab. Alamin ang higit pa .
AutoGlow plasma System
Ang sistema ng AutoGlow plasma ay ang pinaka-mahusay na plasma ng tabletop sistema ng kanyang uri sa merkado dahil sa ang variable 10-300 wat, 13.56 MHz matatag na estado ng generator. Alamin ang higit pa .
Pagsubok at mga halimbawa
Gasa Research ay tatakbo sa mga halimbawa sa isang batayan ng kontrata o para sa mga kliyente na interesado sa sa wakas pagbili ng isang bagong o itinayong muli sistema. Makipag-ugnay sa amin para sa karagdagang impormasyon.
Makipag-ugnay sa Amin
Address:
12,014 S. 35 Ct.
Phoenix, Az. 85044
Estados Unidos
Telepono:
480-621-8405
Email:
customerservice@glowresearch.org
Tagasalin

Ang gasa Research ay tumatagal ng mahusay na kapurihan sa aming bagong sistema sa plasma, ang suporta ng mga mas lumang mga sistema ng Marso plasma at ang aming pangmatagalang suporta para sa mga customer sa buong mundo.
Tumagal kami ng pagmamalaki sa aming kakayahan upang magbigay ng mga reactors para sa iba't-ibang mga pangangailangan at laki.

| 12014 S. 35th Ct. Copyright 2012 gasa Research | 12,014 S. 35 Ct. Phoenix, Az. 85,044 Estados Unidos | 480-621-8405 | customerservice@glowresearch.org
AutoGlow at OptiGlow ay nakarehistro sa mga trademark ng gasa Research.

Bumalik sa tuktok ng pahina