SputterGlow polyeto
SputterGlow utal na pagsasalita salaysay System
OptiGlow plasma System
Presyo sa ilalim ng $ 10,500 (USD), ang matatag, mesa-itaas na sistema OptiGlow plasma ay perpekto para sa mga aplikasyon ng produksyon o lab. Alamin ang higit pa .AutoGlow plasma System
Ang sistema ng AutoGlow plasma ay ang pinaka-mahusay na plasma ng tabletop sistema ng kanyang uri sa merkado dahil sa ang variable 10-300 wat, 13.56 MHz matatag na estado ng generator. Alamin ang higit pa .Pagsubok at mga halimbawa
Gasa Research ay tatakbo sa mga halimbawa sa isang batayan ng kontrata o para sa mga kliyente na interesado sa sa wakas pagbili ng isang bagong o itinayong muli sistema. Makipag-ugnay sa amin para sa karagdagang impormasyon.Makipag-ugnay sa Amin
Address:
12,014 S. 35 Ct.
Phoenix, Az. 85044
Estados UnidosTelepono:
480-621-8405Tagasalin
Tagasalin
SputterGlow utal na pagsasalita salaysay System
System para sa manipis na Film, utal na pagsasalita, PVD, payat Film salaysay, vacuum patong, metal o Dielectric manipis Film salaysay.
Ang gasa Research SputterGlow ay isang nababaluktot utal na pagsasalita salaysay sistema na dinisenyo upang iproseso ang 200mm wafers, 156mm x 156mm solar cell o mas maliit wafers-kabilang ang mga piraso ng wafers. Ang SputterGlow ay maaaring magkaroon ng hanggang sa tatlong mapagpapalit mga istasyon ng proseso (sa bawat istasyon ay isinaayos para sa pagpainit, utal na pagsasalita pagtitiwalag o pumisik-ukit). SputterGlow ay orihinal na idinisenyo upang magdeposito Si 3 N 4 antireflective na coatings sa photovoltaic cells at maaaring magamit upang utal na pagsasalita deposito ng isang malawak na hanay ng mga dielectrics o riles.
Photovoltaic inhinyero natagpuan SputterGlow upang maging isang mahusay na alternatibo sa plasma Pinahusay na salaysay kimikal singaw (PECVD) na dahil ang proseso ng SputterGlow hindi nangangailangan Silane na (SiH 4) para sa nitride salaysay.
Kasama ang napakalaking pagtitipid sa gastos-ng hindi nangangailangan ng mahal sa pasilitasyon o kaligtasan hurdles-maraming mga mananaliksik pakiramdam may malakas na bentahe sa paggamit ng isang sputtered film para sa huling kawalang kibo / anti-mapanimdim patong, na nagreresulta sa isang mas mataas na kahusayan photovoltaic cell. SputterGlow ay dinisenyo ni John Reche. Para sa isang background sa John Reche mangyaring mag-click sa "Tungkol sa Amin" sa web site na ito.
Kakayahang bumaluktot
Sa tatlong istasyon ng kamara, ang SputterGlow ang maaaring gamitin para sa isang iba't ibang mga pangangailangan ng processing. Ang mga indibidwal na mga istasyon ng interchangeably ginagamit para sa pagpainit, ng sputtering o ukit sa tamang pagpili ng mga pagpipilian sa pagbili, o retrofitted sa ibang araw. Ang Ang SputterGlow ay isang perpektong pagpipilian para sa pananaliksik o mababang dami ng pagmamanupaktura application.
Integridad ng kamara / cost
Vacuum Pagsubok
SputterGlow Ang ay dinisenyo upang masiguro ang integridad ng proseso ng vacuum at gamitin ang isang aluminyo kamara (upang mapanatili ang gastos pababa). Ang silid ay helium mahayag na nasubok sa 6.5 x 10 -10 mbar sa Lahat ng ports block, (4.8 x 10 -10 torr).
Ang mga pasadyang dinisenyo aluminyo kamara ay nagbibigay-daan para sa isang 3X pagbabawas ng presyo kapag inihambing sa isang hindi kinakalawang na asero ng kamara ng parehong kalibre. Ang SputterGlow ay maaaring patakbuhin mula sa isang lubhang mababa ang kapangyarihan ng 25 Watts (para sa mas agresibo processing), 1 KW para sa mas agresibo utal na pagsasalita salaysay.
Ang mga pasadyang dinisenyo aluminyo kamara ay nagbibigay-daan para sa isang 3X pagbabawas ng presyo kapag inihambing sa isang hindi kinakalawang na asero ng kamara ng parehong kalibre. Chamber ay 34 "sa lapad x 11" matangkad.
Pagmamay-ari Disenyo
Ang pagmamay-ari planar magnetron ay ginagamit upang mabuo ang plasma. Ito disenyo ng mga resulta sa isang mas mahabang buhay para sa sputtering target, at pinabuting salaysay pagkakapareho sa substrate. Ang gasa Research pagmamay-ari planar magnetron din pinahusay ng sputtering rate at mas mababang init transfer sa ang substrate.
PC Computer Control
Manual o kumandong-Top Computer Control
Isang naka-embed na microprocessor kontrol ang mga Motors ng ostiya ang sistema ng transportasyon, ang posisyon ng pedestals ostiya, pagbubukas ng mga valves vacuum at gas, atbp gumagamit kontrol ang salaysay proseso sa pamamagitan ng pagda-download ng isang recipe mula sa kanilang personal laptop (hindi ibinigay). Ang naka-embed na microprocessor ay konektado sa laptop sa pamamagitan ng isang USB port. Gumagamit ang maaari ang sastre kanilang sariling proseso sa ang gasa Research pagmamay-ari sequencing programa, o piliin ang anumang mga preset na proseso na ay nai-download sa kanilang computer.
Power Supply
SputterGlow ay maaaring naisaayos sa RF, DC o pulsed power supply ng DC. SputterGlow ang maaaring magamit upang magdeposito ng iba't-ibang mga materyales ... dielectrics, Semiconductors, riles at magnetic na mga materyales. Pulsed DC ay maaaring gamitin sa halip ng isang RF na supply ng may ang bentahe ng pag-aalis ang tuning network. Isang DC supply ng maaaring tinukoy kung riles o magnetic materyales ay sputtered eksklusibo.