SputterGlow Tampok

  • Reaktibo utal na pagsasalita salaysay ng Si 3 N 4 o Iba pang mga pelikula
  • Tinatanggal ng pangangailangan para sa Silane Gas
  • Madaling upang mangasiwa sa isang Lab, Walang mga Mapanganib gas Kinakailangan
  • Hanggang sa Tatlong Target
  • Sa deposito Dielectrics o Metal
  • 200 mm Wafers (o mas maliit) o ​​156 mm x 156 mm Solar Cell
  • Mga Opsyon sa pag-init (hanggang sa 400 Degrees C)
  • 1200 Watt, 13.56 MHz RF Generator
  • Awtomatikong Pag-tune
  • Turbo at back bomba
  • Water Cooled magnetron Sputtering
  • Stepper kinokontrol Substrate handling
  • Computer o Manual Control ng mga Gauges
  • Ng MFC control ng gas
  • Humantong Diagnostics

Opsyon

  • Substrate bias
  • RGA
  • Recirculating Target pagpapalamig
  • Viewport Windows

Lahat SputterGlow system pagdating sa manual ng 12 buwan warranty, may-ari, video sa tamang set up ng sistema at operasyon. Gasa Research ay nagbibigay din ang sa-serbisyo sa patlang ng site ng suporta para sa simulan up ng sistema.

Para sa karagdagang impormasyon, mangyaring tumawag sa ang gasa Research USA 480-621-8405 o I-email sa amin .