Plazma Temizleyiciler, Plazma Etchers, Plazma Ashers ve Biriktirme (PVD) sistemleri Sputter Glow Araştırma tarafından sağlanmaktadır. Glow Araştırma AutoGlow plazma sistemleri üretmektedir, OptiGlow plazma sistemleri ve SputterGlow biriktirme (PVD) sistemleri sputter. Glow Araştırma Nordson MART (Plasmod, Süper Plasmod, AM-600, Jüpiter RIE) birkaç büyük plazma sistemleri için parçalar ve dünya çapında destek devralmış ve çeşitli gereksinimleri ve boyutları için yeni plazma reaktörler inşa etti. Biz en laboratuarları ve plazma sistemleri satın insanların öncesi ve satış sonrası destek büyük bir ihtiyaç olduğunu biliyoruz. Biz örnekleri çalıştırmak ve sistem kurulumuna yardımcı olmak için yeteneği var. Glow Araştırma bizim sistemleri satın almak isteyebilirsiniz Müşteriler İçin ÜCRETSİZ ÖRNEKLERİ işleyecek.

Sağ Sistemi Seçimi:

Süreci gaz, 50 watt, 100 kHz, alüminyum oda olarak oda havası OptiGlow-kullanır. Yüzey modifikasyonu için. 11.000 $ altında Bizim en düşük fiyatlı sistem (vakum pompası içerir).

OptiGlow 75-oksijen veya argon (ve diğer gaz), 75 vat, 100 kHz, alüminyum odacık ile kullanım. Için yüzey modifikasyonu, plazma temizleme, prebond tedavi.

OptiGlow ACE-oksijen, argon veya flor (CF4) tipi gazı ile kullanım. İki gaz debimetreler, anodize alüminyum odası. Değişken 10 ila 150 watt 13,56 MHz RF jeneratör, otoayar. RIE veya plazma işleme. Etkinleştirme için, külleme, temizlik ve dağlama. Filmleri çeşitli yakma, Arıza Analiz için katmanlar gidermek için idealdir.

AutoGlow-Up üç gaz-oksijen, argon veya diğer gazlar, kuvars odası, 6 "yüzeylerde, değişken 10 ila 300 watt 13,56 MHz RF jeneratör, otoayar için. Kapasitif coupled, düğme otomatik çalışma. Plazma temizleme, prebond, yakma filmler, kaldırma organik, ışığa çıkarmak için kullanılır.

AutoGlow 200-can 200 mm yüzeylerde (veya 8 "gofret) işlemek. RIE veya plazma işleme. En fazla üç gazlar oksijen, argon veya flor (CF4) tipi gaz, değişken 10 ila 300 watt 13,56 MHz RF jeneratör, otoayar, anodize alüminyum odası. , Dağlama organik kaldırarak, ışığa kaldırarak, plazma temizleme, aktivasyon, prebond için kullanılır.

AutoGlow Plazma Sistemi

Plazma Temizleyici. Bu masa üstü sistemi 10 watt ya da en fazla 300 watt, 13,56 MHz solid state jeneratör, otomatik ayarlama, basınç okuma-out, azot, yumuşak havalandırma, üç gaz girişi ve CE düşük güçte kullanılabilir. AutoGlow 24 ay garanti ile birlikte geliyor. Arıtma PDMS, organik kaldırılması veya fotoresist kaldırılması için mükemmeldir. Bir kuvars hücresine sahiptir ve 6 "(150 mm) yüzeye kadar işleyebilir.

Ilımlı bir maliyetle plazma teknolojisi ile, tıbbi, bilimsel, eğitsel ve mikroelektronik topluluk sağlamak için laboratuvarları tasarlanmış gibi AutoGlow plazma sistemi ile üretim fabrikalarında kullanılmaktadır. 2 yıl garanti dahildir.

Büyük AutoGlow sistemleri Müşteri gereksinimleri (RIE veya Plazma işleme) sığacak şekilde alüminyum odaları mevcuttur. Aşağıdaki Resimde bir AutoGlow 200'dür. 200 mm (8 ") yüzeylerde veya gofret, CF4, O2 veya Ar gaz sistemi kullanmak örnek taşıyıcı bağlı olarak RIE veya plazma işlemleri için kullanılabilir kadar için tasarlanmıştır. Bu, bir alüminyum odasına sahiptir ve aşındırma, yakma veya yüzey modificaiton için de kullanılabilir.

AutoGlow hakkında daha fazla bilgi edinin

OptiGlow Plazma Sistemleri  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE plazma A ctivation, A shing, 13.56 MHz tching C eğilimli veya E gerçekleştirmek için tasarlanmıştır. OptiGlow ACE iki gaz girişi var ve hava, oksijen veya CF4 tipi gazlar ile kullanmak olabilir. Bu, bir alüminyum odasına sahiptir ve RIE veya Plazma işlenmesi için de kullanılabilir. Paketleri veya yarı iletken çip üzerinde uzun bir süreç ve çıkarma katmanları için ideal. Arıza Analiz için kullanılan, ışığa kaldırarak organik temizlik, Parylene, yüzey işleme ve diğer uygulamalara konak dağlama.

Standart OptiGlow sistemi Plazma Yüzey Modifikasyonu ve Plazma Tedavi, Yüzey Aktivasyonu için kullanılır. 10.500 $ (USD) altında fiyatlı, sağlam, masa üstü OptiGlow plazma sistemi üretim ve laboratuvar uygulamaları için mükemmeldir. Basıncı ve Modül durumu için bir ekran ile kolay kullanım.

OptiGlow sistemi kontakt lenslerin ıslanabilirliği ve rahatlık artırılması için kullanılabilir birinci düşük plazma sistemidir. OptiGlow plazma sistemi de laminasyon ve depolanma süreçleri, kaplama öncesi kullanım için idealdir ve yüzeyler veya malzeme geniş bir yelpazede tedavisinde de oldukça etkilidir.

OptiGlow 75 plazma sistemi standart OptiGlow benzer ve daha büyük bir alüminyum odası, 75 W, oksijen veya argon gibi iki giriş gazlar kadar kullanma seçeneği vardır. Organik temizleme ve stripping fotorezist için kullanılabilir.

SputterGlow Biriktirme Sistemi Sputter

Üç hedeflere sahip dielektrikler veya metaller geniş bir yelpazede, yatırmak için mükemmel bir seçim. Başlangıçta SputterGlow süreci nitrit birikimi için böyle SiH 4 gibi tehlikeli gazların gerektirmez PECVD-çünkü Si 3 N kullanmaya alternatif olarak güneş hücreleri üzerinde 4 anti-reflektif kaplamaları yatırmak için tasarlanmıştır. Sistem step robotik, ısıtmalı istasyonları vardır ve bir lap-top bilgisayar ile kontrol edilir.

Tescilli düzlemsel magnetron İhtiyacınıza göre, düşük veya yüksek güce sahip bir plazma oluşturur. SputterGlow işlemi vakum bütünlüğünü sağlamak ve (maliyeti düşük tutmak için) bir alüminyum odası yararlanmak için tasarlanmıştır.

SputterGlow hakkında daha fazla bilgi edinin

Rebuilt Sistemleri

Glow Araştırma Nordson MART birkaç yaşlı birimler (Mart Plasmod, Mart Süper Plasmod, Mart PM-600 ve Mart Jüpiter RIE sistemleri). Için parçalar ve hizmet için dünya çapında sorumluluğu üzerine almıştır Biz Mart ve Tegal plazma sistemleri yeniden bizim uzmanlık ve teklif ile muaftır. sunduğumuz zorunda yeniden ne sistemlerinin bir göz atın .