Plazma Temizleyiciler, Plazma Etchers, Plazma Ashers ve Biriktirme (PVD) sistemleri Sputter, Glow Araştırma tarafından sağlanmaktadır. Glow Araştırma, yeni AutoGlow plazma temizleyici / etcher, OptiGlow plazma sistemleri üretmektedir ve SputterGlow biriktirme (PVD) sistemleri sputter. Glow Araştırma, Nordson MART (Plasmod,, Süper Plasmod, PM-600, Jüpiter RIE) birkaç büyük plazma sistemleri için parçalar ve dünya çapında destek de devralmış ve çeşitli ihtiyaçları ve boyutları için yeni plazma reaktörler inşa etti. Biz öncesi ve satış sonrasında en laboratuarları ve plazma sistemleri satın insanların yardım büyük bir ihtiyaç olduğunu anlamak. Biz senin örnekleri çalıştırmak ve sistem kurulumu ile yardımcı olmak için yeteneği var. Glow Araştırma sistemleri satın almak isteyebilirsiniz müşteriler için ÜCRETSİZ ÖRNEKLERİ işleyecektir.

AutoGlow Plazma Sistemi

Plazma Temizleyici. 10 watt ya da 300 watt kadar, 13,56 MHz katı hal jeneratör, otomatik ayarlama, basınç okuma-, azot, yumuşak havalandırma, üç gaz girişi ve CE işaretli düşük güç kullanılabilir. AutoGlow 24 ay garanti ile birlikte geliyor. Mükemmel arıtma PDMS, organik temizleme veya kaldırma fotoresist.

, Ilımlı bir maliyet plazma teknolojisi ile, tıbbi, bilimsel, eğitsel ve mikroelektronik topluluk sağlamak için laboratuvarı olarak tasarlanmış AutoGlow plazma sistemi yanı sıra üretim fabrikalarında kullanılır. 2 yıl garanti dahildir.

Müşteri ihtiyaçlarına uygun eloksallı alüminyum odaları, Büyük AutoGlow sistemleri mevcuttur. 200 mm (8 ") gofret AutoGlow sistemleri işleyebilir.

AutoGlow hakkında daha fazla bilgi edinin

SputterGlow Biriktirme Sistemi Sputter

Dielektrikler veya metal yatırmak için üç hedefi ile mükemmel bir seçim. Başlangıçta Si 3 N 4 kullanmaya alternatif olarak güneş hücreleri üzerinde anti-reflektif kaplama PECVD, çünkü nitrit birikimi için, SiH 4 gibi tehlikeli gazların SputterGlow süreci gerektirmez yatırmak için tasarlanmıştır. Step robotik, ısıtmalı istasyonları sistemi vardır ve bir lap-top bilgisayar ile kontrol edilir.

Tescilli düzlemsel magnetron İhtiyacınıza göre düşük veya yüksek güç bir plazma oluşturur. SputterGlow işlemi vakum bütünlüğü sağlamak ve (maliyeti düşük tutmak için) alüminyum bir odasında kullanmak için tasarlanmıştır.

SputterGlow hakkında daha fazla bilgi edinin

OptiGlow Plazma Sistemleri

Plazma Yüzey Modifikasyonu ve Plazma Tedavi, Yüzey Aktivasyonu için kullanılır. $ 10,500 (USD) altında fiyatlı, sağlam bir masa, üst OptiGlow plazma sistemi, üretim veya laboratuar uygulamaları için idealdir. Kolay kullanım. Basıncı ve modül durumunu görüntüleyin.

The OptiGlow sistem,,,,,,,,,,, kontakt lensler ve, çeşitli malzemeler of, tane yüzeylerinin ıslatılma özelliğinde ve konfor giderek artan için kullanılan uygulanmaz edebilirsiniz olanlar önce,, düşük bir maliyetli plazma sistem konumundadır. OptiGlow plazma sistemi için ideal kaplama kullanmadan önce, laminasyon ve depolanma süreçleri ve yüzeylerde veya malzeme geniş bir yelpazede tedavisinde oldukça etkilidir. Bio MEMS ve Mikroakiskan kullanılır.

OptiGlow 75 plazma sistemini, standart OptiGlow gibi, ama 75 watt gücü ve iki giriş, oksijen veya argon gibi gazlar, kadar kullanmak için seçeneği ile.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE A shing gerçekleştirmek için tasarlanmıştır, C eğilimli veya E 13,56 MHz tching. OptiGlow ACE iki gazdan girişler için tasarlanmıştır ve, CF4 tipi gazlar ile kullanmak olabilir. Eloksal alüminyum odası ve RIE veya Plazma koşulları ya. Büyük paketleri veya yarı iletken çip üzerinde uzun bir süreç ve kaldırma katmanları için.

OptiGlow ACE (Temizleme, Külleme, Dağlama)

OptiGlow sistemleri hakkında daha fazla bilgi edinin

Rebuilt Sistemleri

Glow Araştırma,, Nordson MART birkaç yaşlı birimleri (Mart: Plasmod, Mart, Süper Plasmod, Mart PM-600 ve Mart Jüpiter RIE sistemleri). Için parçalar ve hizmet için dünya çapında sorumluluğu üzerine aldı Biz uzmanlığımız ve teklif Mart ve Tegal plazma sistemleri yeniden muaftır. sunmak zorunda yeniden ne sistemlerinde bir göz atın .