AutoGlow Plazma Sistemleri

AutoGlow plazma sistemi ılımlı bir maliyetle plazma teknolojisi ile, tıbbi, bilimsel, eğitsel ve üretim mikroelektronik topluma sunmak için tasarlanmış bir masa plazma kimya reaktör olduğunu. Sistemi üretiminin yanı sıra Ar-Ge merkezlerinde kullanılır. Argon plazma, oksijen, plazma, plazma kaplama, PDMS, oksijen plazma tedavisi için kullanılan, fotoğraf sıyırma, FA uygulamaları, Parylene kaldırma, organik temizleme ve laboratuar kullanımı direnç.

Üniversiteler ve şirketlerin dünya çapında AutoGlow plazma sistemi ve plazma ihtiyaçları için mükemmel uyum bulmak.

AutoGlow plazma sistemi nedeniyle değişkeni 10 Watt ile 300 Watt, 13,56 MHz solid state jeneratör pazarında kendi türünün en etkili sistemdir. AutoGlow plazma sistemi de hızlı bir şekilde, örnek temizlemek veya modifiye edecek reaktif türün oluşturma sistemi tanıtılacak verimli dökümünü gazlar için tasarlanmıştır. Otomatik olarak ayarlama ve bir basınç okuma dahildir. AutoGlow 10 Watt gibi düşük bir plazma grev olabilir!

Otomatik / buton çalışma.

Glow Araştırma verimli plazma ayarlanmasına izin verir ve sürekli çeşitli örnek ayak uydurma sıkıntısı olmadan hızlı işlem sağlayan patentli faz büyüklüğü dedektörü ve SimpleMatch RF ağı da dahil olmak üzere, eski sistemin en iyi tasarımları alınan ve güncel teknoloji ile AutoGlow plazma sistemini güncelledi yükler. AutoGlow çok güvenilir ve İKİ YIL GARANTİ var! Sisteme kolaylıkla replaceble Modülleri: RF jeneratör, RF Maç Ağ, Yüz Tabak Modülü (aşağıya bakınız), Kuvars Odası ve Gaz Kontrol Modülü daha fazla veri ve bilgi için, bu sayfada sağ taraftaki "AutoGlow Özellikler" seçeneğine tıklayın. .

"Her şey iyi çalışıyor: İşte son Müşteri kendi AutoGlow hakkında söylediklerini olduğunu. Sadece olması gerektiği gibi birlikte chugs. Ben neredeyse tamamen kül AZ4620 birkaç dakika içinde 125W az dayanabilen etkilendim. Birisi, aynı zamanda önceden bağı PDMS ön tedavisi için kullanarak var. Bunun için inşaat büyük. "
 
AutoGlow 200 sistemi 200 mm yüzeylerde veya 8 "gofret için tasarlandı ve RIE veya plazma gerçekleştirebilirsiniz -işleme bağlı olarak hangi örnek taşıyıcı kullanılır. Alüminyum odası uygulamaları dağlama için standart O2, Ar veya CF4 tipi gazlar accomidate olabilir. Iyi kanıtlanmış elektronik, RF jeneratör, ağ maç ve gaz kontrol yukarıdaki standart AutoGlow aynıdır. AutoGlow 200 hakkında daha fazla bilgi için Glow Araştırma irtibata geçiniz.
AutoGlow 200 tüm alt modüller düzgün çalıştığını doğrulayan AutoGlow aynı statüye tanı kartı var. Sağa sistemi
İsteğe bağlı azot odasının havalandırma tasfiye ile gösterilir.
AutoGlow 200 temizlik, organik kaldırılması, ön-yerleştirme temizleme, plazma aktivasyonu bir uygulama Variety için kullanılabilir   yanı aşındırma çeşitli uygulamalar gibi.
 
 
 
 
 

MIT çeşitli biyomedikal ve Mikroakiskan araştırma için kullanılan Stata Merkezi'nde AutoGlow vardır. Resimde bir Geraldine Paulus, MİT Binası 66 (Landau Bina Lab) de AutoGlow sorumlu bir doktora öğrencisi.

 
 
 

"Rice Üniversitesi Halas Research Lab bir AutoGlow sahiptir. Sistemi polimer çıkarılması Plasmonik ve Nanofotonik uygulamalar için direnç için kullanılır. Resimde Lisa Brown, yüzeye geliştirilmiş moleküler spektroskopisi için numuneler hazırlamak için AutoGlow kullanan bir doktora okumaktadır. "

Gordon McKay Lab yılında Harvard Üniversitesi AutoGlow sistemi. Sistem, organik kaldırılması, yüzey modifikasyonu ve DNA araştırma ve insan gen üzerinde çalışan çok araştırmacı ihtiyaçlarını vermektedir için kullanılır. Resimde Gordon Whitlock, Glow Araştırma başkanıdır.

Resimde MIT'de Microsystems Teknoloji Lab AutoGlow olduğunu. Bu AutoGlow fotorezist kaldırılması, temizleme ve yüzey modifikasyonu için kullanılır. Bu laboratuvar MEMS araştırma, BioMEMS, Nanoteknoloji ve Fotonik yapar.